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本实用新型公开了一种用于溅射镀膜设备的夹具，包括箱体、夹持机构和调整机构，所述夹持机构设置于调整机构的上部，所述夹持机构中的固定板分别设置于调整机构顶部的两侧。本实用新型通过夹持机构的设置，具备可用于对不同尺寸的基材进行夹持，在保证利于更换...
该专利属于深圳市顺捷真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市顺捷真空技术有限公司授权不得商用。

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