微粒数检测器制造技术

微粒数检测器具备控制部，该控制部执行用于求出气体中的微粒的数量的微粒数检测处理。控制部在执行微粒数检测处理时，在已由加热器将通气路加热的状态下，基于气体的温度与加热器的表面温度之差、以及由加热器供给的热量而求出气体的流量，基于与带电微粒捕集电极捕集到的带电微粒的电荷量相应地变化的物理量和气体的流量，求出气体中的每单位体积的微粒的数量。

Particle number detector

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微粒数检测器
本专利技术涉及微粒数检测器。
技术介绍
作为微粒数检测器，已知如下微粒数检测器，即，利用电荷产生元件通过电晕放电而产生离子，利用该离子使被测定气体中的微粒带电，对已带电的微粒进行捕集，并基于捕集到的微粒的电荷量而测定微粒的个数。另外，关于上述微粒数检测器提出了如下方案，即，利用加热器对捕集到的微粒进行加热而将其烧除，或者利用加热器对积存于气体的流入孔、排出孔的微粒进行加热而将其烧除(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2015/146456号小册子
技术实现思路
但是，为了求出被测定气体中的每单位体积的微粒的数量，需要使用被测定气体的流量。然而，专利文献1的微粒数检测器不具备对被测定气体的流量进行测定的功能，因此，无法求出被测定气体中的每单位体积的微粒的数量。本专利技术是为了解决上述课题而完成的，其主要目的在于，求出气体中的每单位体积的微粒的数量。本专利技术的第一实施方式的微粒数检测器具备：壳体，该壳体具有通气路；气体测温部，该气体测温部对从所述通气路内通过的气体的温度进行测定；电荷产生部，该电荷产生部在所述通气路内通过气体放电而产生电荷，并对从所述通气路内通过的气体中的微粒附加所述电荷而使其成为带电微粒；带电微粒捕集电极，该带电微粒捕集电极对所述带电微粒进行捕集；加热器，该加热器能够对所述通气路进行加热；加热器测温部，该加热器测温部对所述加热器的表面温度进行测定；以及控制部，该控制部执行用于求出所述气体中的所述微粒的数量的微粒数检测处理，所述控制部在执行所述微粒数检测处理时，在已由所述加热器将所述通气路加热的状态下，基于所述气体的温度与所述加热器的表面温度之差、以及由所述加热器供给的热量而求出所述气体的流量，基于与所述带电微粒捕集电极捕集到的所述带电微粒的电荷量相应地变化的物理量和所述气体的流量，求出所述气体中的每单位体积的所述微粒的数量。该微粒数检测器在执行微粒数检测处理时，形成为已由加热器将通气路加热的状态。在该状态下，基于气体的温度与加热器的表面温度之差、以及由加热器供给的热量而求出气体的流量。另外，基于与带电微粒捕集电极捕集到的带电微粒的电荷量相应地变化的物理量和气体的流量，求出气体中的每单位体积的微粒的数量。本专利技术的第一实施方式的微粒数检测器具备对气体流量进行测定的功能，因此，即便未另行准备流量计，也能够求出气体中的每单位体积的微粒的数量。本专利技术的第一实施方式的微粒数检测器可以构成为：所述控制部在未执行所述微粒数检测处理时执行如下再生处理，即，利用所述加热器使得所述带电微粒捕集电极升温至规定的微粒烧除温度，由此将堆积于所述带电微粒捕集电极的所述微粒烧除。据此，能够将加热器用于气体流量的检测和带电微粒捕集电极的再生的双方。本专利技术的第二实施方式的微粒数检测器具备：壳体，该壳体具有通气路；气体测温部，该气体测温部对从所述通气路内通过的气体的温度进行测定；电荷产生部，该电荷产生部在所述通气路内通过气体放电而产生电荷，并对从所述通气路内通过的气体中的微粒附加所述电荷而使其成为带电微粒；剩余电荷捕集电极，该剩余电荷捕集电极对未由所述微粒携带的剩余电荷进行捕集；加热器，该加热器能够对所述通气路进行加热；加热器测温部，该加热器测温部对所述加热器的表面温度进行测定；以及控制部，该控制部执行用于求出所述气体中的所述微粒的数量的微粒数检测处理，所述控制部在执行所述微粒数检测处理时，在已由所述加热器将所述通气路加热的状态下，基于所述气体的温度与所述加热器的表面温度之差、以及由所述加热器供给的热量而求出所述气体的流量，基于与所述剩余电荷捕集电极捕集到的所述剩余电荷的电荷量相应地变化的物理量和所述气体的流量，求出所述气体中的每单位体积的所述微粒的数量。该微粒数检测器在执行微粒数检测处理时，形成为已由加热器将通气路加热的状态。在该状态下，基于气体的温度与加热器的表面温度之差、以及由加热器供给的热量而求出气体的流量。另外，基于与剩余电荷捕集电极捕集到的剩余电荷的电荷量相应地变化的物理量和气体的流量，求出气体中的每单位体积的微粒的数量。本专利技术的第二实施方式的微粒数检测器具备对气体流量进行测定的功能，因此，即便未另行准备流量计，也能够求出气体中的每单位体积的微粒的数量。应予说明，本说明书中，除了正电荷、负电荷以外，所谓“电荷”还包含离子。所谓“物理量”只要是与电荷量相应地变化的参数即可，例如可以举出电流等。“由加热器供给的热量”可以由加热器中流通的电流、施加于加热器的两端的电压以及加热器的电阻中的任意2个物理量来表示。