同时脱除四氟化碳及伴生氮氧化物气体的系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种同时脱除四氟化碳及伴生氮氧化物气体的系统。系统包括流量控制器、等离子体反应装置、催化反应装置和尾气处理装置；催化反应装置通过法兰或螺扣连接在等离子体反应装置和尾气处理装置之间，使催化反应装置可调换。催化反应装置包括石英管；石英管内填充有催化剂床层，石英管外壁包有保温层。尾气处理装置的尾气进口通过倾斜管路与吸收室连接，在吸收室的顶部设有尾气出口。本实用新型专利技术具有四氟化碳脱除效率高，能耗低、无二次污染的特点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种废气的处理系统和处理方法，尤其涉及一种同时脱除四氟化碳和氮氧化物的系统和方法。
技术介绍
四氟化碳(CF4)是全氟碳化物(简称PFCs)中最稳定的ー种气体，由于其在大气中具有较长的存在年限和強烈的红外吸收能力，可引发强烈的温室效应。CF4废气主要产生于半导体エ业，控制其排放在过去的三十年间在全球范围内引起強烈的关注。近几年来，随着我国半导体エ业的快速发展，CF4排放量逐年増加。国内相关资料显示，我国在CF4削減技术研究方面尚未起步，这将制约我国半导体エ业以及与CF4排放相关エ业的可持续发展，开展削减CF4排放的相关工作符合我国的环境保护和经济发展战略。目前对于削減CF4等PFCs排放主要有四个途径1)选择可以替代PFCs的新的化学物质；2)生产エ艺优化；3)对PFCs循环再利用；4)对排放的PFCs气体进行末端治理。虽然前三个措施更加符合清洁生产的原则，但是因为产生PFCsエ业的エ艺现状和经济成本等条件制约，末端治理脱除PFCs气体成为目前比较行之有效的方法。对于PFCs气体的末端治理去除，国外目前有很多エ艺，包括燃烧方法，热催化氧化方法，等离子体分解方法等。燃烧エ艺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种同时脱除四氟化碳及伴生氮氧化物气体的系统，包括流量控制器（2）、等离子体反应装置、催化反应装置和尾气处理装置，其特征在于：所述催化反应装置通过法兰或螺扣（7）连接在等离子体反应装置和尾气处理装置之间，使催化反应装置可调换；?所述催化反应装置包括石英管（15）；所述石英管内填充有催化剂床层（8），石英管外壁包有保温层（9）；?所述尾气处理装置的尾气进口（11）通过倾斜管路（12）与吸收室（17）连接，在吸收室的顶部设有尾气出口（14）。

【技术特征摘要】
1.一种同时脱除四氟化碳及伴生氮氧化物气体的系统，包括流量控制器(2)、等离子体反应装置、催化反应装置和尾气处理装置，其特征在于所述催化反应装置通过法兰或螺扣(7)连接在等离子体反应装置和尾气处理装置之间，使催化反应装置可调换；所述催化反应装置包括石英管(15);所述石英管内填充有催化剂床层(8)，石英管外壁包有保温层(9);所述尾气处理装置的尾气进口( 11)通过倾斜管路(12)与吸收室(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱小梅，孙冰，解宏端，张连政，
申请(专利权)人：大连海事大学，
类型：实用新型
国别省市：