遮挡装置制造方法及图纸

本申请提供一种遮挡装置，包括基座、多个遮挡件及多个压紧组件，基座设有开口，开口贯穿基座；多个遮挡件，沿第一方向间隔设于基座且相对于基座沿第二方向滑动设置；多组压紧组件沿第一方向间隔设置并与多个遮挡件一一对应，每个压紧组件均包括连接件、压紧件及弹性件，连接件滑动穿设于基座且连接件的一端设有限位部，弹性件套设于连接件且弹性件的两端分别弹性抵持基座和限位部，压紧件与连接件远离限位部的一端连接并抵接于对应的遮挡件。上述遮挡装置能够对多个遮挡件中的任意一个进行精准调节，使得多个遮挡件准确地遮挡开口需要遮挡的部分，以使开口未被遮挡的区域与工件的待镀膜位置相对应，提高了遮挡精度。提高了遮挡精度。提高了遮挡精度。

【技术实现步骤摘要】
遮挡装置


[0001]本技术涉及镀膜装置
，尤其涉及一种遮挡装置。

技术介绍

[0002]目前，业界通常使用物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，PVD)技术在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜，以提高基体的性能，例如：耐磨性、耐腐蚀性等。
[0003]为使PVD真空电镀炉对工件的待镀膜位置进行稳定地镀膜，通常会使用两组修正片对靶材正前方部分溅射粒子进行遮挡，以使其他粒子通过两组修正片之间所形成的镀膜通孔溅射至工件的待镀膜位置。然而，现有的修正片大多为一体成型结构，使得作业人员难以根据工件的待镀膜位置对镀膜区域进行精准调节，降低了遮挡精度。