因此，“由加热器供给的热量”可以为热量本身，也可以为加热器中流通的电流、施加于加热器的两端的电压以及加热器的电阻中的任意2个物理量。本专利技术的第一实施方式或第二实施方式的微粒数检测器可以构成为：所述控制部在执行所述微粒数检测处理时，将所述加热器的表面温度设定为高于所述气体的温度且低于所述微粒的烧除温度的温度。使得加热器的表面温度高于气体的温度的目的在于：使得从通气路通过的气体夺取利用加热器而供给的热。使得加热器的表面温度低于微粒的烧除温度的目的在于：防止微粒被烧除。据此，能够更准确地求出微粒的数量。本专利技术的第一实施方式或第二实施方式的微粒数检测器可以构成为：所述电荷产生部包括放电电极和感应电极，所述放电电极沿着所述通气路的内表面而设置，所述感应电极埋设于所述壳体、或者沿着所述通气路的内表面而设置。据此，从通气路通过的气流难以受到电荷产生部的妨碍，因此，能够更准确地求出气体的流量。应予说明，放电电极、感应电极可以借助无机材料而与通气路的内表面接合，也可以通过烧结的方式而与通气路的内表面接合。本专利技术的第一实施方式或第二实施方式的微粒数检测器可以构成为：所述壳体的20℃时的热传导率[W/m·K]为3以上200以下。据此，将加热器的热比较快速地传导至通气路，因此，加热器对通气路的温度调整的响应性变得良好。本专利技术的第一实施方式或第二实施方式的微粒数检测器可以构成为：所述壳体由陶瓷制成。据此，由于陶瓷的耐热性优异，因此，微粒数检测器的耐热性得到提高。作为陶瓷，例如可以举出氧化铝、氮化铝等。应予说明，关于20℃时的热传导率，氧化铝为30[W/m·K]，氮化铝为150[W/m·K]。本专利技术的第一实施方式或第二实施方式的微粒数检测器可以构成为：所述加热器埋设于所述壳体。据此，与加热器配置于壳体的外侧的情形相比，加热器的热快速地传导至通气路，因此，加热器对通气路的温度调整的响应性变得良好。附图说明图1是表示微粒数检测器10的概要结构的截面图。图2是电荷产生部20的立体图。图3是表示使各捕集电极30、40上产生电场的其他结构的局部截面图。图4是表示微粒数检测器110的概要结构的截面图。具体实施方式以下，参照附图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微粒数检测器，其中，/n所述微粒数检测器具备：/n壳体，该壳体具有通气路；/n气体测温部，该气体测温部对从所述通气路内通过的气体的温度进行测定；/n电荷产生部，该电荷产生部在所述通气路内通过气体放电而产生电荷，并对从所述通气路内通过的气体中的微粒附加所述电荷而使其成为带电微粒；/n带电微粒捕集电极，该带电微粒捕集电极对所述带电微粒进行捕集；/n加热器，该加热器能够对所述通气路进行加热；/n加热器测温部，该加热器测温部对所述加热器的表面温度进行测定；以及/n控制部，该控制部执行用于求出所述气体中的所述微粒的数量的微粒数检测处理，/n所述控制部在执行所述微粒数检测处理时，在已由所述加热器将所述通气路加热的状态下，基于所述气体的温度与所述加热器的表面温度之差、以及由所述加热器供给的热量而求出所述气体的流量，基于与所述带电微粒捕集电极捕集到的所述带电微粒的电荷量相应地变化的物理量和所述气体的流量，求出所述气体中的每单位体积的所述微粒的数量。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170822 JP 2017-1594921.一种微粒数检测器，其中，
所述微粒数检测器具备：
壳体，该壳体具有通气路；
气体测温部，该气体测温部对从所述通气路内通过的气体的温度进行测定；
电荷产生部，该电荷产生部在所述通气路内通过气体放电而产生电荷，并对从所述通气路内通过的气体中的微粒附加所述电荷而使其成为带电微粒；
带电微粒捕集电极，该带电微粒捕集电极对所述带电微粒进行捕集；
加热器，该加热器能够对所述通气路进行加热；
加热器测温部，该加热器测温部对所述加热器的表面温度进行测定；以及
控制部，该控制部执行用于求出所述气体中的所述微粒的数量的微粒数检测处理，
所述控制部在执行所述微粒数检测处理时，在已由所述加热器将所述通气路加热的状态下，基于所述气体的温度与所述加热器的表面温度之差、以及由所述加热器供给的热量而求出所述气体的流量，基于与所述带电微粒捕集电极捕集到的所述带电微粒的电荷量相应地变化的物理量和所述气体的流量，求出所述气体中的每单位体积的所述微粒的数量。


2.一种微粒数检测器，其中，
所述微粒数检测器具备：
壳体，该壳体具有通气路；
气体测温部，该气体测温部对从所述通气路内通过的气体的温度进行测定；
电荷产生部，该电荷产生部在所述通气路内通过气体放电而产生电荷，并对从所述通气路内通过的气体中的微粒附加所述电荷而使其成为带电微粒；
剩余电荷捕集电极，该剩余电荷捕集电极对未由所述微粒携带的剩余电荷进行捕集；
加热器，该加热器能够对所述通气路进行加热；
加热器测温部，该加热器测温部对所述加热器的表...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥村英正，水野和幸，菅野京一，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP