一种研磨机空气主轴装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于研磨装置领域，具体涉及一种研磨机空气主轴装置，包括:安装罩、驱动装置以及微孔石墨轴承组件，所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件固定安装在所述安装罩内，所述驱动装置的转动部与所述微孔石墨轴承组件固定连接，所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件均为上下对称结构，所述微孔石墨轴承组件上设有环形槽，所述环形槽内设置有微孔石墨轴承座，所述微孔石墨轴承座上设置有通气孔，所述微孔石墨轴承组件的右端还连接有砂轮组件，所述砂轮组件的打磨端设置在所述安装罩外。其优点在于，保证不会造成轴承磨损的前提下，还能够提高产品的磨削精度的研磨机空气主轴装置。

An air spindle device of grinder

【技术实现步骤摘要】
一种研磨机空气主轴装置
本技术属于研磨装置领域，具体涉及一种研磨机空气主轴装置。
技术介绍
研磨机在工业应用中，与高速旋转的砂轮连接的主轴是研磨机的核心部件，直接影响加工件的磨削精度和表面质量。随着动静压主轴结构的发展，对高速旋转的主轴的保护就尤为重要。高速旋转的主轴惯性对主轴动静压轴承的损伤非常大。在研磨机的使用过程中，主轴与轴承之间直接接触，主轴的高速转动带动其他部件的转动，但是在工作过程中不可避免的会造成主轴与轴承结构磨损，造成主轴损伤从而影响产品的磨削精度。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的不足和缺陷，提供一种不会造成轴承磨损的前提下，还能够提高产品的磨削精度的研磨机空气主轴装置。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种研磨机空气主轴装置，包括:安装罩、驱动装置以及微孔石墨轴承组件，所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件固定安装在所述安装罩内，所述驱动装置的转动部与所述微孔石墨轴承组件固定连接，所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件均为上下对称结构，所述微孔石墨轴承组件上设有环形槽，所述环形槽内设置有微孔石墨轴承座，所述微孔石墨轴承座与所述安装罩固定，所述微孔石墨轴承座上设置有通向微孔石墨轴承组件的通气孔，所述微孔石墨轴承组件的右端还连接有砂轮组件，所述砂轮组件的打磨端设置在所述安装罩外。具体的，所述微孔石墨轴承组件包括：第一微孔石墨轴承、旋转轴承及第二微孔石墨轴承，所述第一微孔石墨轴承上安装有第一转轴，所述第二微孔石墨轴承上安装有第二转轴，所述第一转轴与所述第二转轴均与所述旋转轴承传动连接，所述旋转轴承直径小于第一微孔石墨轴承和第二微孔石墨轴承，第一微孔石墨轴承侧壁、旋转轴承外壁和第二微孔石墨轴承侧壁形成环形槽，所述微孔石墨轴承座设置在所述环形槽内，所述通气孔的出气口通向旋转轴承外壁，且通气孔的出气口到第一微孔石墨轴承侧壁外壁的距离和到第二微孔石墨轴承侧壁外壁的距离相等。具体的，所述砂轮组件上还安装有第三转轴，所述第三转轴的端部与所述第二微孔石墨轴承转动连接。具体的，所述驱动装置包括：安装座、电机定子，电机转子组件以及安装轴套，所述安装座固定在所述安装罩上，所述安装轴套转动连接在安装座上，所述电机转子组件固定安装在所述安装轴套上，所述电机定子固定安装在与电子转子相对设置的安装罩内。具体的，所述安装罩的底部还设置有底座，所述安装罩的底部一端通过调节销与所述底座固定连接，所述安装罩的底部另一端通过转轴与所述底座转动连接。具体的，所述通气孔的进气口通过进气接头与气泵连通。本技术相比现有技术包括以下优点及有益效果：第一微孔石墨轴承、第二微孔石墨轴承、第一转轴、旋转轴承、第二转轴以及第三转轴相结合，使得旋转轴承带动砂轮组件转动，工作时旋转轴承不与第一微孔石墨轴承、第二微孔石墨轴承以及微孔石墨轴承座产生机械接触，不仅可以保证砂轮组件在高速运转时不会产生振动，从而增加硅片的磨削精度，还可以防止旋转轴承发生磨损，因此不需对旋转轴承维护保养，实现研磨机空气主轴装置在工作过程中能耗更低，使用寿命更长的目的。附图说明图1为研磨机空气主轴装置的剖视图。1-底座；2-调节销；3-安装座；4-转轴；5-电机定子；6-电机转子组件；7-安装轴套；8-第一转轴；9-第一微孔石墨轴承；10-微孔石墨轴承座；11-旋转轴承；12-第二转轴；13-第二微孔石墨轴承；14-第三转轴；15-砂轮组件；16-通气孔；17-进气接头；18-安装罩。具体实施方式下面结合实施例及附图对本技术作进一步详细的描述，但本技术的实施方式不限于此。如图1所示，一种研磨机空气主轴装置，包括:安装罩18、驱动装置以及微孔石墨轴承组件，其特征在于，所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件固定安装在所述安装罩18内，所述驱动装置的转动部与所述微孔石墨轴承组件固定连接，使得驱动装置的转动带动微孔石墨轴承组件转动，所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件均为上下对称结构，所述微孔石墨轴承组件上设有环形槽，所述环形槽内设置有微孔石墨轴承座10，所述微孔石墨轴承座10与所述安装罩18固定，所述微孔石墨轴承座10上设置有通向微孔石墨轴承组件的通气孔16，通气孔16内还设置有进气管，往通气孔16内通入高压气体会使得微孔石墨轴承座10与微孔石墨轴承组件产生细微的间隙，不会产生机械接触，从而使得砂轮组件15在转动时不会产生振动，进而产生很高的转速，实现增加硅片的磨削精度。进一步的，所述微孔石墨轴承组件包括：第一微孔石墨轴承9、旋转轴承11及第二微孔石墨轴承13，所述第一微孔石墨轴承9上安装有第一转轴8，所述第二微孔石墨轴承13上安装有第二转轴12，所述第一转轴8与所述第二转轴12均与所述旋转轴承11传动连接，使得第一微孔石墨轴承9能够带动旋转轴承11转动，从而带动第二微孔石墨轴承13转动，所述旋转轴承直径小于第一微孔石墨轴承和第二微孔石墨轴承，第一微孔石墨轴承侧壁、旋转轴承外壁和第二微孔石墨轴承侧壁形成环形槽，所述微孔石墨轴承座设置在所述环形槽内，所述通气孔16的出气口通向旋转轴承外壁，且通气孔16的出气口到第一微孔石墨轴承侧壁外壁的距离和到第二微孔石墨轴承侧壁外壁的距离相等，当通过通气孔16通入高压气体时，旋转轴承11、第一微孔石墨轴承9及第二微孔石墨轴承13均与微孔石墨轴承座10产生间隙，不会产生机械接触，从而使得砂轮组件15在转动时不会产生振动，进而产生很高的转速，实现增加硅片的磨削精度，所述微孔石墨轴承组件的右端还连接有砂轮组件15，使得微孔石墨轴承组件能够带动砂轮组件15转动，所述砂轮组件15的打磨端设置在所述安装罩18外，方便研磨机空气主轴装置对硅片进行打磨。本装置不仅用于12寸研磨机，还可以适用于4寸、5寸、6寸、8寸或16寸的研磨机。进一步的，所述砂轮组件15上还安装有第三转轴14，所述第三转轴14的端部与所述第二微孔石墨轴承13转动连接，使得第二微孔石墨轴承13转动带动第三转轴14转动，从而进一步带动砂轮组件15转动。进一步的，所述驱动装置包括：安装座3、电机定子5，电机转子组件6以及安装轴套7，所述安装座3固定在所述安装罩18上，所述安装轴套7转动连接在安装座3上，所述电机转子组件6固定安装在所述安装轴套7上，所述电机定子5固定安装在与电子转子相对设置的安装罩内。进一步的，所述安装罩18的底部还设置有底座1，所述安装罩18的底部一端通过调节销2与所述底座1固定连接，所述安装罩18的底部另一端通过转轴4与所述底座1转动连接，实现对研磨机空气主轴装置位置的调节。进一步的，所述通气孔16通过进气接头17与气泵连通，进一步更方便气泵将高压气体通入通气孔16。本技术的具体实施过程如下：将进气接头17通入高压气体，高压气体进入到通气孔16内，此时第一微孔石墨轴承9、第二微孔石墨轴承13以及微孔石墨轴承座10均与旋转轴承11的端面产生间隙，旋转轴承11处于气浮状态，将电机定子5通入本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种研磨机空气主轴装置，包括:安装罩、驱动装置以及微孔石墨轴承组件，其特征在于，所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件固定安装在所述安装罩内，所述驱动装置的转动部与所述微孔石墨轴承组件固定连接，所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件均为上下对称结构，所述微孔石墨轴承组件上设有环形槽，所述环形槽内设置有微孔石墨轴承座，所述微孔石墨轴承座与所述安装罩固定，所述微孔石墨轴承座上设置有通向微孔石墨轴承组件的通气孔，所述微孔石墨轴承组件的右端还连接有砂轮组件，所述砂轮组件的打磨端设置在所述安装罩外。/n

