一种高温尾气环保处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高温尾气环保处理装置，具体是一种能够保持顶盖的稳定性，不会发生横移，有效避免在顶盖处凝结的大块残渣堵塞燃烧室中的进气管的装置，其有效解决了现有的滤渣在粉碎后不易去除的问题。燃烧室底部固定并连通有用于供尾气进入的进气管，所述弹性组件包括固定在装置外壳内壁的套管、插接于套管下部的伸缩杆、以及用于弹性连接伸缩杆和套管的弹簧，其中，所述弹簧设置在套管内，套管上端固定在装置外壳的内壁上，弹簧上端抵接在套管顶部，弹簧下端抵接在伸缩杆上端，伸缩杆下端固定连接顶盖。

A high temperature tail gas environmental protection treatment device

【技术实现步骤摘要】
一种高温尾气环保处理装置
本技术涉及一种尾气处理装置，具体是一种高温尾气环保处理装置。
技术介绍
硅片制造的很多工艺如热生长氧化物、离子注入后硅片表面的热退火、淀积膜、玻璃体回流及硅化物膜的形成等等均需要使用到高温炉设备。由于这些工艺与温度有密切关系，这就使高温炉在IC制造中成为非常关键的因素。高温炉通常包括工艺腔、硅片传输系统、气体分配系统、尾气处理装置及温控系统。工艺腔是对硅片进行加热的装置，硅片传输系统实现在工艺腔中装卸硅片，气体分配系统则通过将正确的气流传送到工艺腔来维护工艺腔内的气氛，尾气处理装置用于清除和处理工艺腔中产生的工艺尾气，温控系统控制工艺腔的温度及升降温的速率等。中国专利公开了一种高温炉尾气处理装置（申请号201010181279.X，授权公告号为CN102252330B），该装置在现有技术的基础上做出改进，可使尾气残渣在掉落的时候被残渣粉碎装置上的长短相间的凸起尖端打碎，尾气残渣不易结块，避免了大块的尾气残渣直接掉落堵塞尾气燃烧口及排水口，不必经常停机对尾气处理装置进行清理维护。但是该装置存在一个致命的缺陷，不可否认，在顶盖处凝结的大块残渣在凸起尖端的作用下确实会被粉碎，但是粉碎后依旧会滞留在粉碎装置上，长时间的积累，即使是粉碎的残渣依然会对燃烧室上口处的粉碎装置造成封堵，虽然不再对进气管堵塞，但是会对燃烧室的上口堵塞，而且造成堵塞的残渣还不易去除。
技术实现思路
基于上述
技术介绍
中所提到的现有技术中的不足之处，为此本技术提供了一种高温尾气环保处理装置。本技术通过采用如下技术方案克服以上技术问题，具体为：一种高温尾气环保处理装置，包括装置外壳、设置在装置外壳内部的燃烧室、通过弹性组件设置在燃烧室上方的顶盖、以及设置在装置外壳上部的循环喷液组件，所述燃烧室底部固定并连通有用于供尾气进入的进气管，所述弹性组件包括固定在装置外壳内壁的套管、插接于套管下部的伸缩杆、以及用于弹性连接伸缩杆和套管的弹簧，其中，所述弹簧设置在套管内，套管上端固定在装置外壳的内壁上，弹簧上端抵接在套管顶部，弹簧下端抵接在伸缩杆上端，伸缩杆下端固定连接顶盖。作为本技术进一步的方案：所述装置外壳的内部下方设置有水腔，水腔连通循环喷液组件，循环喷液组件包括固定在装置外壳内壁上方的海绵过滤层、位于海绵过滤层上方的多个喷水阀、连通喷水阀的循环管、以及连通水腔和循环管的循环泵，其中，在装置外壳的顶部设置有出气口。作为本技术再进一步的方案：还包括过滤组件，所述过滤组件包括二级滤板、一级滤板以及转动机构，所述二级滤板呈圆环状并滑动连接在固定于燃烧室外壁的滑槽中，转动机构包括固定在燃烧室上部内壁的保持架、转动设置上在保持架中央的转轴、固定在转轴下端的叶轮，其中，一级滤板固定在转轴的上端。作为本技术再进一步的方案：所述装置外壳的一侧上密封铰接有门板，门板自由端与装置外壳之间通过插销固定。作为本技术再进一步的方案：所述进气管端部固定连接点火盘。采用以上结构后，本技术相较于现有技术，具备以下优点：该装置通过弹性组件保持顶盖的稳定性，不会发生横移，同时利用转动机构带动一级滤板转动，一级滤板有效避免在顶盖处凝结的大块残渣堵塞燃烧室中的进气管，转动的一级滤板将其上的残渣分散至二级滤板上，二级滤板同时接受来自于水雾吸附的残渣和一级滤板上的残渣，实现残渣的分离去除功能，水液通过二级滤板重新回到水腔中，循环利用。附图说明图1为高温尾气环保处理装置的结构示意图。图2为高温尾气环保处理装置中燃烧室和滑槽以及二级滤板的结构示意图。图3为高温尾气环保处理装置中保持架的结构示意图。图中：1-装置外壳；2-燃烧室；3-进气管；4-点火盘；5-顶盖；6-伸缩杆；7-套管；8-弹簧；9-叶轮；10-保持架；11-转轴；12-一级滤板；13-二级滤板；14-滑槽；15-门板；16-插销；17-海绵过滤层；18-喷水阀；19-循环管；20-出气口；21-循环泵；22-水腔。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施方式。但是，本技术可以以多种不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本技术的公开内容理解的更加透彻全面。另外，本技术中的元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。实施例1请参阅图1～3，本技术实施例中，一种高温尾气环保处理装置，包括装置外壳1、设置在装置外壳1内部的燃烧室2、通过弹性组件设置在燃烧室2上方的顶盖5、以及设置在装置外壳1上部的循环喷液组件；具体来说，所述燃烧室2底部固定并连通有用于供尾气进入的进气管3，进气管3端部固定连接点火盘4，通过进气管3将尾气排入燃烧室2内并在点火盘4的作用下点燃；所述弹性组件包括固定在装置外壳1内壁的套管7、插接于套管7下部的伸缩杆6、以及用于弹性连接伸缩杆6和套管7的弹簧8，其中，所述弹簧8设置在套管7内，套管7上端固定在装置外壳1的内壁上，弹簧8上端抵接在套管7顶部，弹簧8下端抵接在伸缩杆6上端，伸缩杆6下端固定连接顶盖5，燃烧室2中的尾气在燃烧的同时必然产生大量热量，产生压力，此时可以通过弹性组件带动顶盖5上升以减压，同时还能保持顶盖5位于燃烧室2的上方，不会发生横移。所述装置外壳1的内部下方设置有水腔22，水腔22连通循环喷液组件，循环喷液组件包括固定在装置外壳1内壁上方的海绵过滤层17、位于海绵过滤层17上方的多个喷水阀18、连通喷水阀18的循环管19、以及连通水腔22和循环管19的循环泵21，其中，在装置外壳1的顶部设置有出气口20，尾气在燃烧室2中燃烧产生的固体残渣及部分未充分燃烧的尾气在循环泵21工作时，利用循环管19将水腔22中的水液抽至喷水阀18处喷出，并作用在海绵过滤层17上，海绵过滤层17向装置外壳1内释放水雾，水雾打湿固体残渣并吸附未燃烧充分的尾气，打湿的固体残渣和水雾一同沉降，部分未沉降的固体残渣以及未被水雾吸收的尾气在上升过程中经过海绵过滤层17被充分吸收，洁净的空气通过出气口20排出，附着在海绵过滤层17上的固体残渣及吸收有尾气的水液在喷水阀18不断喷水的作用下滴落回到装置外壳1内。实施例2由于有水雾和水液滴落到顶盖5上，故顶盖5会被冷却，温度比燃烧室2的温度低，因此燃烧室2中燃烧时的残渣极易在顶盖5处凝结成大块的固体残渣，会对进气管3造成堵塞，为此，本技术另一实施例中，一种高温尾气环保处理装置，还包括过滤组件，所述过滤组件包括二级滤板13、一级滤板12以及转动机构，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高温尾气环保处理装置，包括装置外壳（1）、设置在装置外壳（1）内部的燃烧室（2）、通过弹性组件设置在燃烧室（2）上方的顶盖（5）、以及设置在装置外壳（1）上部的循环喷液组件，所述燃烧室（2）底部固定并连通有用于供尾气进入的进气管（3），其特征在于，所述弹性组件包括固定在装置外壳（1）内壁的套管（7）、插接于套管（7）下部的伸缩杆（6）、以及用于弹性连接伸缩杆（6）和套管（7）的弹簧（8），其中，所述弹簧（8）设置在套管（7）内，套管（7）上端固定在装置外壳（1）的内壁上，弹簧（8）上端抵接在套管（7）顶部，弹簧（8）下端抵接在伸缩杆（6）上端，伸缩杆（6）下端固定连接顶盖（5）。/n

