一种高精度微流道网络制作方法技术

本发明专利技术公开了一种高精度微流道网络制作方法，采用了光刻、刻蚀、电铸、电镀、注塑、键合、粘接等程序，进行了微纳加工、电化学等方法的多套微流道网络高精度模具制备，突破了高质量图形结构和使用寿命的金属模具制备技术难点。该发明专利技术将微纳加工与高精度机械加工技术融合，集成微流控传感芯片跨尺度制备技术，制备出具有较大深宽比、侧壁陡峭、表面平整的精细的结构微流道网络。可以构建适用于多种微小样本的高通量、微型化、高性能微流道网络芯片，能够适用于多种终端应用，可以广泛应用于生物、化学、医学分析等科研及工程领域。

A manufacturing method of micro channel network with high precision

【技术实现步骤摘要】
一种高精度微流道网络制作方法
本专利技术涉及电子
，尤其涉及一种高精度微流道网络制作方法。
技术介绍
微流道网络作为微流体技术的关键载体零件，现在已经发展到采用尺寸为微米量级的微细管道，进行体积为纳升到阿升的微小流体处理或操纵。因为其体积小、样品消耗少、可以实现多功能集成的快速检测，因此在便携临床检测诊断方向有巨大应用潜力。同时，微流道网络非常适合离线反应及组织器官体外模型构建，已经成为系统生物学研究所不可或缺的重要步骤。但本申请专利技术人在实现本专利技术实施例中技术方案的过程中，发现上述现有技术至少存在如下技术问题：传统的制备方法工艺流程复杂，且制备出的材料作为模具容易破裂、柔韧性差的问题。
技术实现思路
本专利技术实施例通过提供一种高精度微流道网络制作方法，用以解决传统的制备方法工艺流程复杂，且制备出的材料作为模具容易破裂、柔韧性差的问题，实现了可避免直接采用硅等高精度图形转移材料作为模具的容易碎裂、韧性差等问题。工艺流程简单可控，重复性好，可用于自动化宏量生产的技术效果。>为了解决上述问题，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度微流道网络制作方法，其特征在于，所述方法包括：/n步骤110：获得一衬底；/n步骤120：对所述衬底进行清洗和表面处理后，采用光刻的方法将设计好的微流道网络图形结构图形化至所述衬底表面；/n步骤130：对完成刻蚀步骤的衬底，进行光刻胶去除及衬底清洗，完成第一模具零件；/n对所述第一模具零件表面进行涂层材料处理，形成种子层；/n步骤140：利用第一模具零件加工成第二模具零件的精密结构部分；/n步骤150：对第二模具零件的精密结构部分进行处理后，获得所有图形化刻蚀的第二模具零件的加工完成部分；/n步骤160：选定金属衬背材料，按照第三模具零件的尺寸，结合第二模具零件的加工完成部分加工...

【技术特征摘要】
1.一种高精度微流道网络制作方法，其特征在于，所述方法包括：
步骤110：获得一衬底；
步骤120：对所述衬底进行清洗和表面处理后，采用光刻的方法将设计好的微流道网络图形结构图形化至所述衬底表面；
步骤130：对完成刻蚀步骤的衬底，进行光刻胶去除及衬底清洗，完成第一模具零件；
对所述第一模具零件表面进行涂层材料处理，形成种子层；
步骤140：利用第一模具零件加工成第二模具零件的精密结构部分；
步骤150：对第二模具零件的精密结构部分进行处理后，获得所有图形化刻蚀的第二模具零件的加工完成部分；
步骤160：选定金属衬背材料，按照第三模具零件的尺寸，结合第二模具零件的加工完成部分加工成背衬腔体结构，并在所述背衬腔体结构上保留后续工艺进料入口，进而完成后道注塑工艺后的第三模具零件；
步骤170：采用高分子材质，采用注塑工艺，在所述第三模具零件中注塑成型第一层微流道网络零件关键结构；
步骤180：获得网络盖板零件，并在所述网络盖板零件上设置粘附材料；
步骤190：将所述网络盖板零件和所述第一次微流道网络零件关键结构密封粘合，获得第一层微流道网络。


2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
按照步骤110-190加工第二层微流道网络，并将所述第一层微流道网络和所述第二层微流道网络加工成双层微流道网络。

【专利技术属性】
技术研发人员：解婧，邢建鹏，李超波，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11