电气小车系统技术方案

本发明专利技术提供一种电气小车系统，用于半导体设备，包括整机支架、电气车体，该电气小车系统还包括：导向轴；第一连接结构，分别与导向轴和整机支架连接；第二连接结构，分别与导向轴和电气车体连接；并且，第一连接结构和第二连接结构被设置为使电气车体能够围绕导向轴转动，整机支架相对于导向轴固定不动。本发明专利技术提供的电气小车系统，能够减少电气车体转动不畅的情况发生，并能够降低电气小车系统的安装及加工难度。

Electric trolley system

【技术实现步骤摘要】
电气小车系统
本专利技术涉及半导体设备
，具体地，涉及一种电气小车系统。
技术介绍
目前，在半导体设备中，感应耦合等离子体(InductivelyCoupledPlasma，ICP)刻蚀机由反应室系统、上电极系统、电气小车系统及整机支架等主要功能模块组成。其中，反应室系统为半导体工艺提供真空环境及下射频；上电极系统提供工艺气体及上射频；电气小车用于旋转或腾挪位置，带动电气系统与其余模块分离，为反应室系统摆阀、分子泵等的维护提供一个便利的窗口。如图1所示，在现有技术中，电气小车系统由电气小车11、两组转轴12、两组转轴支架13、桁架14和整机支架15组成，其中，电气小车11用于承载电气系统，整机支架15用于承载反应室系统，两组转轴12和两组转轴支架13沿竖直方向间隔设置，并一一对应连接，且两组转轴12能够相对于两组转轴支架13转动，两组转轴12与电气小车11连接，两组转轴支架13通过桁架14与整机支架15连接，以通过两组转轴12相对于两组转轴支架13转动，使电气小车11能够相对于整机支架15转动，从而通过电气小车11带动电气系统相对于反应室系统旋转或腾挪位置，以便于在半导体工艺过程中，使电气系统与反应室系统连接，或者在需要对反应室系统或电气系统维护时，使电气系统与反应室系统分开，以提供维护空间。但是，在现有技术中，由于电气小车11是通过两组转轴12和两组转轴支架13旋转，而两组转轴12和两组转轴支架13会使电气小车11具有两个旋转自由度，由于两组转轴12和两组转轴支架13很难保证同轴设置，就使这两个旋转自由度也很难保证同心，就会导致电气小车11在转动的过程中，发生转动不畅的情况，并且对于两组转轴12和两组转轴支架13的加工精度也会有较高要求，使得电气小车系统的安装及加工难度较高。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种电气小车系统，其能够减少电气车体转动不畅的情况发生，并能够降低电气小车系统的安装及加工难度。为实现本专利技术的目的而提供一种电气小车系统，用于半导体设备，包括整机支架、电气车体，所述电气小车系统还包括：导向轴；第一连接结构，分别与所述导向轴和所述整机支架连接；第二连接结构，分别与所述导向轴和所述电气车体连接；并且，所述第一连接结构和所述第二连接结构被设置为使所述电气车体能够围绕所述导向轴转动，所述整机支架相对于所述导向轴固定不动。优选的，所述第一连接结构包括设置在所述整机支架的底板上的第一定位孔，所述导向轴的一端插设在所述第一定位孔中；并且，所述导向轴的位于所述第一定位孔中的第一部分的外周壁与所述第一定位孔的孔壁相配合，以限定所述导向轴的位置。优选的，所述第一部分和所述第一定位孔在所述导向轴的径向截面上的正投影形状相同，且所述第一部分被设置为能够限制所述导向轴在其周向上的旋转自由度。优选的，所述第一连接结构还包括连接件，所述连接件与所述整机支架固定连接，并在所述连接件中设置有第二定位孔，所述导向轴的远离所述第一部分的一端插设在所述第二定位孔中，并且所述导向轴的位于所述第二定位孔中的第二部分的外周壁与所述第二定位孔的孔壁之间具有间隙。优选的，所述第一连接结构还包括位置调节组件，所述位置调节组件用于调节所述连接件与所述整机支架在所述导向轴径向上的相对位置，所述位置调节组件包括：设置在所述连接件中的长孔，所述长孔的长轴方向与所述导向轴的径向相互平行；设置在所述整机支架上的螺纹孔，所述螺纹孔与所述长孔相对应；第一固定螺钉，穿设在所述长孔中，且与所述螺纹孔螺纹连接；紧定螺钉，用以将所述连接件与所述整机支架固定连接。优选的，所述第二连接结构包括轴承和加强板，其中，所述轴承与所述电气车体固定连接，且所述轴承套设在所述导向轴上，并与所述导向轴可转动的配合；所述加强板设置在所述电气车体上，且位于与所述轴承的连接处，用于增强所述电气车体的刚度。优选的，还包括固定法兰和锁紧销，其中，所述固定法兰套设在所述导向轴上，且与所述导向轴固定连接，并在所述固定法兰中设置有沿其周向间隔设置的两个第一限位孔，各所述第一限位孔的轴向沿所述导向轴的径向设置，且在所述电动车体上设置有第二限位孔；并且，在所述电动车体转动至指定角度范围的上限位置或下限位置时，所述第二限位孔与其中一所述第一限位孔同轴；所述锁紧销用于通过插设在同轴的所述第二限位孔与其中一所述第一限位孔中，来锁紧所述电动车体的位置。优选的，还包括环形缓冲垫和固定链，其中，所述环形缓冲垫套设在所述导向轴上，并位于所述固定法兰与所述电动车体之间；所述固定链的两端分别与所述锁紧销和所述电动车体连接。优选的，还包括定位块、第一定位螺钉和第二定位螺钉，其中，所述第一定位螺钉和所述第二定位螺钉用于将所述定位块分别与所述电动车体与所述整机支架固定连接。优选的，还包括止挡块，所述止挡块设置在所述整机支架上，且所述止挡块被设置为在所述电动车体转动至指定角度范围的上限位置或下限位置时，能够与所述电动车体相抵，以阻挡所述电动车体继续转动。优选的，还包括第一导向槽和能够沿所述第一导向槽滚动的滚轮，所述第一导向槽设置在所述整机支架的底板上，所述滚轮设置在所述电气车体的底板上。优选的，所述第一导向槽为多个，且沿所述导向轴的径向间隔设置，每个所述第一导向槽至少对应设置一个所述滚轮。优选的，还包括第二导向槽和能够沿所述第二导向槽滑动的滑块，所述第二导向槽设置在所述整机支架的底板上，所述滑块设置在所述电气车体的底板上；所述第二导向槽的两个端部被设置为在所述电气车体转动至指定角度范围的上限位置或下限位置时，通过与所述滑块相抵来阻挡所述电气车体继续转动。本专利技术具有以下有益效果：本专利技术提供的电气小车系统，通过将整机支架与电气车体分别通过第一连接结构和第二连接结构与导向轴连接，以使整机支架与电气车体通过一根导向轴连接，并使第一连接结构和第二连接结构被设置为使电气车体能够围绕导向轴转动，整机支架相对于导向轴固定不动，以使电气车体能够围绕导向轴相对整机支架转动，从而避免由于安装误差导致同心度难以保证，进而减少电气车体转动不畅的情况发生，并能够降低电气小车系统的安装及加工难度。附图说明图1为现有技术中电气小车系统的结构示意图；图2为本专利技术提供的电气小车系统的结构示意图；图3为本专利技术提供的电气小车系统的结构示意图；图4为本专利技术提供的电气小车系统中导向轴的结构示意图；图5为本专利技术提供的电气小车系统的结构示意图；图6为本专利技术提供的电气小车系统的结构示意图；图7为本专利技术提供的电气小车系统的结构示意图；附图标记说明：11-电气小车；12-转轴；13-转轴支架；14-桁架；15-整机支架；21-整机支架；22-电气车体；23-导向轴；241-限位凹槽；261-连接件；262-第一固定螺钉；263-长孔；264-紧定螺钉；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电气小车系统，用于半导体设备，包括整机支架、电气车体，其特征在于，所述电气小车系统还包括：/n导向轴；/n第一连接结构，分别与所述导向轴和所述整机支架连接；/n第二连接结构，分别与所述导向轴和所述电气车体连接；/n并且，所述第一连接结构和所述第二连接结构被设置为使所述电气车体能够围绕所述导向轴转动，所述整机支架相对于所述导向轴固定不动。/n

