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本实用新型提供一种集成电路生产用排风节能设备。所述集成电路生产用排风节能设备包括：无尘室和无尘室空调机组；测试机，所述测试机设置于所述无尘室的内部；罩体，所述罩体设置于所述无尘室的内部且位于所述测试机的表面；送风管，所述送风管的一端连通于所...
该专利属于合肥新汇成微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥新汇成微电子有限公司授权不得商用。

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