一种半导体表面绝缘薄膜加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体表面绝缘薄膜加工装置，包括机架，所述机架上安装有X轴滑块和Y轴滑块；所述X轴滑块上安装有Z轴滑块；所述Z轴滑块上安装有激光加工头；所述激光加工头一端连接有激光发生器，另一端开设有加工喷嘴；所述激光加工头靠近加工喷嘴的一端连接有气体输入器；所述Y轴滑块上安装有两块固定块；所述固定块之间安装有第一旋转块；所述第一旋转块上安装有第二旋转块；所述激光加工头内部延激光射入方向依次安装有扩束镜、反射镜和聚焦镜。本实用新型专利技术的半导体表面绝缘薄膜加工装置采用五轴结构，表面结构复杂的三维工件也能加工，且通过激光和气体反应，对半导体表面实现薄膜覆盖，薄膜快，生产效率高。

A device for processing semiconductor surface insulating film

【技术实现步骤摘要】
一种半导体表面绝缘薄膜加工装置
本技术涉及半导体加工领域，特别是涉及一种半导体表面绝缘薄膜加工装置。
技术介绍
目前﹐令导电的零件表面绝缘而不影响原有的导电功能﹐主要依靠喷涂方法在表面覆盖一层高电阻的电绝缘涂层﹐涂层厚度从0.00127到0.0127毫米。绝缘漆的基料以缩醛树指、氯丁橡胶、聚氯乙烯、聚丁烯、丁苯橡胶、硅树脂等合成树脂为主﹐这些树脂都具有良好的电绝缘性。而自干型绝缘漆能在涂复后能自己干燥成膜的绝缘漆。其机理一般分为三类：一类是挥发干燥，即高分子量的固体树脂溶解在适当的溶剂里，涂覆后溶剂挥发掉，留下固体成膜树脂。这类绝缘漆应用方便，干燥快。但耐溶剂性能差，受热易软化。第二类是氧化干燥。这类绝缘漆含有干性植物油，干性植物油分子结构中的不饱和双键在空气中氧的作用下，会自行氧化交联，从而达到干燥的目的。一般的油性、酚醛树脂和干性油醇酸树脂绝缘漆都属于氧化干燥类绝缘漆。这类绝缘漆由于植物油含量较多，耐热性能较低，为A级、E级绝缘材料，干燥时间较长，一般要一天。第三类是常温固化干燥，这类绝缘漆是在常温下、经化学反应而交联固化。而以现有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体表面绝缘薄膜加工装置，其特征在于：包括机架，/n所述机架上安装有X轴滑块和Y轴滑块；/n所述X轴滑块上安装有Z轴滑块；/n所述Z轴滑块上安装有激光加工头；/n所述激光加工头一端连接有激光发生器，另一端开设有加工喷嘴；/n所述激光加工头靠近加工喷嘴的一端连接有气体输入器；/n所述Y轴滑块上安装有两块固定块；/n所述固定块之间安装有第一旋转块；/n所述第一旋转块上安装有第二旋转块；/n所述激光加工头内部延激光射入方向依次安装有扩束镜、反射镜和聚焦镜。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体表面绝缘薄膜加工装置，其特征在于：包括机架，
所述机架上安装有X轴滑块和Y轴滑块；
所述X轴滑块上安装有Z轴滑块；
所述Z轴滑块上安装有激光加工头；
所述激光加工头一端连接有激光发生器，另一端开设有加工喷嘴；
所述激光加工头靠近加工喷嘴的一端连接有气体输入器；
所述Y轴滑块上安装有两块固定块；
所述固定块之间安装有第一旋转块；
所述第一旋转块上安装有第二旋转块；
所述激光加工头内部延激光射入方向依次安装有扩束镜、反射镜和聚焦镜。


2.如权利要求1所述的半导体表面绝缘薄膜加工装置，其特征在于:所述激光加工头内部还安装有保护玻璃，所述保护玻璃安装于聚焦镜下方，用于隔离气体与聚焦...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗国湧，甄超文，
申请(专利权)人：利民番禺南沙电器发展有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44