【技术实现步骤摘要】
一种高温尾气环保处理装置
本技术涉及一种尾气处理装置，具体是一种高温尾气环保处理装置。
技术介绍
硅片制造的很多工艺如热生长氧化物、离子注入后硅片表面的热退火、淀积膜、玻璃体回流及硅化物膜的形成等等均需要使用到高温炉设备。由于这些工艺与温度有密切关系，这就使高温炉在IC制造中成为非常关键的因素。高温炉通常包括工艺腔、硅片传输系统、气体分配系统、尾气处理装置及温控系统。工艺腔是对硅片进行加热的装置，硅片传输系统实现在工艺腔中装卸硅片，气体分配系统则通过将正确的气流传送到工艺腔来维护工艺腔内的气氛，尾气处理装置用于清除和处理工艺腔中产生的工艺尾气，温控系统控制工艺腔的温度及升降温的速率等。中国专利公开了一种高温炉尾气处理装置（申请号201010181279.X，授权公告号为CN102252330B），该装置在现有技术的基础上做出改进，可使尾气残渣在掉落的时候被残渣粉碎装置上的长短相间的凸起尖端打碎，尾气残渣不易结块，避免了大块的尾气残渣直接掉落堵塞尾气燃烧口及排水口，不必经常停机对尾气处理装置进行清理维护。
【技术保护点】
1.一种高温尾气环保处理装置，包括装置外壳（1）、设置在装置外壳（1）内部的燃烧室（2）、通过弹性组件设置在燃烧室（2）上方的顶盖（5）、以及设置在装置外壳（1）上部的循环喷液组件，所述燃烧室（2）底部固定并连通有用于供尾气进入的进气管（3），其特征在于，所述弹性组件包括固定在装置外壳（1）内壁的套管（7）、插接于套管（7）下部的伸缩杆（6）、以及用于弹性连接伸缩杆（6）和套管（7）的弹簧（8），其中，所述弹簧（8）设置在套管（7）内，套管（7）上端固定在装置外壳（1）的内壁上，弹簧（8）上端抵接在套管（7）顶部，弹簧（8）下端抵接在伸缩杆（6）上端，伸缩杆（6）下端固定连接顶盖（5）。/n
【技术特征摘要】
1.一种高温尾气环保处理装置，包括装置外壳（1）、设置在装置外壳（1）内部的燃烧室（2）、通过弹性组件设置在燃烧室（2）上方的顶盖（5）、以及设置在装置外壳（1）上部的循环喷液组件，所述燃烧室（2）底部固定并连通有用于供尾气进入的进气管（3），其特征在于，所述弹性组件包括固定在装置外壳（1）内壁的套管（7）、插接于套管（7）下部的伸缩杆（6）、以及用于弹性连接伸缩杆（6）和套管（7）的弹簧（8），其中，所述弹簧（8）设置在套管（7）内，套管（7）上端固定在装置外壳（1）的内壁上，弹簧（8）上端抵接在套管（7）顶部，弹簧（8）下端抵接在伸缩杆（6）上端，伸缩杆（6）下端固定连接顶盖（5）。
2.根据权利要求1所述的一种高温尾气环保处理装置，其特征在于，所述装置外壳（1）的内部下方设置有水腔（22），水腔（22）连通循环喷液组件，循环喷液组件包括固定在装置外壳（1）内壁上方的海绵过滤层（17）、位于海绵过滤层（17）上方的多个喷水阀（18）、连通喷水阀（18...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾庆元，张海祥，姚清海，
申请(专利权)人：赣州海歌科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36
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