【技术特征摘要】
1.一种研磨机空气主轴装置，包括:安装罩、驱动装置以及微孔石墨轴承组件，其特征在于，所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件固定安装在所述安装罩内，所述驱动装置的转动部与所述微孔石墨轴承组件固定连接，所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件均为上下对称结构，所述微孔石墨轴承组件上设有环形槽，所述环形槽内设置有微孔石墨轴承座，所述微孔石墨轴承座与所述安装罩固定，所述微孔石墨轴承座上设置有通向微孔石墨轴承组件的通气孔，所述微孔石墨轴承组件的右端还连接有砂轮组件，所述砂轮组件的打磨端设置在所述安装罩外。


2.根据权利要求1所述的一种研磨机空气主轴装置，其特征在于，所述微孔石墨轴承组件包括：第一微孔石墨轴承、旋转轴承及第二微孔石墨轴承，所述第一微孔石墨轴承上安装有第一转轴，所述第二微孔石墨轴承上安装有第二转轴，所述第一转轴与所述第二转轴均与所述旋转轴承传动连接，所述旋转轴承直径小于第一微孔石墨轴承和第二微孔石墨轴承，第一微孔石墨轴承侧壁、旋转轴承外壁和第二微孔石墨轴承侧壁形成环形槽，所述微孔石墨轴承座设置在所述环形槽内...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡敬祥，高盼盼，黄郁声，
申请(专利权)人：深圳方达半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44