一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置，包括支撑底座、垂直固定支杆、水平固定支杆和三个活动支架，垂直固定支杆的底端固定在支撑底座上，水平固定支杆与垂直固定支杆连接固定，垂直固定支杆和水平固定支杆均为中空结构，垂直固定支杆的顶端侧壁上和水平固定支杆的两端侧壁上均开设有内螺纹通孔，每个内螺纹通孔处均配装有一顶紧螺栓，垂直固定支杆的顶端和水平固定支杆的两端分别可活动的插入一活动支架，并通过相应顶紧螺栓固定活动支架。使用本实用新型专利技术装置观察样品顶部和左右两侧是否超出装置上相应的活动支架，即可快速准确判断样品尺寸是否在安全尺寸范围，保证样品和设备使用安全。

A height and width limiting device for rapid injection of SEM

【技术实现步骤摘要】
一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置
本技术涉及半导体制造辅助设备
，特别涉及一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置。
技术介绍
在科技高速发展的当下，扫描电镜因其简单、高效、高分辨率等特性，在各个领域都得到了广泛的应用。扫描电镜是最广泛使用的材料表征设备之一。它具备较大的景深、较宽的放大范围和纳米级甚至亚纳米级高分辨率的成像能力，可以对复杂的、粗糙的表面形貌进行成像和尺寸测量，配合背散射电子探头可以分析一些材料的成分分布。目前，很多扫描电镜都配有快速进样装置，其中大部分扫描电镜是自动快速进样，样品进样过程不可控。因此，在进样前，操作人员需要提前判断好样品的高度和宽度是否超出了样品转移过程中的安全尺寸范围，以保证样品能够被安全的送入。但通过人眼目测的距离不仅存在误差，而且需要耗费大量的时间，还易造成样品和设备的损坏，工作效率低下。
技术实现思路
本技术为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置，该装置能够帮助操作人员快速准确的判断样品的高度和宽度是否在合理的范围，以保证样品能够被安全的送入。本技术为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置，包括支撑底座、垂直固定支杆、水平固定支杆和三个活动支架，所述垂直固定支杆的底端固定在支撑底座上，所述水平固定支杆与垂直固定支杆连接固定，所述垂直固定支杆和水平固定支杆均为中空结构，所述垂直固定支杆的顶端侧壁上和水平固定支杆的两端侧壁上均开设有内螺纹通孔，每个所述内螺纹通孔处均配装有一顶紧螺栓，所述垂直固定支杆的顶端和水平固定支杆的两端分别可活动的插入一活动支架，并通过相应顶紧螺栓固定活动支架。在上述技术方案中，优选的，所述水平固定支杆中心与垂直固定支杆的中心连接固定。在上述技术方案中，进一步优选的，所述水平固定支杆与垂直固定支杆之间相互不连通。在上述技术方案中，进一步优选的，所述水平固定支杆与垂直固定支杆之间相互连通。在上述技术方案中，优选的，所述垂直固定支杆、水平固定支杆和三个活动支架均为方形结构。在上述技术方案中，优选的，每个所述活动支架的形状均为L形。本技术具有的优点和积极效果是：本技术通过采用由上述技术方案构成的限高限宽装置，在使用时只需根据扫描电镜快速进样过程样品的最大高度和宽度分别调整好三个活动支架，并通过顶紧螺栓固定，再将该限高限宽装置与样品进行比对，观察样品顶部和左右两侧是否超出限高限宽装置上相应的活动支架，即可快速准确判断样品尺寸是否在安全尺寸范围，保证样品和设备使用安全；本技术结构构思巧妙，使用方便，便于操作，大大提高了工作效率，且该装置适用于任何品牌任何型号的扫描电镜。附图说明图1是本技术实施例提供的限高限宽装置的结构示意图；图2是图1的俯视图；图3是本技术优选实施例提供的相互不连通的两个固定支杆的结构示意图；图4是本技术优选实施例提供的相互连通的两个固定支杆的结构示意图。图中：1、支撑底座；2、垂直固定支杆；3、水平固定支杆；4-1、左活动支架；4-2、右活动支架；4-3、顶活动支架；5-1、第一顶紧螺栓；5-2、第二顶紧螺栓；5-3、第三顶紧螺栓；6-1、第一内螺纹通孔；6-2、第二内螺纹通孔；6-3、第三内螺纹通孔。具体实施方式为能进一步了解本技术的
技术实现思路
