【技术实现步骤摘要】
一种合成高纯六氟-1,3-丁二烯的方法
本专利技术是一种合成高纯六氟-1,3-丁二烯的方法,涉及一种易工业化方法合成高纯六氟-1,3-丁二烯的方法。
技术介绍
六氟-1,3-丁二烯是一种新型的电子刻蚀气体,不仅可作为制备众多含氟聚合物材料的单体,还可应用于超大规模集成线路的干法刻蚀方面,主要用于半导体蚀刻领域。因其有较好的选择性和深宽比受到了国内外专家学者的强烈关注。高纯度的六氟-1,3-丁二烯具有巨大的市场。研究发现,六氟-1,3-丁二烯在大气中的存在时间仅为1.9天,具有较低的GWP值,环境性能十分优异。因此,随着电子产品的快速发展,在高端干法蚀刻领域,高纯度的六氟-1,3-丁二烯市场需求巨大。关于六氟-1,3-丁二烯的制备方法,相关报道较少。专利200780014929.8报道了一种由1,3-丁二烯卤化得到1,3,4,5-四氯丁烷,在高温高压下与氟气进行反应生成1,2,3,4-四氟六氯丁烷的混合物,并将该混合物进行脱氯得到六氟-1,3-丁二烯的方法。该方法使用了氟气,严重制约了其快速工业化的可能性。专利2015 ...
【技术保护点】
1.一种合成高纯六氟-1,3-丁二烯的方法,属于有机化学合成领域。一种合成高纯六氟-1,3-丁二烯的方法,其特征在于:六氯苯、氯气和无水氟化氢在催化剂的作用下加热生成1,2-二氯-3,3,4,4,5,5,6,6-八氟环己烯。然后,1,2-二氯-3,3,4,4,5,5,6,6-八氟环己烯与溶剂在强氧化剂的作用下加热生成1,6-八氟己二酸。最后,1,6-八氟己二酸与溶剂在氢氧化钠的作用下加热生成氟化钠、水、二氧化碳和六氟-1,3-丁二烯。将混合气体进行除水、除二氧化碳处理,生成高纯度的六氟-1,3-丁二烯。/n
【技术特征摘要】
1.一种合成高纯六氟-1,3-丁二烯的方法,属于有机化学合成领域。一种合成高纯六氟-1,3-丁二烯的方法,其特征在于:六氯苯、氯气和无水氟化氢在催化剂的作用下加热生成1,2-二氯-3,3,4,4,5,5,6,6-八氟环己烯。然后,1,2-二氯-3,3,4,4,5,5,6,6-八氟环己烯与溶剂在强氧化剂的作用下加热生成1,6-八氟己二酸。最后,1,6-八氟己二酸与溶剂在氢氧化钠的作用下加热生成氟化钠、水、二氧化碳和六氟-1,3-丁二烯。将混合气体进行除水、除二氧化碳处理,生成高纯度的六氟-1,3-丁二烯。
2.根据权利要求1所述的方法,所述催化剂为Mg,Cr,Fe中的至少一种,或者Mg,Cr,Fe中的至少一种与Bi,Ti等金属中的一种形成的复合物。
3.根据权利要求1所述的方法,所述六氯苯、氯气和无水氟化氢与催化剂的接触时间为:0.1—20s。
4.根据权利要求1所述的方法,所述六氯苯、氯气和无水氟化氢在催化剂的作用下加热生成1,2-二氯-3,3,4,4,5,5,6,6-八氟环己烯的反应温度为300—600℃。
5.根据权利要求1所述的方法,所述六氯苯、氯气和无水氟化氢的摩尔比为1:3—5:10—28。
6.根据权利要求1所述的方法,所述1,2-二氯-3,3,4,4,5,5,6,6-八氟环己烯与溶剂在强氧化剂的作用下加热生成1,...
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