一种全自动激光加工设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种全自动激光加工设备，所述设备包括：涂覆工位，对放置在其上的工件执行涂覆操作；加工工位，对放置在其上的涂覆后的工件执行激光加工操作；清洗工位，对放置在其上的激光加工后的工件执行清洗操作；传送机构，设置在所述涂覆工位、所述加工工位和所述清洗工位之间，以将所述涂覆工位上涂覆后的工件转移至所述加工工位，或者将所述加工工位上激光加工后的工件转移至所述清洗工位。涂覆工位、加工工位和清洗工位分别独立设置，可同时进行涂覆、激光加工和清洗工作，提高生产效率。另外，涂覆工位和清洗工位与加工工位分开，达到“干”、“湿”分离的效果，可有效减少涂覆和清洗过程中产生的水汽对激光开槽加工过程的不利影响。

A fully automatic laser processing equipment

【技术实现步骤摘要】
一种全自动激光加工设备
本技术属于激光加工
，具体涉及一种全自动激光加工设备。
技术介绍
近年来半导体产业发展迅猛，中国已成为半导体芯片最大消费国，而且每年的需求持续增长，中国半导体产业将进入黄金时代，当前各大半导体厂商都在进行产能扩建，以满足日益增长的消费需求，半导体设备是半导体产业发展的基础，半导体设备行业的表现与整体半导体业的景气度密不可分。传统的用于LOW_K开槽的全自动激光开槽加工设备中，涂覆、清洗与开槽加工之间没有分开，相互影响，生产效率低。
技术实现思路
本技术提供一种全自动激光加工设备，以解决涂覆、清洗与开槽加工未分开，生产效率低的技术问题。为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：一种全自动激光加工设备，所述设备包括：涂覆工位，对放置在其上的工件执行涂覆操作；加工工位，对放置在其上的涂覆后的工件执行激光加工操作；清洗工位，对放置在其上的激光加工后的工件执行清洗操作；传送机构，设置在所述涂覆工位、所述加工工位和所述清洗工位之间，以将所述涂覆工位上涂覆后的工件转移至所述加工工位，或者将所述加工工位上激光加工后的工件转移至所述清洗工位。根据本技术一实施方式，所述设备还包括：料台工位，存放加工前后的工件；上下料机构，设置在所述清洗工位和所述料台工位之间，以将所述清洗工位上清洗后的工件转移至所述料台工位，或者将所述料台工位上待加工的工件转移至所述清洗工位；所述传送机构还设置在所述清洗工位和所述涂覆工位之间，以将所述清洗工位上待加工的工件转移至所述涂覆工位。<br>根据本技术一实施方式，所述上下料机构包括：上下料轴，沿所述清洗工位和所述料台工位排列方向设置；取料机械手，沿所述上下料轴往复移动，以将所述清洗工位上清洗后的工件放置至所述料台工位，或者将所述料台工位上待加工的工件放置至所述清洗工位。根据本技术一实施方式，所述设备还包括：等待工位，所述清洗工位、所述涂覆工位、所述加工工位和所述等待工位形成回形结构；所述传送机构设置在所述加工工位、所述等待工位和所述清洗工位之间，以将所述加工工位上激光加工后的工件转移至所述等待工位，或者将所述等待工位上的工件转移至所述清洗工位。根据本技术一实施方式，所述传送机构包括：第一送料轴，沿所述等待工位和所述清洗工位排列方向设置；第一机械手，沿所述第一送料轴往复移动，以将所述等待工位的工件放置至所述清洗工位。根据本技术一实施方式，所述传送机构包括：第一给料轴，沿所述加工工位和所述等待工位排列方向设置，并延伸至所述第一送料轴；第二给料轴，垂直于所述第一给料轴设置；所述加工工位沿所述第一给料轴和第二给料轴移动，以移动至第一给料轴靠近所述第一送料轴一端，且通过所述第一机械手将所述加工工位上激光加工后的工件放置至所述等待工位。根据本技术一实施方式，所述料台工位、所述清洗工位和所述等待工位位于同一排列方向；所述第一送料轴进一步延伸至所述料台工位；所述第一机械手进一步将所述清洗工位上清洗后的工件放置至所述料台工位，或者将所述料台工位上待加工的工件放置至所述清洗工位。根据本技术一实施方式，所述传送机构包括：第二送料轴，沿所述清洗工位和所述涂覆工位排列方向设置；第二机械手，沿所述第二送料轴往复移动，以将所述清洗工位上待加工的工件放置至所述涂覆工位。根据本技术一实施方式，所述传送机构包括：第三送料轴，沿所述涂覆工位和所述加工工位排列方向设置；第三机械手，沿所述第三送料轴往复移动，以将所述涂覆工位上涂覆后的工件放置至所述加工工位。根据本技术一实施方式，所述清洗工位上设置有规整组件，以规整工件。本技术的有益效果是：区别于现有技术，涂覆工位、加工工位和清洗工位分别独立设置，可同时进行涂覆、激光加工和清洗工作，提高生产效率。另外，涂覆工位和清洗工位与加工工位分开，达到“干”、“湿”分离的效果，可有效减少涂覆和清洗过程中产生的水汽对激光开槽加工过程的不利影响。涂覆工位、加工工位、等待工位和清洗工位之间形成顺流的回形结构，各送料轴和机械手间运动轨迹独立，避免路径干涉，提高了整个设备的稳定性和加工效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：图1是本技术的全自动激光加工设备的一实施例的工位分布结构示意图；图2是本技术的全自动激光加工设备的一实施例的俯视结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1，图1是本技术的全自动激光加工设备的一实施例的工位分布结构示意图。本技术一实施例提供的一种全自动激光加工设备10，包括独立设置的涂覆工位11、加工工位12和清洗工位13。涂覆工位11对放置在其上的工件执行涂覆操作；加工工位12对放置在其上的涂覆后的工件执行激光加工操作；清洗工位13对放置在其上的激光加工后的工件执行清洗操作。设备10还包括传送机构，传送机构设置在涂覆工位11、加工工位12和清洗工位13之间，以将涂覆工位11上涂覆后的工件转移至加工工位12，或者将加工工位12上激光加工后的工件转移至清洗工位13。一个工件的加工流程为涂覆-加工-清洗，具体地，工件在涂覆工位11进行涂覆，涂覆完成后，传送机构将涂覆后的工件移动至加工工位12，并将下一个待涂覆的工件移动至涂覆工位11；加工工位12对放置在其上的涂覆后的工件进行激光开槽加工，加工完成后，传送机构将激光加工后的工件移动至清洗工位13，进行清洗，同时传送机构将下一个涂覆后的工件移动至加工工位12；清洗工位13对放置其上的激光加工后的工件进行清洗，清洗完成后，移动机构将清洗后的工件转移，并将下一个激光加工完成后的工件移动至清洗工位13进行清洗。在一个具体的实施场景中，涂覆工位11的工作时长约为4分钟，加工工位12的工作时间约为5分钟，清洗工位13的工作时长约为3分钟，同时加工工位12的造价昂贵，若涂覆工位11和清洗工位13没有分开，则涂覆工位11和清洗工位13的工作时长总和大于加工工位12的工位时长，加工工位12有较长的等待加工时间，得不到有效利用，造成浪费。从上述内容可以看出，涂覆工位11、加工工位12和清洗工位13分别独立设置，可同时进行涂覆、激光加工和清洗工作，提高生产效率。另外，涂覆工位11和清洗工位13与加工工位12分开，达到“干”、“湿”分离的效果，可有效减少涂覆和清洗过程中产生的水汽对激光开槽加工过程的不利影响。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种全自动激光加工设备，其特征在于，所述设备包括：/n涂覆工位，对放置在其上的工件执行涂覆操作；/n加工工位，对放置在其上的涂覆后的工件执行激光加工操作；/n清洗工位，对放置在其上的激光加工后的工件执行清洗操作；/n传送机构，设置在所述涂覆工位、所述加工工位和所述清洗工位之间，以将所述涂覆工位上涂覆后的工件转移至所述加工工位，或者将所述加工工位上激光加工后的工件转移至所述清洗工位。/n

