一种用于溅射镀膜设备的夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于溅射镀膜设备的夹具，包括箱体、夹持机构和调整机构，所述夹持机构设置于调整机构的上部，所述夹持机构中的固定板分别设置于调整机构顶部的两侧。本实用新型专利技术通过夹持机构的设置，具备可用于对不同尺寸的基材进行夹持，在保证利于更换夹头的同时，其保证大小不同的基材夹持的力相同紧固。利用固定板、螺纹杆和推板的配合，利于对不同尺寸的基材进行夹持，而利用弹簧、连接板、夹板和限位杆的配合方便对不同尺寸的基材始终保持所需的夹持力，经调整机构的设置，可有效的调整基材的方向，以便于进行镀膜工作，利用遮挡机构利于对观测位置进行遮挡防护，避免对其造成镀膜无法进行观测工作。造成镀膜无法进行观测工作。造成镀膜无法进行观测工作。

【技术实现步骤摘要】
一种用于溅射镀膜设备的夹具


[0001]本技术涉及镀膜
，具体涉及一种用于溅射镀膜设备的夹具。

技术介绍

[0002]溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象称为溅射，溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜，通常是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。现有的夹具由于空间有限，在使用扳手拆卸螺丝时操作比较困难，如果操作不当还容易使得夹头上的螺纹损坏，因此，使用现有的用于溅射镀膜设备的夹具更换夹头耗时耗力。
[0003]针对上述技术问题，如公告号为CN205893381U公开了一种夹具，当需要更换夹头时，通过操作机构控制连接杆缩回到安装壳内即可将夹头与安装壳进行分离，很方便的实现对夹头的更换；
[0004]上述专利虽然利于对夹头进行更换，但是在实际的使用过程中无法根据需求对不同尺寸的基材进行调整夹持，由于大小不同的基材所夹持的力亦不相同。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种用于溅射镀膜设备的夹具，具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于溅射镀膜设备的夹具，其特征在于：包括箱体(1)、夹持机构(2)和调整机构(3)，所述夹持机构(2)设置于调整机构(3)的上部，所述夹持机构(2)中的固定板(21)分别设置于调整机构(3)顶部的两侧；所述夹持机构(2)还包括有螺纹杆(22)和推板(23)，所述螺纹杆(22)螺纹贯穿于固定板(21)的一侧，所述推板(23)活动安装于螺纹杆(22)的一端，所述调整机构(3)设置于箱体(1)内腔的底部；所述调整机构(3)还包括载板(33)，所述夹持机构(2)还包括有滑槽(24)和滑块(25)，所述滑槽(24)分别开设于载板(33)顶部的两侧，所述滑块(...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪楚洲，
申请(专利权)人：深圳市顺捷真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：