【技术特征摘要】
1.一种电气小车系统，用于半导体设备，包括整机支架、电气车体，其特征在于，所述电气小车系统还包括：
导向轴；
第一连接结构，分别与所述导向轴和所述整机支架连接；
第二连接结构，分别与所述导向轴和所述电气车体连接；
并且，所述第一连接结构和所述第二连接结构被设置为使所述电气车体能够围绕所述导向轴转动，所述整机支架相对于所述导向轴固定不动。


2.根据权利要求1所述的电气小车系统，其特征在于，所述第一连接结构包括设置在所述整机支架的底板上的第一定位孔，所述导向轴的一端插设在所述第一定位孔中；并且，所述导向轴的位于所述第一定位孔中的第一部分的外周壁与所述第一定位孔的孔壁相配合，以限定所述导向轴的位置。


3.根据权利要求2所述的电气小车系统，其特征在于，所述第一部分和所述第一定位孔在所述导向轴的径向截面上的正投影形状相同，且所述第一部分被设置为能够限制所述导向轴在其周向上的旋转自由度。


4.根据权利要求2所述的电气小车系统，其特征在于，所述第一连接结构还包括连接件，所述连接件与所述整机支架固定连接，并在所述连接件中设置有第二定位孔，所述导向轴的远离所述第一部分的一端插设在所述第二定位孔中，并且所述导向轴的位于所述第二定位孔中的第二部分的外周壁与所述第二定位孔的孔壁之间具有间隙。


5.根据权利要求4所述的电气小车系统，其特征在于，所述第一连接结构还包括位置调节组件，所述位置调节组件用于调节所述连接件与所述整机支架在所述导向轴径向上的相对位置，所述位置调节组件包括：
设置在所述连接件中的长孔，所述长孔的长轴方向与所述导向轴的径向相互平行；
设置在所述整机支架上的螺纹孔，所述螺纹孔与所述长孔相对应；
第一固定螺钉，穿设在所述长孔中，且与所述螺纹孔螺纹连接；
紧定螺钉，用以将所述连接件与所述整机支架固定连接。


6.根据权利要求2所述的电气小车系统，其特征在于，所述第二连接结构包括轴承和加强板，其中，所述轴承与所述电气车体固定连接，且所述轴承套设在所述导向轴上，并与所述导向轴可转动的配合；所述加强板设置在所述电气车体上，且位于与所述轴承的连接处，用于增强所述电气车体的刚度。


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【专利技术属性】
技术研发人员：王宏伟，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11