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深圳方达半导体装备有限公司专利技术
深圳方达半导体装备有限公司共有3项专利
一种研磨机空气主轴装置制造方法及图纸
本实用新型属于研磨装置领域,具体涉及一种研磨机空气主轴装置,包括:安装罩、驱动装置以及微孔石墨轴承组件,所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件固定安装在所述安装罩内,所述驱动装置的转动部与所述微孔石墨轴承组件固定连接,所述驱动装置及所述微孔...
一种全自动研磨机制造技术
本实用新型涉及研磨技术领域,具体涉及一种全自动研磨机。包括:底座、电控箱组件和研磨总成,所述电控箱组件和所述研磨总成均设置在所述底座上,其特征在于,所述研磨总成包括:用以固定工件的转盘组件、气悬浮垫盘、转运组件、打磨组件、刷洗盘组件和检...
一种全自动研磨机制造技术
本发明涉及研磨技术领域,具体涉及一种全自动研磨机。包括:底座、电控箱组件和研磨总成,所述电控箱组件和所述研磨总成均设置在所述底座上,其特征在于,所述研磨总成包括:用以固定工件的转盘组件、气悬浮垫盘、转运组件、打磨组件、刷洗盘组件和检测组...
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