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本实用新型公开了一种半导体表面绝缘薄膜加工装置，包括机架，所述机架上安装有X轴滑块和Y轴滑块；所述X轴滑块上安装有Z轴滑块；所述Z轴滑块上安装有激光加工头；所述激光加工头一端连接有激光发生器，另一端开设有加工喷嘴；所述激光加工头靠近加工喷嘴...
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