一种全自动研磨机制造技术

本实用新型专利技术涉及研磨技术领域，具体涉及一种全自动研磨机。包括：底座、电控箱组件和研磨总成，所述电控箱组件和所述研磨总成均设置在所述底座上，其特征在于，所述研磨总成包括：用以固定工件的转盘组件、气悬浮垫盘、转运组件、打磨组件、刷洗盘组件和检测组件，所述转盘组件设置在底座上，所述转盘组件上具有装卸工位、粗加工工位和精加工工位，所述气悬浮垫盘设置在转盘组件与底座之间，所述转盘组件与驱动电机传动连接，所述驱动电机通过升降组件与底座固定连接。本实用新型专利技术通过采用研磨和测厚同时进行，缩短检测时间提升加工效率，通过设置气悬浮垫盘配合定位组件能够将转盘进行转动使得转台实现精准定位进行加工。

A fully automatic grinder

【技术实现步骤摘要】
一种全自动研磨机
本技术涉及研磨
，具体涉及一种全自动研磨机。
技术介绍
优质硅片是制造太阳能电池的原始材料，为了使硅片平整，并消除切割过程中所造成的损伤，获得完美的衬底材料，硅片必须要经过研磨，才有可能制出合格的器件，因此，硅片研磨机是太阳能电池硅片制造领域中必不可少的一种装置。现有的大尺寸研磨机具有一定缺陷，1、不能实现完全自动化，2、对于大尺寸硅片研磨后需要进行检测工程会比较繁琐，3、流水线式硅片研磨方式不易进行精准定位，4、高速研磨对驱动电机要求比较高，造价比较高昂。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的不足和缺陷，提供一种盘式全自动硅片自动研磨机。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种全自动研磨机，包括：底座、电控箱组件和研磨总成，所述电控箱组件和所述研磨总成均设置在所述底座上，所述研磨总成包括：用以固定工件的转盘组件、气悬浮垫盘、用以转运工件的转运组件、用以打磨工件的打磨组件、用以清洗转盘的刷洗盘组件和用以检测工件厚度的检测组件，所述转盘组件设置在底座上，所述转盘组件上具有装卸工位、粗加工工位和精加工工位，所述气悬浮垫盘设置在转盘组件与底座之间，所述转盘组件与驱动电机传动连接，所述驱动电机通过升降组件与底座固定连接。具体的，所述转盘组件包括：转盘、设置在转盘上的转台、驱动转台转动的转台电机，所述转台电机设置在转盘底部，所述驱动电机与转盘固定连接，所述转台上还设有真空吸附装置，所述真空吸附装置通过旋转接头与气泵连通。具体的，底座通过定位组件与转盘进行定位。具体的，所述底座上安装有设置有滑轨的支架，所述转运组件包括入料机械手和出料机械手，所述入料机械手和所述出料机械手均与滑轨滑动连接，所述入料机械手包括：与滑轨滑动连接的第一横向驱动机构，与第一横向驱动机构固定设置的第一升降机构，与第一升降机构固定连接的第一转向机构，与转向机构固定连接的第一伸缩气缸，所述第一伸缩气缸水平设置，所述第一伸缩气缸端部设有入料吸附装置；所述出料机械手包括：与滑轨滑动连接的第二横向驱动机构，与第二横向驱动机构固定设置的第二升降机构，与第二升降机构固定连接的第二转向机构，与转向机构固定连接的第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸水平设置，所述第二伸缩气缸端部设有出料吸附装置。具体的，所述底座上设有入料放置台和出料放置台，所述入料放置台到第一转向机构转轴的距离等于装卸工位到第一转向机构转轴的距离，所述出料放置台到第二转向机构转轴的距离等于装卸工位到第二转向机构转轴的距离。具体的，其特征在于所述底座上还安装有转运机器人，所述底座上还设有防护壳，所述防护壳外设有存料台，所述存料台防护壳固定设置。具体的，所述打磨组件包括：粗磨气浮平台和精磨气浮平台，所述粗磨气浮平台包括粗磨气浮座、安装在粗磨气浮座上的粗磨升降气缸、固定在粗磨升降气缸端部的粗磨电机和设置在粗磨电机端部的粗磨盘，所述粗磨盘、粗磨电机和粗磨升降气缸均设置在粗加工工位上方；所述精磨气浮平台包括精磨气浮座、安装在精磨气浮座上的精磨升降气缸、固定在精磨升降气缸端部的精磨电机和设置在精磨电机端部的精磨盘，所述精磨盘、精磨电机和精磨升降气缸均设置在精加工工位上方。具体的，所述刷洗盘组件设置在装卸工位正上方，所述刷洗盘组件包括：与滑轨滑动连接的第三横向驱动机构、与第三横向驱动机构固定设置的第三升降机构及设置在第三升降机构端部的刷洗盘。具体的，所述检测组件包括粗磨测厚仪和精磨测厚仪，所述粗磨测厚仪设置在粗加工工位旁的底座上，所述精磨测厚仪设置在精加工工位旁的底座上。具体的，粗磨盘打磨产品时所述粗磨盘至少覆盖产品的一条半径，精磨盘打磨产品时所述精磨盘至少覆盖产品的一条半径，所述粗磨测厚仪的粗磨检测端与粗磨盘并列设置在粗加工工位上方，所述精磨测厚仪的精磨检测端与精磨盘并列设置在精加工工位上方。本技术相比现有技术包括以下优点及有益效果：(1)本技术通过采用研磨和测厚同时进行，缩短检测时间提升加工效率，通过设置气悬浮垫盘配合定位组件能够将转盘进行转动使得转台实现精准定位进行加工。(2)本技术通过产品和打磨组件都进行转动，转台与打磨组件相对的速度达到要求速度，相比于单个部件进行转动对电机的要求较低，造价相对较低。附图说明图1为本技术的整体结构图。图2为本技术的整体结构的俯视图。图3为本技术研磨总成的结构图。图4为本技术研磨总成的俯视图。图5为本技术转盘组件的示意图。