一种硅片喷淋清洗机制造技术

本申请公开了一种硅片喷淋清洗机，包括传送带及清洗箱；清洗箱相对的两侧壁中部对称的开设有传输窗口；传送带穿过两个传输窗口设置；传送带上沿传输方向均匀的设置有若干分离的清洗花篮；清洗箱内的顶部设置有喷淋清洗机构；两个传输窗口的上方对称的开设有开口槽；两个开口槽可活动的穿过设置有传动板；传动板位于清洗箱外侧的两端分别设置有偏心传动机构。本实用新型专利技术的结构简单，清洗效果好，清洗效率高。

A silicon wafer spray cleaning machine

【技术实现步骤摘要】
一种硅片喷淋清洗机
本公开一般涉及清洗设备
，尤其涉及一种硅片喷淋清洗机。
技术介绍
在工业上，常见的硅片清洗方法有超声波清洗，鼓泡清洗以及喷淋清洗，其中喷淋清洗的工艺较为简单，仅仅是通过静态的喷淋清洗硅片，清洗效果并不是很好，硅片清洗不够干净。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种结构简单，清洗效果好，清洗效率高的硅片喷淋清洗机。本技术提供的一种硅片喷淋清洗机，包括传送带及清洗箱；清洗箱相对的两侧壁中部对称的开设有传输窗口；传送带穿过两个传输窗口设置；传送带上沿传输方向均匀的设置有若干分离的清洗花篮；清洗箱内的顶部设置有喷淋清洗机构；喷淋清洗机构包括沿传送带传输方向固定设置的主水管；主水管的侧壁底端沿长度方向均匀设置有若干固定块；固定块的底端设置有球形的卡槽；卡槽内可转动的卡接有转球；转球的底端固定连接有竖直向下的分水管；分水管的侧壁通过连接水管与主水管的侧壁相连通；两个传输窗口的上方对称的开设有开口槽；两个开口槽可活动的穿过设置有传动板；分水管的底端可转动的穿过传动板连接设置有清洗本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片喷淋清洗机，其特征在于，包括传送带及清洗箱；所述清洗箱相对的两侧壁中部对称的开设有传输窗口；所述传送带穿过两个所述传输窗口设置；所述传送带上沿传输方向均匀的设置有若干分离的清洗花篮；/n所述清洗箱内的顶部设置有喷淋清洗机构；所述喷淋清洗机构包括沿所述传送带传输方向固定设置的主水管；所述主水管的侧壁底端沿长度方向均匀设置有若干固定块；所述固定块的底端设置有球形的卡槽；所述卡槽内可转动的卡接有转球；所述转球的底端固定连接有竖直向下的分水管；所述分水管的侧壁通过连接水管与所述主水管的侧壁相连通；两个所述传输窗口的上方对称的开设有开口槽；两个所述开口槽可活动的穿过设置有传动板；所述分水管的...

【技术特征摘要】
1.一种硅片喷淋清洗机，其特征在于，包括传送带及清洗箱；所述清洗箱相对的两侧壁中部对称的开设有传输窗口；所述传送带穿过两个所述传输窗口设置；所述传送带上沿传输方向均匀的设置有若干分离的清洗花篮；
所述清洗箱内的顶部设置有喷淋清洗机构；所述喷淋清洗机构包括沿所述传送带传输方向固定设置的主水管；所述主水管的侧壁底端沿长度方向均匀设置有若干固定块；所述固定块的底端设置有球形的卡槽；所述卡槽内可转动的卡接有转球；所述转球的底端固定连接有竖直向下的分水管；所述分水管的侧壁通过连接水管与所述主水管的侧壁相连通；两个所述传输窗口的上方对称的开设有开口槽；两个所述开口槽可活动的穿过设置有传动板；所述分水管的底端可转动的穿过所述传动板连接设置有清洗喷头；
所述传动板位于所述清洗箱外侧的两端分别设置有偏心传动机构；两个所述偏心传动机构同步运转；所述偏心传动机构包括设置于所述传动板下方的传动电机；所述传动电机的转轴竖直向上设置；所述传动电机的转轴顶端固定设置有水平的传动转盘；所述传...

【专利技术属性】
技术研发人员：信广志，
申请(专利权)人：天津创昱达光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12