一种集成电路生产用排风节能设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种集成电路生产用排风节能设备。所述集成电路生产用排风节能设备包括：无尘室和无尘室空调机组；测试机，所述测试机设置于所述无尘室的内部；罩体，所述罩体设置于所述无尘室的内部且位于所述测试机的表面；送风管，所述送风管的一端连通于所述无尘室空调机组的进风端。本实用新型专利技术提供的集成电路生产用排风节能设备，通过抽风泵工作通过连接管、排风集气管、排风管和抽风管将测试机附近携带热量的气体送入至送风管中，再由送风管送入至无尘室空调机组内，利用无尘室空调机组控制热能需求，变废为宝，可有效降低能资源损耗，达到节能减排效果，最后由无尘室空调机组往无尘室中补充恒温恒湿的气体。

An energy-saving exhaust equipment for IC production

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路生产用排风节能设备
本技术涉及集成电路封测辅助设备领域，尤其涉及一种集成电路生产用排风节能设备。
技术介绍
集成电路封测工艺生产环境为恒温恒湿的无尘室(温度23摄氏度，湿度50％)，而我国大部分区域(华东，华北，西南)都是夏季高温高湿高湿，冬季低温低湿，调整至符合规定的温湿度，需消耗极大的能源来调整及维持(水，电力，燃气)，据统计按2000平米的无尘室计算，需消耗能源费用达200万人民币/年。目前部分集成电路封测工艺生产设备，测试主机因机台发热量大(单台机台热量约35000KJ/h)，会对无尘室恒温恒湿环境带来很大影响，传统方法将其用风机直接将其排到大气中，同时将调整好的环境气体带走，需要将新进空气重新调整温湿度，送入车间，带来能源浪费。因此，有必要提供一种集成电路生产用排风节能设备解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种集成电路生产用排风节能设备，解决了目前集成电路封测工艺生产设备在工作时，耗能较大的问题。为解决上述技术问题，本技术提供的集成电路生产用排风节能设备，包括：无尘室和无尘室空调机组；测试机，所述测试机设置于所述无尘室的内部；罩体，所述罩体设置于所述无尘室的内部且位于所述测试机的表面；送风管，所述送风管的一端连通于所述无尘室空调机组的进风端；排风机构，所述排风机构设置于所述无尘室内，所述排风机构分别与所述罩体和所述送风管连通。优选的，所述排风机构包括排风集气管、抽风泵、连接管、排风管和抽风管，所述抽风管的一端连通于所述罩体上，所述排风集气管设置于所述无尘室的内部，所述抽风泵的底部通过连接座固定于所述无尘室的一侧的顶部，所述排风管的一端连通于所述送风管的表面。优选的，所述排风管的一端与所述抽风泵的出风端连通，所述抽风管的一端与所述排风集气管的表面连通。优选的，所述连接管的一端连通于所述抽风泵的进风端，所述连接管的另一端与所述排风集气管的一端连通。优选的，所述无尘室空调机组的出风端连通有通管，所述通管的一端与所述无尘室的一侧连通，所述罩体的表面开设有空气流通孔。优选的，所述送风管的一端连通有过滤机构，所述过滤机构包括过滤框、两个U型框、过滤板、进风管和箱门，所述过滤框的一侧连通于所述送风管的一端，两个所述U型框相离的一侧分别固定于所述过滤框的内壁的顶部和底部，所述过滤板设置于两个所述U型框相对的一侧之间。优选的，所述进风管的一端连通于所述过滤框的一侧，所述箱门通过合页铰接于所述过滤框的表面。与相关技术相比较，本技术提供的集成电路生产用排风节能设备具有如下有益效果：本技术提供一种集成电路生产用排风节能设备，通过抽风泵工作通过连接管、排风集气管、排风管和抽风管将测试机附近携带热量的气体送入至送风管中，再由送风管送入至无尘室空调机组内，利用无尘室空调机组控制热能需求，变废为宝，可有效降低能资源损耗，达到节能减排效果，最后由无尘室空调机组往无尘室中补充恒温恒湿的气体。附图说明图1为本技术提供的集成电路生产用排风节能设备的第一实施例的结构示意图；图2为本技术提供的集成电路生产用排风节能设备的流程图；图3为本技术提供的集成电路生产用排风节能设备的第二实施例的结构示意图；图4为图3所示的过滤机构的结构示意图；图5为图3所示的过滤框的表面的结构示意图。图中标号：1、无尘室，2、无尘室空调机组，3、测试机，4、罩体，5、送风管，6、排风机构，61、排风集气管，62、抽风泵，63、连接管，64、排风管，65、抽风管，7、通管，8、空气流通孔，9、过滤机构，91、过滤框，92、U型框，93、过滤板，94、进风管，95、箱门。具体实施方式下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。