【技术特征摘要】
1.一种全自动激光加工设备，其特征在于，所述设备包括：
涂覆工位，对放置在其上的工件执行涂覆操作；
加工工位，对放置在其上的涂覆后的工件执行激光加工操作；
清洗工位，对放置在其上的激光加工后的工件执行清洗操作；
传送机构，设置在所述涂覆工位、所述加工工位和所述清洗工位之间，以将所述涂覆工位上涂覆后的工件转移至所述加工工位，或者将所述加工工位上激光加工后的工件转移至所述清洗工位。


2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括：
料台工位，存放加工前后的工件；
上下料机构，设置在所述清洗工位和所述料台工位之间，以将所述清洗工位上清洗后的工件转移至所述料台工位，或者将所述料台工位上待加工的工件转移至所述清洗工位；
所述传送机构还设置在所述清洗工位和所述涂覆工位之间，以将所述清洗工位上待加工的工件转移至所述涂覆工位。


3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述上下料机构包括：
上下料轴，沿所述清洗工位和所述料台工位排列方向设置；
取料机械手，沿所述上下料轴往复移动，以将所述清洗工位上清洗后的工件放置至所述料台工位，或者将所述料台工位上待加工的工件放置至所述清洗工位。


4.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述设备还包括：
等待工位，所述清洗工位、所述涂覆工位、所述加工工位和所述等待工位形成回形结构；
所述传送机构设置在所述加工工位、所述等待工位和所述清洗工位之间，以将所述加工工位上激光加工后的工件转移至所述等待工位，或者将所述等待工位上的工件转移至所述清洗工位。


5.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：无锡先导智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32