技术实现思路

[0004]鉴于上述状况，有必要提供一种遮挡装置，以解决根据工件的待镀膜位置对镀膜区域难以精准调节，遮挡精度较低的技术问题。
[0005]本申请实施例提供一种遮挡装置，包括：基座，设有开口，所述开口贯穿所述基座；多个遮挡件，沿第一方向间隔设于所述基座，用于部分遮挡所述开口，所述遮挡件相对于所述基座沿第二方向滑动设置，以调节所述遮挡件的对所述开口部的遮挡位置；及多组压紧组件，沿所述第一方向间隔设置并与多个所述遮挡件一一对应，每个所述压紧组件均包括连接件、压紧件及弹性件，所述连接件滑动穿设于所述基座且所述连接件的一端设有限位部，所述弹性件套设于所述连接件且所述弹性件的两端分别弹性抵持所述基座和所述限位部，所述压紧件与所述连接件远离所述限位部的一端连接并抵接于对应的遮挡件，用以在所述弹性件的作用下压紧对应的遮挡件至所述基座其中，所述第一方向和所述第二方向垂直。
[0006]上述遮挡装置通过设置多个相互独立的遮挡件，并通过压紧件带动限位部压缩弹性件至基座背离压紧件的一侧以松脱对应的遮挡件，能够使多个遮挡件中的任意一个遮挡件进行精准调节，从而使多个遮挡件根据待镀膜的工件调节遮挡位置，以此使多个遮挡件准确地遮挡开口需要遮挡的部分，且开口未被遮挡的区域与工件的待镀膜位置相对应，进而提高了遮挡精度。另外，通过压紧件在弹性件的作用下抵压对应的遮挡件至基座，以将调节后的遮挡件固定至基座，避免遮挡件在遮挡作业时发生晃动，以此提高了遮挡稳定性。
[0007]在一些实施例中，每个所述压紧件沿所述第一方向的相对两侧分别设有凸起部和凹陷部，且所述凸起部与所述凹陷部相适配，所述压紧件的所述凸起部被配置为收容于与另一相邻的所述压紧件的所述凹陷部内，用以沿第二方向限位相邻的所述压紧件。
[0008]在一些实施例中，所述压紧组件还包括：导向件，所述导向件的一端与所述基座背离所述限位部的一侧连接，所述导向件的另一端穿设于对应的所述压紧件，用以导向所述压紧件移动。
[0009]在一些实施例中，所述遮挡件背离所述基座的一侧设有刻度线，所述刻度线用以
显示所述遮挡件在所述第二方向上的遮挡位置。
[0010]在一些实施例中，所述遮挡件包括：导向部，所述导向部的相对两侧分别抵接于所述基座和所述压紧件，且所述导向部开设有沿第二方向延伸的第一导向槽，所述第一导向槽用以收容所述连接件；遮挡部，与所述导向部连接，用以遮挡部分所述开口。
[0011]在一些实施例中，所述遮挡装置还包括：多个遮蔽件，滑动设置于所述遮挡件和所述压紧件之间且被压紧件抵压于所述遮挡件，所述多个遮蔽件与多个所述遮挡件的第一导向槽一一对应，用以遮蔽对应的所述第一导向槽。
[0012]在一些实施例中，所述遮蔽件包括：第一遮蔽部，滑动设置于所述遮挡件和所述压紧件之间且被压紧件抵压于所述遮挡件，且所述第一遮蔽部的一端开设有沿第二方向延伸的第二导向槽，所述第二导向槽用于收容所述连接件以导向所述第一遮蔽部；连接部，所述连接部的一端与所述第一遮蔽部远离所述第二导向槽的一端连接；及第二遮蔽部，与所述第一遮蔽部平行设置并与所述连接部的另一端连接，所述第一遮蔽部和所述第二遮蔽部用以遮蔽所述第一导向槽。
[0013]在一些实施例中，所述压紧组件还包括：把手，设于所述压紧件背离所述基座的一侧并与所述压紧件连接，用于带动所述压紧件向背离所述基座的方向运动。
[0014]在一些实施例中，所述遮挡装置还包括：保护件，与所述基座背离所述压紧件的一侧连接并设有收容腔，所述收容腔用于收容所述连接件背离所述压紧件的一端和所述弹性件，以遮蔽所述连接件和所述弹性件的部分结构。
[0015]在一些实施例中，所述遮挡装置的多个所述遮挡件布置为两列，两列所述遮挡件沿第二方向间隔设置于所述开口的两侧，每列所述遮挡件均对应设置有所述压紧组件。
附图说明
[0016]图1为本申请实施例提供的遮挡装置的立体结构示意图。
[0017]图2为图1所示的遮挡装置沿
Ⅱ‑Ⅱ
方向的剖面示意图。
[0018]图3为图1所示的遮挡装置中压紧组件的立体结构示意图。
[0019]图4为图1所示的遮挡装置中遮挡件的立体结构示意图。
[0020]图5为图1所示的遮挡装置中遮蔽件的立体结构示意图。
[0021]主要元件符号说明
[0022]遮挡装置
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100
[0023]基座
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10
[0024]开口
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11
[0025]遮挡件
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20
[0026]刻度线
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21
[0027]导向部
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22
[0028]第一导向槽
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221
[0029]遮挡部
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23
[0030]压紧组件
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30
[0031]连接件
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[0032]限位部
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311
[0033]压紧件
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32
[0034]凸起部
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[0035]凹陷部
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322
[0036]弹性件
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[0037]导向件
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34
[0038]把手
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种遮挡装置，其特征在于，包括：基座，设有开口，所述开口贯穿所述基座；多个遮挡件，沿第一方向间隔设于所述基座，用于部分遮挡所述开口，所述遮挡件相对于所述基座沿第二方向滑动设置，以调节所述遮挡件的对所述开口的遮挡位置；及多组压紧组件，沿所述第一方向间隔设置并与多个所述遮挡件一一对应，每个所述压紧组件均包括连接件、压紧件及弹性件，所述连接件滑动穿设于所述基座且所述连接件的一端设有限位部，所述弹性件套设于所述连接件且所述弹性件的两端分别弹性抵持所述基座和所述限位部，所述压紧件与所述连接件远离所述限位部的一端连接并抵接于对应的遮挡件，用以在所述弹性件的作用下压紧对应的遮挡件至所述基座其中，所述第一方向和所述第二方向垂直。2.如权利要求1所述的遮挡装置，其特征在于，每个所述压紧件沿所述第一方向的相对两侧分别设有凸起部和凹陷部，且所述凸起部与所述凹陷部相适配，所述压紧件的所述凸起部被配置为收容于与另一相邻的所述压紧件的所述凹陷部内，用以沿第二方向限位相邻的所述压紧件。3.如权利要求1所述的遮挡装置，其特征在于，所述压紧组件还包括：导向件，所述导向件的一端与所述基座背离所述限位部的一侧连接，所述导向件的另一端穿设于对应的所述压紧件，用以导向所述压紧件移动。4.如权利要求1所述的遮挡装置，其特征在于，所述遮挡件背离所述基座的一侧设有刻度线，所述刻度线用以显示所述遮挡件在所述第二方向上的遮挡位置。5.如权利要求1所述的遮挡装置，其特征在于，所述遮挡件包括：导向部，所述导向部的相对两侧分别抵接于所述基座和所述压紧件，且所述导向部开设有沿第二方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨旭，杨佳刚，荣建明，许飞，高俊扬，屈亚哲，
申请(专利权)人：富联裕展科技河南有限公司，
类型：新型
国别省市：