【技术特征摘要】
1.一种高温尾气环保处理装置，包括装置外壳（1）、设置在装置外壳（1）内部的燃烧室（2）、通过弹性组件设置在燃烧室（2）上方的顶盖（5）、以及设置在装置外壳（1）上部的循环喷液组件，所述燃烧室（2）底部固定并连通有用于供尾气进入的进气管（3），其特征在于，所述弹性组件包括固定在装置外壳（1）内壁的套管（7）、插接于套管（7）下部的伸缩杆（6）、以及用于弹性连接伸缩杆（6）和套管（7）的弹簧（8），其中，所述弹簧（8）设置在套管（7）内，套管（7）上端固定在装置外壳（1）的内壁上，弹簧（8）上端抵接在套管（7）顶部，弹簧（8）下端抵接在伸缩杆（6）上端，伸缩杆（6）下端固定连接顶盖（5）。


2.根据权利要求1所述的一种高温尾气环保处理装置，其特征在于，所述装置外壳（1）的内部下方设置有水腔（22），水腔（22）连通循环喷液组件，循环喷液组件包括固定在装置外壳（1）内壁上方的海绵过滤层（17）、位于海绵过滤层（17）上方的多个喷水阀（18）、连通喷水阀（18...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾庆元，张海祥，姚清海，
申请(专利权)人：赣州海歌科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36