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：在本技术的描述中，需要理解的是，术语“顶”、“底”、“左”、“右”、“水平”、“垂直”、“中心”、“宽度”、“高度”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。请参见图1和图2，本技术的实施例提供一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置，包括支撑底座1、垂直固定支杆2、水平固定支杆3和三个活动支架，垂直固定支杆2的底端固定在支撑底座1上，水平固定支杆3与垂直固定支杆2连接固定，垂直固定支杆2和水平固定支杆3均为中空结构，垂直固定支杆2的顶端侧壁上和水平固定支杆3的两端侧壁上均开设有内螺纹通孔，每个内螺纹通孔处均配装有一顶紧螺栓，垂直固定支杆2的顶端和水平固定支杆3的两端分别可活动的插入一活动支架，并通过相应顶紧螺栓固定活动支架。具体实施时，三个活动支架分别为左活动支架4-1、右活动支架4-2和顶活动支架4-3，左活动支架4-1一端从水平固定支杆3的左侧插入，并通过穿过第一内螺纹通孔6-1的第一顶紧螺栓5-1顶紧固定，右活动支架4-2一端从水平固定支杆3的右侧插入，并通过穿过第二内螺纹通孔6-2的第二顶紧螺栓5-2顶紧固定，顶活动支架4-3一端从垂直固定支杆2的顶端插入，并通过穿过第三内螺纹通孔6-3的第三顶紧螺栓5-3顶紧固定。作为优选的实施例，为能够更准确且快速的比对出样品顶部和左右两侧是否超出限高限宽装置上相应的活动支架，水平固定支杆3中心与垂直固定支杆2的中心连接固定。作为优选的实施例，两个固定支杆之间相互不连通，具体如图3所示，两个固定支杆之间可通过胶粘或焊接固定，根据固定支杆的材质，可进行合理选择。例如，若固定支杆为钢材质，可通过焊接方式固定。作为优选的实施例，两个固定支杆之间相互连通，具体如图4所示。作为优选的实施例，为使顶紧螺栓能够更加牢固的顶紧活动支架，垂直固定支杆2、水平固定支杆3和三个活动支架4-1、4-2、4-3均为方形结构，可增大顶紧螺栓与固定支杆和活动支架表面的接触面积，同时也便于两个固定支杆之间的连接固定。作为优选的实施例，每个活动支架的形状均为L形，一条边插入相应固定支杆内固定，另一条边用于与样品进行测量比对，能够更好的测量样品顶部和左右两侧是否超出装置上相应的活动支架。具体实施时，在满足测量要求的情况下，可将活动支架的短边插入相应的固定支杆内，长边更便于进行测量比对。本技术的具体使用方法如下：1、查找扫描电镜设备资料得到快速进样过程样品的最大高度h和宽度w。2、调整顶活动支架4-3，使其与支撑底座1底面距离为h值，拧紧第三顶紧螺栓5-3固定顶活动支架4-3；调整左活动支架4-1、右活动支架4-2，使两者间距为w值，拧紧第一顶紧螺栓5-1和第二顶紧螺栓本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置，其特征在于：包括支撑底座、垂直固定支杆、水平固定支杆和三个活动支架，所述垂直固定支杆的底端固定在支撑底座上，所述水平固定支杆与垂直固定支杆连接固定，所述垂直固定支杆和水平固定支杆均为中空结构，所述垂直固定支杆的顶端侧壁上和水平固定支杆的两端侧壁上均开设有内螺纹通孔，每个所述内螺纹通孔处均配装有一顶紧螺栓，所述垂直固定支杆的顶端和水平固定支杆的两端分别可活动的插入一活动支架，并通过相应顶紧螺栓固定活动支架。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置，其特征在于：包括支撑底座、垂直固定支杆、水平固定支杆和三个活动支架，所述垂直固定支杆的底端固定在支撑底座上，所述水平固定支杆与垂直固定支杆连接固定，所述垂直固定支杆和水平固定支杆均为中空结构，所述垂直固定支杆的顶端侧壁上和水平固定支杆的两端侧壁上均开设有内螺纹通孔，每个所述内螺纹通孔处均配装有一顶紧螺栓，所述垂直固定支杆的顶端和水平固定支杆的两端分别可活动的插入一活动支架，并通过相应顶紧螺栓固定活动支架。


2.根据权利要求1所述的一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置，其特征在于：所述水平固定支杆中心与垂直固定支杆的中心连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲迪，王磊，李康，陈景春，宋学颖，姬静远，梁娟，
申请(专利权)人：天津华慧芯科技集团有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12