请结合参阅图1、图2、图3、图4和图5，其中，图1为本技术提供的集成电路生产用排风节能设备的第一实施例的结构示意图；图2为本技术提供的集成电路生产用排风节能设备的流程图；图3为本技术提供的集成电路生产用排风节能设备的第二实施例的结构示意图；图4为本技术提供的集成电路生产用排风节能设备的第二实施例的结构示意图；图5为图3所示的过滤框的表面的结构示意图。本技术提出一种集成电路生产用排风节能设备。第一实施例请参照图1-2，在本技术的第一实施例中，集成电路生产用排风节能设备包括：无尘室1和无尘室空调机组2；测试机3，所述测试机3设置于所述无尘室1的内部；罩体4，所述罩体4设置于所述无尘室1的内部且位于所述测试机3的表面；送风管5，所述送风管5的一端连通于所述无尘室空调机组2的进风端；排风机构6，所述排风机构6设置于所述无尘室1内，所述排风机构6分别与所述罩体4和所述送风管5连通。所述排风机构6包括排风集气管61、抽风泵62、连接管63、排风管64和抽风管65，所述抽风管65的一端连通于所述罩体4上，所述排风集气管61设置于所述无尘室1的内部，所述抽风泵62的底部通过连接座固定于所述无尘室1的一侧的顶部，所述排风管64的一端连通于所述送风管5的表面。所述排风管64的一端与所述抽风泵62的出风端连通，所述抽风管65的一端与所述排风集气管61的表面连通。所述连接管63的一端连通于所述抽风泵62的进风端，所述连接管63的另一端与所述排风集气管61的一端连通。所述无尘室空调机组2的出风端连通有通管7，所述通管7的一端与所述无尘室1的一侧连通，所述罩体4的表面开设有空气流通孔8，空气连通孔8用于使无尘室1内的气体进入至罩体4内，罩体4用于使排风机构6所抽的气体具备测试机3散发的热量。将热风并入无尘室空调机组2送风段后，可节约能资源如下：避免增加新风量导致无尘室空调系统风机能耗增加：按风机2台(60KW)6万风量计算可节约风量约50％，节能电量约30KWH，年节约费用30KWH*24H*365天*0.75元/KWH＝20万；节约外气温湿度调整能耗：全部引外气为新风，全年消耗能源费用达200万，将测试机热排并入新风管道后，因为该排风温度及湿度品质均优于外气，有减少温湿度调整能耗约1/4，费用约50万。本技术提供的集成电路生产用排风节能设备的工作原理如下：在使用时，抽风泵62工作通过连接管63、排风集气管61、排风管64和抽风管65将测试机3附近携带热量的气体送入至送风管5中，再由送风管5送入至无尘室空调机组2内，利用无尘室空调机组2控制热能需求，变废为宝，可有效降低能资源损耗，达到节能减排效果，最后由无尘室空调机组2往无尘室1中补充恒温恒湿的气体。与相关技术相比较，本技术提供的集成电路生产用排风节能设备有如下有益效果：通过抽风泵62工作通过连接管63、排风集气管61、排风管64和抽风管65将测试机3附近携带热量的气体送入至送风管5中，再由送风管5送入至无尘室空调机组2内，利用无尘室空调机组2控制热能需求，变废为宝，可有效降低能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路生产用排风节能设备，其特征在于，包括：/n无尘室和无尘室空调机组；/n测试机，所述测试机设置于所述无尘室的内部；/n罩体，所述罩体设置于所述无尘室的内部且位于所述测试机的表面；/n送风管，所述送风管的一端连通于所述无尘室空调机组的进风端；/n排风机构，所述排风机构设置于所述无尘室内，所述排风机构分别与所述罩体和所述送风管连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种集成电路生产用排风节能设备，其特征在于，包括：
无尘室和无尘室空调机组；
测试机，所述测试机设置于所述无尘室的内部；
罩体，所述罩体设置于所述无尘室的内部且位于所述测试机的表面；
送风管，所述送风管的一端连通于所述无尘室空调机组的进风端；
排风机构，所述排风机构设置于所述无尘室内，所述排风机构分别与所述罩体和所述送风管连通。


2.根据权利要求1所述的集成电路生产用排风节能设备，其特征在于，所述排风机构包括排风集气管、抽风泵、连接管、排风管和抽风管，所述抽风管的一端连通于所述罩体上，所述排风集气管设置于所述无尘室的内部，所述抽风泵的底部通过连接座固定于所述无尘室的一侧的顶部，所述排风管的一端连通于所述送风管的表面。


3.根据权利要求2所述的集成电路生产用排风节能设备，其特征在于，所述排风管的一端与所述抽风泵的出风端连通，所述抽风管的一端与所述排风集气管的表面连通。

【专利技术属性】
技术研发人员：梁华，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34