【技术实现步骤摘要】
一种钨离子件加工用固定夹持装置
本技术涉及钨离子件加工
,具体为一种钨离子件加工用固定夹持装置。
技术介绍
离子注入是指当真空中有一束离子束射向一块固体材料时,离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面,这个现象叫做溅射;而当离子束射到固体材料时,从固体材料表面弹了回来,或者穿出固体材料而去,这些现象叫做散射;另外有一种现象是,离子束射到固体材料以后,受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来,并最终停留在固体材料中的这一现象叫作离子注入,通过向钨材料内部进行离子注入获得钨离子件。目前的钨离子件加工用固定夹持装置,功能简陋,仅仅具备夹持功能,需要人工对工件进行移动调整,加工效率低下。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种钨离子件加工用固定夹持装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种钨离子件加工用固定夹持装置,包括底座,所述底座的上端面上固定安装有靶室,所述靶室的上端面上设置有聚焦透镜,所述靶室的左右两侧设置有移动夹持座,所述移动夹持座上设置 ...
【技术保护点】
1.一种钨离子件加工用固定夹持装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上端面上固定安装有靶室(4),所述靶室(4)的上端面上设置有聚焦透镜(5),所述靶室(4)的左右两侧设置有移动夹持座(2),所述移动夹持座(2)上设置有固定机构,所述移动夹持座(2)的左侧设置有安装座(10),所述安装座(10)上设置有调节机构。/n
【技术特征摘要】
1.一种钨离子件加工用固定夹持装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上端面上固定安装有靶室(4),所述靶室(4)的上端面上设置有聚焦透镜(5),所述靶室(4)的左右两侧设置有移动夹持座(2),所述移动夹持座(2)上设置有固定机构,所述移动夹持座(2)的左侧设置有安装座(10),所述安装座(10)上设置有调节机构。
2.根据权利要求1所述的一种钨离子件加工用固定夹持装置,其特征在于:所述移动夹持座(2)的下端面上固定安装有移动块(6),所述底座(1)的上端面上对应移动块(6)位置处开设有移动槽(7),所述移动块(6)设置在移动槽(7)的内部,所述移动槽(7)的左右侧壁之间转动安装有丝杆(8),所述移动槽(7)的右侧设置有第一电机(9),所述第一电机(9)的输出端与丝杆(8)固定连接,所述移动块(6)设置在丝杆(8)上。
3.根据权利要求2所述的一种钨离子件加工用固定夹持装置,其特征在于:所述固定机构包括安装板(3),所述安装板(3)前后对称设置在移动夹持座(2)的上端面上,所述安装板(3)的背离面上固定安装有若干个对称分布的气压缸(12),...
【专利技术属性】
技术研发人员:易民开,杜印,邱远攀,贺帮志,
申请(专利权)人:昆山海利菲精密机械有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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