废气处理系统燃烧室结构技术方案

本实用新型专利技术为一种废气处理系统中的燃烧室结构，包括燃烧室、加热棒以及加热棒保护套，其特征在于：在燃烧室内壁涂有涂层，该涂层在氧化锆复合涂层、氧化铝涂层、氧化铝复合涂层中选择一种。加热棒保护套的材质为氧化铝陶瓷。本实用新型专利技术不但耐危害性有毒气体的腐蚀，而且耐高温，可以安全有效的处理这些废气和危害性有毒气体，使排放的气体达到环保标准。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种废气和危害性有毒气体的处理装置，公开一种废气处理系统燃烧室结构。废气和危害性有毒气体是在半导体制程原物料与副产物中产生的，通过在燃烧室中燃烧可以处理这些气体，使排放的气体达到环保排放标准。二
技术介绍
在处理半导体制程原物料与副产物中会产生多种废气和危害性有毒气体，这些危害物有些有腐蚀燃烧室的危险，因此这些危害性有毒气体不能直接排放到大气中，所以就会涉及到处理这些废气和危害性有毒气体的方法和装置。一般处理的方法有(1)电热水洗式(Thermal type)加热温度在800～1300度间，处理可燃气体且其燃烧产物可溶于水的气体，如H2，TDMAT，DCS，NF3，N2O，NH3，SiH4，C2F6，ClF3，WF6等气体；(2)燃烧水洗式(Burn type)通入CH4、C3H8和O2等气体进行高温燃烧处理可燃气体，其最高温度可达1600℃，可有效处理各种可燃气体(包括PFC)；这些废气和危害性有毒气体是通过废气处理系统中的燃烧室进行处理。但是由于有些气体一般都会有腐蚀性，所以在燃烧室中处理时，会腐蚀燃烧室的内壁，因此对燃烧室的制造时要解决该问题。三
技术实现思路
为了解决本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废气处理系统燃烧室结构，包括燃烧室、加热棒以及加热棒保护套，其特征在于：在燃烧室内壁涂有涂层，该涂层在氧化锆复合涂层、氧化铝涂层、氧化铝复合涂层中选择一种。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周鸿淇，
申请(专利权)人：真一上海集成电路设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]