废气处理系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种废气处理系统，所述废气处理系统包括:二蓄热床，其内部含有一热交换介质；一去除挥发性有机物触媒床，其设置在所述蓄热床上方；一选择性还原触媒床，其设置在所述去除挥发性有机物触媒床上方；一燃烧室，其连通所述选择性还原触媒床；一燃烧器，其设置在所述燃烧室上方；一还原气体输入管线，其设置在所述蓄热床下方。本实用新型专利技术通过整合蓄热式触媒焚化法及选择性触媒还原法，可同时去除废气中的挥发性有机物与氮氧化物，以提高处理效率及降低维护与操作的成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

废气处理系统
本技术与废气处理系统有关，特别有关于一种整合蓄热式触媒焚化法及选择 性触媒还原法的废气处理系统。
技术介绍
半导体及光电产业制程多见含有氮化合物，如NMP、DMF、TMAH、MEA等，这些含氮 物质随着其它挥发性有机物(volatile organic compounds, VOCs),—起经由污染防制废 气处理后排放，而高科技产业对于挥发性有机物管末处理，现行以沸石转轮搭配焚化处理 为具有效益的方式。不过最终以焚化方式处理含氮挥发性有机物时，将面临燃烧尾气排放氮氧化物 (nitrogen oxides, NOx)的问题,虽然高科技产业所排放的NOx浓度目前仍符合法规标 准，但为改善整个区域的空气质量，在未来控制此类NOx将有所必要。废气中挥发性有机物的控制技术，目前采用蓄热式焚化炉(RTO)或蓄热式触媒焚 化炉(RCO)，对挥发性有机物进行燃烧。蓄热式焚化炉及蓄热式触媒焚化炉主要是在燃烧室 下方设置蓄热床，蓄热床内部装置有热交换介质，例如蓄热陶瓷，并在燃烧室上方设置燃烧 器，用于燃烧挥发性有机物，而蓄热床内部的蓄热陶瓷则是用于回收焚化后的高温热能，并 用于预热本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废气处理系统，其特征在于，所述废气处理系统将一蓄热式触媒焚化炉与一选择性触媒还原器整合在一壳体中，且所述废气处理系统包括:?二蓄热床，其内部含有一热交换介质；一去除挥发性有机物触媒床，其设置在所述蓄热床上方；一选择性还原触媒床，其设置在所述去除挥发性有机物触媒床上方；一燃烧室，其连通所述选择性还原触媒床；一燃烧器，其设置在所述燃烧室上方；以及一还原气体输入管线，其设置在所述蓄热床下方。

【技术特征摘要】
1.一种废气处理系统，其特征在于，所述废气处理系统将一蓄热式触媒焚化炉与一选择性触媒还原器整合在一壳体中，且所述废气处理系统包括 二蓄热床，其内部含有一热交换介质； 一去除挥发性有机物触媒床，其设置在所述蓄热床上方； 一选择性还原触媒床，其设置在所述去除挥发性有机物触媒床上方； 一燃烧室，其连通所述选择性还原触媒床； 一燃烧器，其设置在所述燃烧室上方；以及 一还原气体输入管线，其设置在所述蓄热床下方。2.如权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于，所述热交换介质为蜂窝...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄锦烽，蔡庆生，
申请(专利权)人：力技科技工程股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：