【技术实现步骤摘要】
本技术有关于一种沸石转轮,尤指一种沸石转轮的防止气体泄漏结构。
技术介绍
半导体及光电技术的蓬勃发展,虽快速地带动台湾科技产业的成长,然而,在另一方面,却也衍生了许多与环保息息相关的问题,如废气等。在半导体组件或光电组件的工艺中会排放大量挥发性有机物(VOCs, Volatile OrganicCompounds ),而这些VOCs绝大部分属于有害空气污染物(HAPs, Hazardous AirPollutants),人体长期暴露于含高浓度VOCs的环境中会产生中毒及致癌性肿瘤等反应;除此之外,大气中的VOCs会产生光化学反应,导致大气中臭氧浓度升高及产生高氧化性污染物。因此,这些含有挥发性有机物的废气排放前必须先加以处理,不可直接排放到大气中。由于半导体制造业和光电业的废气排放量大,且VOCs的含量属中低范围,一般废气处理的方式釆用沸石浓缩转轮系统,以将大风量低浓度的VOCs废气浓缩成小风量高浓度的气体,用以节省废气焚化过程中的燃料费用。请参图1及图2,废气处理实施时,沸石转轮10a设于箱体20a内,该沸石转轮10a为一种由疏水性沸石所组成的蜂巢状转轮,该沸 ...
【技术保护点】
一种沸石转轮的防止气体泄漏结构,沸石转轮容设在箱体内,该箱体与该沸石转轮的端面形成有容置空间,该容置空间内设有分隔片,该分隔片将该容置空间及该沸石转轮至少区隔成两个区,其特征在于,该防止气体泄漏结构包括: 固定支架,结合于所述分隔片上 ; 中空柱体,结合于该固定支架并贴近所述沸石转轮的端面;以及 耐高温气密垫片,结合于该中空柱体的表面,该耐高温气密垫片紧密地接触所述沸石转轮的端面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡庆生,欧孟斯,叶国栋,庄锦烽,
申请(专利权)人:力技科技工程股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:71[中国|台湾]
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