一种集成电路生产用排风节能设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种集成电路生产用排风节能设备。所述集成电路生产用排风节能设备包括：无尘室和无尘室空调机组；测试机，所述测试机设置于所述无尘室的内部；罩体，所述罩体设置于所述无尘室的内部且位于所述测试机的表面；送风管，所述送风管的一端连通于所述无尘室空调机组的进风端。本实用新型专利技术提供的集成电路生产用排风节能设备，通过抽风泵工作通过连接管、排风集气管、排风管和抽风管将测试机附近携带热量的气体送入至送风管中，再由送风管送入至无尘室空调机组内，利用无尘室空调机组控制热能需求，变废为宝，可有效降低能资源损耗，达到节能减排效果，最后由无尘室空调机组往无尘室中补充恒温恒湿的气体。

An energy-saving exhaust equipment for IC production

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路生产用排风节能设备
本技术涉及集成电路封测辅助设备领域，尤其涉及一种集成电路生产用排风节能设备。
技术介绍
集成电路封测工艺生产环境为恒温恒湿的无尘室(温度23摄氏度，湿度50％)，而我国大部分区域(华东，华北，西南)都是夏季高温高湿高湿，冬季低温低湿，调整至符合规定的温湿度，需消耗极大的能源来调整及维持(水，电力，燃气)，据统计按2000平米的无尘室计算，需消耗能源费用达200万人民币/年。目前部分集成电路封测工艺生产设备，测试主机因机台发热量大(单台机台热量约35000KJ/h)，会对无尘室恒温恒湿环境带来很大影响，传统方法将其用风机直接将其排到大气中，同时将调整好的环境气体带走，需要将新进空气重新调整温湿度，送入车间，带来能源浪费。因此，有必要提供一种集成电路生产用排风节能设备解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种集成电路生产用排风节能设备，解决了目前集成电路封测工艺生产设备在工作时，耗能较大的问题。为解决上述技术问题，本技术提供的集成电路生产用排风节能设备，包括：无尘室和无尘本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路生产用排风节能设备，其特征在于，包括：/n无尘室和无尘室空调机组；/n测试机，所述测试机设置于所述无尘室的内部；/n罩体，所述罩体设置于所述无尘室的内部且位于所述测试机的表面；/n送风管，所述送风管的一端连通于所述无尘室空调机组的进风端；/n排风机构，所述排风机构设置于所述无尘室内，所述排风机构分别与所述罩体和所述送风管连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种集成电路生产用排风节能设备，其特征在于，包括：
无尘室和无尘室空调机组；
测试机，所述测试机设置于所述无尘室的内部；
罩体，所述罩体设置于所述无尘室的内部且位于所述测试机的表面；
送风管，所述送风管的一端连通于所述无尘室空调机组的进风端；
排风机构，所述排风机构设置于所述无尘室内，所述排风机构分别与所述罩体和所述送风管连通。


2.根据权利要求1所述的集成电路生产用排风节能设备，其特征在于，所述排风机构包括排风集气管、抽风泵、连接管、排风管和抽风管，所述抽风管的一端连通于所述罩体上，所述排风集气管设置于所述无尘室的内部，所述抽风泵的底部通过连接座固定于所述无尘室的一侧的顶部，所述排风管的一端连通于所述送风管的表面。


3.根据权利要求2所述的集成电路生产用排风节能设备，其特征在于，所述排风管的一端与所述抽风泵的出风端连通，所述抽风管的一端与所述排风集气管的表面连通。

【专利技术属性】
技术研发人员：梁华，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34