一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置，包括支撑底座、垂直固定支杆、水平固定支杆和三个活动支架，垂直固定支杆的底端固定在支撑底座上，水平固定支杆与垂直固定支杆连接固定，垂直固定支杆和水平固定支杆均为中空结构，垂直固定支杆的顶端侧壁上和水平固定支杆的两端侧壁上均开设有内螺纹通孔，每个内螺纹通孔处均配装有一顶紧螺栓，垂直固定支杆的顶端和水平固定支杆的两端分别可活动的插入一活动支架，并通过相应顶紧螺栓固定活动支架。使用本实用新型专利技术装置观察样品顶部和左右两侧是否超出装置上相应的活动支架，即可快速准确判断样品尺寸是否在安全尺寸范围，保证样品和设备使用安全。

A height and width limiting device for rapid injection of SEM

【技术实现步骤摘要】
一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置
本技术涉及半导体制造辅助设备
，特别涉及一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置。
技术介绍
在科技高速发展的当下，扫描电镜因其简单、高效、高分辨率等特性，在各个领域都得到了广泛的应用。扫描电镜是最广泛使用的材料表征设备之一。它具备较大的景深、较宽的放大范围和纳米级甚至亚纳米级高分辨率的成像能力，可以对复杂的、粗糙的表面形貌进行成像和尺寸测量，配合背散射电子探头可以分析一些材料的成分分布。目前，很多扫描电镜都配有快速进样装置，其中大部分扫描电镜是自动快速进样，样品进样过程不可控。因此，在进样前，操作人员需要提前判断好样品的高度和宽度是否超出了样品转移过程中的安全尺寸范围，以保证样品能够被安全的送入。但通过人眼目测的距离不仅存在误差，而且需要耗费大量的时间，还易造成样品和设备的损坏，工作效率低下。
技术实现思路
本技术为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置，该装置能够帮助操作人员快速准确的判断样品的高度和宽度是否在合理的范围，以保证样品能够本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置，其特征在于：包括支撑底座、垂直固定支杆、水平固定支杆和三个活动支架，所述垂直固定支杆的底端固定在支撑底座上，所述水平固定支杆与垂直固定支杆连接固定，所述垂直固定支杆和水平固定支杆均为中空结构，所述垂直固定支杆的顶端侧壁上和水平固定支杆的两端侧壁上均开设有内螺纹通孔，每个所述内螺纹通孔处均配装有一顶紧螺栓，所述垂直固定支杆的顶端和水平固定支杆的两端分别可活动的插入一活动支架，并通过相应顶紧螺栓固定活动支架。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置，其特征在于：包括支撑底座、垂直固定支杆、水平固定支杆和三个活动支架，所述垂直固定支杆的底端固定在支撑底座上，所述水平固定支杆与垂直固定支杆连接固定，所述垂直固定支杆和水平固定支杆均为中空结构，所述垂直固定支杆的顶端侧壁上和水平固定支杆的两端侧壁上均开设有内螺纹通孔，每个所述内螺纹通孔处均配装有一顶紧螺栓，所述垂直固定支杆的顶端和水平固定支杆的两端分别可活动的插入一活动支架，并通过相应顶紧螺栓固定活动支架。


2.根据权利要求1所述的一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置，其特征在于：所述水平固定支杆中心与垂直固定支杆的中心连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲迪，王磊，李康，陈景春，宋学颖，姬静远，梁娟，
申请(专利权)人：天津华慧芯科技集团有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12