微图文转印用真空层压装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及微图文转印用真空层压装置，其特征在于，包括装置主体和压盖，装置主体包括工作台面、若干组支撑脚、定位部件和压板，压盖包括压盖主体、硅胶垫，在压盖主体的下沿边缘设有若干第一限位块和若干安装座内嵌槽，第一限位块设有插销孔；工作台面包括长方形滑槽、纵向滚珠丝杠滑道、横向滚珠丝杠安装孔、若干压盖安装座、抽真空孔；定位部件包括滑轨、横向滚珠丝杠、第二限位块、纵向滚珠丝杠滑槽、纵向滚珠丝杠、第一定位组件和第二定位组件；压板设有若干吸附孔。本实用新型专利技术的微图文转印用真空层压装置，解决了光掩模版和薄膜基板快速精准对位，以及压合过程中由于受力过大而导致光掩模版受损的问题。

Vacuum laminating device for micrograph transfer

【技术实现步骤摘要】
微图文转印用真空层压装置
本技术涉及微图文转印设备
，尤其涉及微图文转印用真空层压装置。
技术介绍
随着科技的飞速发展，微图文转印技术被广泛用于电子元器件、高密度磁盘介质、防伪薄膜等领域，常用的微图转印文技术主要分为接触式光刻和非接触式光刻两种，其中，接触式光刻要求在曝光时将掩膜版压在衬底基片的光刻胶上，因此，需要用层压机进行对压。然而，现有的层压机进行对压操作时，常常难以将掩膜版和衬底基片进行精准对位，而且层压过程中容易因为受力过大或不均而对掩膜版和衬底基片造成损伤。中国公开号为CN208240707U公开的层压装置，包括基板和顶板，所述基板的上端面设有第一层压凹槽，所述基板与所述顶板之间设有位于所述第一层压凹槽的外周的内密封垫和位于所述内密封垫外的外密封垫，所述基板、所述顶板、所述内密封垫与所述外密封垫构成密封腔，所述基板下端面设有与所述第一层压凹槽连通的第一抽真空孔以及与所述密封腔连通的第二抽真空孔；通过控制抽真空度来实现层压力度，保证层压效果，但是，此种层压装置没有定位部件，因此，对片材的对位比较困难，且容易在对压过程中产本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.微图文转印用真空层压装置，其特征在于，包括装置主体和压盖，所述装置主体包括工作台面、设置于工作台面底部两侧的若干组支撑脚、定位部件和压板；所述压盖包括压盖主体及其设置于压盖主体内表面的硅胶垫，所述硅胶垫的厚度为1-2cm；所述压盖可相对装置主体翻转270°，且压盖可停留在0°或270°位置；/n在所述压盖主体的下沿边缘设有若干第一限位块和若干安装座内嵌槽，所述第一限位块与安装座内嵌槽交替设置，且所述第一限位块设有插销孔；/n所述工作台面为上方敞口的长方体设计，包括设置于工作台面左、右两侧面内壁的长方形滑槽，内置于工作台面前侧面并与水平面相平行的纵向滚珠丝杠滑道，内置于工作台面右侧面的横向滚...

【技术特征摘要】
1.微图文转印用真空层压装置，其特征在于，包括装置主体和压盖，所述装置主体包括工作台面、设置于工作台面底部两侧的若干组支撑脚、定位部件和压板；所述压盖包括压盖主体及其设置于压盖主体内表面的硅胶垫，所述硅胶垫的厚度为1-2cm；所述压盖可相对装置主体翻转270°，且压盖可停留在0°或270°位置；
在所述压盖主体的下沿边缘设有若干第一限位块和若干安装座内嵌槽，所述第一限位块与安装座内嵌槽交替设置，且所述第一限位块设有插销孔；
所述工作台面为上方敞口的长方体设计，包括设置于工作台面左、右两侧面内壁的长方形滑槽，内置于工作台面前侧面并与水平面相平行的纵向滚珠丝杠滑道，内置于工作台面右侧面的横向滚珠丝杠安装孔，设置在工作台面后侧面顶部的若干压盖安装座，以及内置于工作台面两侧面并贯通至长方形滑槽的抽真空孔；
所述定位部件，水平设置在工作台面的内部，呈“H”型设计，包括滑轨、平行于滑轨设置的横向滚珠丝杠、套接在横向滚珠丝杠两端的第二限位块、架设在滑轨和横向滚珠丝杠上方的纵向滚珠丝杠滑槽、设置在纵向滚珠丝杠滑槽内部的纵向滚珠丝杠、固定设置在滑轨左端上表面的第一定位组件和套接在纵向滚珠丝杠上的第二定位组件；
所述压板为长方形设计，且所述压板的长度和宽度均与工作台面的内长和内宽相一致，所述压板设置在所述长方形滑槽的上端，压板位于长方形滑槽所在的区域设有若干吸附孔。


2.据权利要求1所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述长方形滑槽呈水平设置，且长方形滑槽的一端与工作台面的前侧面内壁固定在一起，另一端与工作台面的后侧面的内壁固定在一起，且所述长方形滑槽的顶端距工作台面顶端0.5-1cm。


3.据权利要求1所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述压板为钢化玻璃材质；所述压板设有加热元件和温度传感器，所述温度传感器由外部PLC控制系统控制。


4.据权利要求1所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述抽真空孔与所述吸附孔呈相通设置，且所述抽真空孔与外部抽真空机相连。


5.据权利要求1所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述滑轨沿所述工作台面前侧面的内壁水平设置，且所述滑轨靠近纵向滚珠丝杠滑道的下边缘处，所述滑轨的一端延伸至工作台面左侧的长方形槽的侧壁并与其固定在一起，滑轨的另一端延伸至工作台面右侧的长方形槽的侧壁并与其固定在一起，在所述滑轨的两侧设有侧槽，在滑轨的左端设有若干第一定位销孔；
所述第二限位块，紧靠长方形槽的侧壁以及工作台面后侧面的内壁设置并与其固定在一起，所述第二限位块设有第一通孔，所述第一通孔的孔径与横向滚珠丝杠的外直径相一致。


6.据权利要求1所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述横向滚珠丝杠的一端设有横向滚珠丝杠手轮，所述横向滚珠丝杠的另一端穿过横向滚珠丝杠安装孔和第二限位块的第一通孔，从而使得横向滚珠丝杠架设在第二限位块和工作台面上，且所述横向滚珠丝杠可相对第二限位块和工作台面自...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯煜，周永南，袁顺年，
申请(专利权)人：江阴通利光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32