【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机用的工件上料机构
本专利技术涉及真空镀膜机
,具体为一种真空镀膜机用的工件上料机构。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中,在工件镀膜过程中,需要通过上料设备,对工件进行运输,保证工件能够有效进入真空镀膜机内。市场上的工件上料机构在使用中多采用一体化设计,其工件放入难度较高,同时易发生倾斜情况,并且在输送过程中,出现承台卡涩的可能,为此,我们提出一种真空镀膜机用的工件上料机构。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述不足之处,本专利技术目的是提供一种真空镀膜机用的工件上料机构。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种真空镀膜机用的工件上料机构,包括机体、滑轨、固定螺栓、限位挡板、传送带、滑块、承台、嵌入槽、放置盘、嵌入块、固定块、摩擦垫和放置台,所述机体的 ...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机用的工件上料机构,包括机体(1)、滑轨(2)、固定螺栓(3)、限位挡板(4)、传送带(5)、滑块(6)、承台(7)、嵌入槽(8)、放置盘(9)、嵌入块(10)、固定块(11)、摩擦垫(12)和放置台(13),其特征在于:所述机体(1)的上端两侧固定有滑轨(2),且滑轨(2)的内侧两端设置有固定螺栓(3),所述机体(1)的中部两侧分布有限位挡板(4),且限位挡板(4)的内侧设置有传送带(5),所述滑轨(2)的上端顶部滑动连接有滑块(6),且滑块(6)的内侧固定有承台(7),所述承台(7)的内侧中部开设有嵌入槽(8),且承台(7)的上端顶部分布有放置盘(9), ...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机用的工件上料机构,包括机体(1)、滑轨(2)、固定螺栓(3)、限位挡板(4)、传送带(5)、滑块(6)、承台(7)、嵌入槽(8)、放置盘(9)、嵌入块(10)、固定块(11)、摩擦垫(12)和放置台(13),其特征在于:所述机体(1)的上端两侧固定有滑轨(2),且滑轨(2)的内侧两端设置有固定螺栓(3),所述机体(1)的中部两侧分布有限位挡板(4),且限位挡板(4)的内侧设置有传送带(5),所述滑轨(2)的上端顶部滑动连接有滑块(6),且滑块(6)的内侧固定有承台(7),所述承台(7)的内侧中部开设有嵌入槽(8),且承台(7)的上端顶部分布有放置盘(9),所述放置盘(9)的下端两侧固定有嵌入块(10),且放置盘(9)的下端中部设置有固定块(11),所述固定块(11)的下端底部贴合有摩擦垫(12),所述放置盘(9)的上端设置有放置台(13)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用的...
【专利技术属性】
技术研发人员:洪瑶海,洪锦隆,
申请(专利权)人:深圳市顺捷真空技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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