具体实施方式下面结合实施例及附图对本技术作进一步详细的描述，但本技术的实施方式不限于此。如图1至图5所示，一种全自动研磨机，包括：底座1、电控箱组件3和研磨总成4，所述电控箱组件3和所述研磨总成4均设置在所述底座1上，所述研磨总成4包括：用以固定工件的转盘组件6、气悬浮垫盘5、用以转运工件的转运组件7、用以打磨工件的打磨组件8、用以清洗转盘的刷洗盘组件9和用以检测工件厚度的检测组件10，所述转盘组件6设置在底座1上，所述转盘组件6上具有装卸工位61、粗加工工位62和精加工工位63，所述气悬浮垫盘5设置在转盘组件6与底座1之间，所述转盘组件6与驱动电机11传动连接，所述驱动电机11通过升降组件与底座1固定连接。通过在转盘组件6上设置三个工位，通过转动转盘能够将将产品切换至三个不同的工位上，方便对产品进行不同工序的动作，通过气悬浮垫盘5掉转盘组件6进行抬升，升降组件对驱动电机11进行抬升，抬升后能够使得转盘组件6和底座1分离，电机能够更加方便的驱动转盘组件6进行转动，也方便在底座1上安装定位转盘组件6的定位组件，保证产品能够精准的放置在工位上。具体的，所述转盘组件6包括：设置在底座1上的转盘64、设置在转盘64上的转台65、驱动转台65转动的转台电机66，所述转台电机66设置在转盘64底部，所述驱动电机11与转盘64固定连接，所述转台65上还设有真空吸附装置67，所述真空吸附装置67通过旋转接头68与气泵连通。所述气悬浮垫盘5设置在转盘64和底座1之间，转盘轴心设有中心轴19，转盘以中心轴19为轴心进行转动，所述转台65上设有产品放置槽，所述产品放置槽边缘设有定位倒角，所述驱动电机11通过皮带与转盘64转动连接。设置产品放置槽能够将产品放置在产品放置槽内，通过设置定位倒角，当产品与产品放置槽有一定误差时定位倒角能够将产品落入产品放置槽内，保证产品的精准定位。所述转台65数量为三个以上，所述驱动电机11的数量与转台65的数量相同，通过设置三个以上转台65，能够实现多工位同时运作，提高加工效率。所述转台电机66通过气浮平台组件驱动转台65转动，所述气浮平台组件包括：轴承传动件69、轴承座70和连接轴71，所述轴承转动件上端与转台65固定连接，所述轴承传动件69下端与连接轴71固定连接，所述转台电机66与连接轴71传动连接，所述轴承传动件69内设有环形槽，所述轴承座70套设在环形槽内限制轴承本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种全自动研磨机，包括：底座、电控箱组件和研磨总成，所述电控箱组件和所述研磨总成均设置在所述底座上，其特征在于，所述研磨总成包括：用以固定工件的转盘组件、气悬浮垫盘、用以转运工件的转运组件、用以打磨工件的打磨组件、用以清洗转盘的刷洗盘组件和用以检测工件厚度的检测组件，所述转盘组件设置在底座上，所述转盘组件上具有装卸工位、粗加工工位和精加工工位，所述气悬浮垫盘设置在转盘组件与底座之间，所述转盘组件与驱动电机传动连接，所述驱动电机通过升降组件与底座固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种全自动研磨机，包括：底座、电控箱组件和研磨总成，所述电控箱组件和所述研磨总成均设置在所述底座上，其特征在于，所述研磨总成包括：用以固定工件的转盘组件、气悬浮垫盘、用以转运工件的转运组件、用以打磨工件的打磨组件、用以清洗转盘的刷洗盘组件和用以检测工件厚度的检测组件，所述转盘组件设置在底座上，所述转盘组件上具有装卸工位、粗加工工位和精加工工位，所述气悬浮垫盘设置在转盘组件与底座之间，所述转盘组件与驱动电机传动连接，所述驱动电机通过升降组件与底座固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种全自动研磨机，其特征在于：所述转盘组件包括：转盘、设置在转盘上的转台、驱动转台转动的转台电机，所述转台电机设置在转盘底部，所述驱动电机与转盘固定连接，所述转台上还设有真空吸附装置，所述真空吸附装置通过旋转接头与气泵连通。


3.根据权利要求2所述的一种全自动研磨机，其特征在于：底座通过定位组件与转盘进行定位。


4.根据权利要求1所述的一种全自动研磨机，其特征在于：所述底座上安装有设置有滑轨的支架，所述转运组件包括入料机械手和出料机械手，所述入料机械手和所述出料机械手均与滑轨滑动连接，所述入料机械手包括：与滑轨滑动连接的第一横向驱动机构，与第一横向驱动机构固定设置的第一升降机构，与第一升降机构固定连接的第一转向机构，与转向机构固定连接的第一伸缩气缸，所述第一伸缩气缸水平设置，所述第一伸缩气缸端部设有入料吸附装置；所述出料机械手包括：与滑轨滑动连接的第二横向驱动机构，与第二横向驱动机构固定设置的第二升降机构，与第二升降机构固定连接的第二转向机构，与转向机构固定连接的第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸水平设置，所述第二伸缩气缸端部设有出料吸附装置。


5.根据权利要求4所述的一种全自动研磨机，其特征在于：所述底座上设有入料...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡敬祥，高盼盼，黄郁声，
申请(专利权)人：深圳方达半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44