【技术实现步骤摘要】
基板冲洗装置及其设置方法
本专利技术涉及一种基板冲洗装置及其设置方法,更详细地,涉及一种提高耐久性、削减使用时的过负载、且更换和维护便利的基板冲洗装置及其设置方法。
技术介绍
随着信息化社会的发展,对显示装置的要求正在以各种形式增加。与此相应,近年来已经研究了LCD、PDP、ELD和VFD等各种平板显示装置,并且其中一部分已在各种装置中用作显示装置。通常,显示装置用玻璃基板在主处理工序中,在基板的主表面上形成有由光致抗蚀剂涂布液、光敏聚酰胺树脂、滤色器染色体等构成的薄膜层,该基板被装载在基板传送装置中并沿一个方向移动,然后经过后处理工序,例如化学药液涂布工序、冲洗工序和干燥工序等。在这种平板显示装置的制造工序中,所述冲洗工序是用于去除基板上的异物和颗粒的工序,其中附着在玻璃基板上的污染颗粒成为主要冲洗对象。在这样的用于去除污染颗粒的冲洗方法中,使用刷的冲洗方法得到广泛使用。使用刷的冲洗工序是在将冲洗液喷射到基板上的同时使刷旋转以去除基板上的异物。图1是示出现有的基板冲洗装置的刷组件的示意图。如图1所示,以往,现有的基板冲洗装置的刷组件由轴10、刷20以及支撑台30构成。通常,刷20可以以通道形式缠绕固定在轴10上,或者以带的形式缠绕并与轴10一体化,用于冲洗面板基板。轴10构成为实心形式。轴10的两端直接耦合到支撑台30。另外,随着面板基板大型化,轴10的直径变大并且长度也变长,轴10的重量也增大。然而,由于以往的轴10以实心形式构成,因而伴随直径的变大且长度的增加,重 ...
【技术保护点】
1.一种基板冲洗装置,包括:/n辊刷组件,具有:基管,沿中心轴线方向形成有贯通孔以使两端开放;刷,配设在所述基管的外周表面上;以及引入塞,分别耦合到所述基管的两端并密闭所述贯通孔;/n第一支撑部,间隔开地配设在所述辊刷组件的一端;/n第二支撑部,间隔开地配设在所述辊刷组件的另一端;/n第一旋转部,耦合到所述第一支撑部,并耦合到所述辊刷组件的一端的引入塞,与所述辊刷组件一体地旋转;/n第二旋转部,耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞,并与所述辊刷组件一体地旋转;以及/n施压部,其一端耦合到所述第二支撑部,另一端与所述第二旋转部耦合,向所述辊刷组件另一端的引入塞的方向对所述第二旋转部施压,使得所述第二旋转部耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞。/n
【技术特征摘要】
20180920 KR 10-2018-01126551.一种基板冲洗装置,包括:
辊刷组件,具有:基管,沿中心轴线方向形成有贯通孔以使两端开放;刷,配设在所述基管的外周表面上;以及引入塞,分别耦合到所述基管的两端并密闭所述贯通孔;
第一支撑部,间隔开地配设在所述辊刷组件的一端;
第二支撑部,间隔开地配设在所述辊刷组件的另一端;
第一旋转部,耦合到所述第一支撑部,并耦合到所述辊刷组件的一端的引入塞,与所述辊刷组件一体地旋转;
第二旋转部,耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞,并与所述辊刷组件一体地旋转;以及
施压部,其一端耦合到所述第二支撑部,另一端与所述第二旋转部耦合,向所述辊刷组件另一端的引入塞的方向对所述第二旋转部施压,使得所述第二旋转部耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞。
2.根据权利要求1所述的基板冲洗装置,其特征在于,所述引入塞具有:
第一引入塞,具有多角形状的第一键槽和锥形的第一对准槽,所述第一键槽耦合到所述基管的一端并形成在其中心,所述第一对准槽形成在所述第一键槽的中心;和
第二引入塞,具有多角形状的第二键槽和锥形的第二对准槽,所述第二键槽耦合到所述基管的另一端并形成在其中心,所述第二对准槽形成在所述第二键槽的中心。
3.根据权利要求2所述的基板冲洗装置,其特征在于,所述第一旋转部具有:
第一轴,可旋转地耦合到所述第一支撑部;
第一键,与所述第一键槽对应地形成在所述第一轴的一端,耦合到所述第一键槽,并向所述辊刷组件传递旋转力;以及
第一对准突起,与所述第一对准槽对应地突出形成在所述第一键上,耦合到所述第一对准槽,并使所述第一旋转部和所述辊刷组件的旋转中心轴线一致。
4.根据权利要求2所述的基板冲洗装置,其特征在于,所述第二旋转部具有:
第二轴,在一端具有插入槽,所述插入槽沿轴方向形成,并在内周表面上形成有第一螺纹齿;
第二键,与所述第二键槽对应地形成在所述第二轴的另一端,耦合到所述第二键槽,并向所述辊刷组件传递旋转力;以及
第二对准突起,与所述第二对准槽对应地突出形成在所述第二键上,耦合到所述第二对准槽,并使所述第二旋转部和所述辊刷组件的旋转中心轴线一致。
5.根据权利要求4所述的基板冲洗装置,其特征在于,所述施压部具有:
施压杆,其一端可旋转地耦合到所述第二支撑部;和
第二螺纹齿,以与所述第一螺纹齿螺纹耦合的方式形成在所述施压杆的另一端;
所述第二螺纹齿沿与所述施压部旋转方向相反的方向形成,使得当所述施压部旋转时,保持所述第二旋转部的第二键和所述第二对准突起分别耦合到所述第二键槽和第二对准槽的状态。
6.根据权利要求5所述的基板冲...
【专利技术属性】
技术研发人员:朴庸硕,金圣泽,尹桢惠,
申请(专利权)人:显示器生产服务株式会社,泰光精密材料有限公司,
类型:发明
国别省市:韩国;KR
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