有利于增强保温效果的热屏制造技术

本实用新型专利技术提供一种有利于增强保温效果的热屏，属于直拉单晶棒生产设备技术领域。一种有利于增强保温效果的热屏，包括内热屏、外热屏及设置于所述内热屏与所述外热屏之间的保温层，所述外热屏的侧壁平行于所述内热屏的中轴线。将传统的具有一定倾斜角的外热屏，设计改良成具有垂直壁的外热屏，一方面有利于设计加工，另一方面，直壁的外热屏与内热屏中间，尤其是靠近热屏的底部，具有更大的保温空间，增加了热屏的保温性能，降低了热屏的热量损耗，有利于降低单晶晶棒的生产能耗。

【技术实现步骤摘要】
有利于增强保温效果的热屏
本技术属于直拉单晶棒生产设备
，具体涉及一种有利于增强保温效果的热屏。
技术介绍
在采用直拉单晶炉生产单晶晶棒的过程中，热屏在提高单晶晶棒的品质方面起着至关重要的作用，包括提供合适的热场梯度，保证单晶晶棒散热，提高惰性气体导流效率，降低单晶晶棒氧含量等。现有技术中提供的热屏主要包括内热屏、外热屏以及设置在内热屏和外热屏之间的保温材料。但是由于现有外热屏的侧壁多为倾斜设置，其在提高惰性气体导流效率，降低晶棒氧含量方面能够达到不错的效果。但是，倾斜设置的外热屏使得靠近热屏底部的热量过多的散失，必须要增加热量的供应量，才能满足单晶晶棒的生产需求，造成了较大的能源浪费。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种增强热屏保温效果，降低单晶晶棒生产过程能量损耗的有利于增强保温效果的热屏。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种有利于增强保温效果的热屏，包括内热屏、外热屏及设置于所述内热屏与所述外热屏之间的保温层，所述外热屏的侧壁平行于所述内热屏的中轴线。优选地，所述外热屏包括直壁段、导流弧段及支撑底段，所述直壁段平行所述内热屏的中轴线设置，所述支撑底段垂直于所述内热屏的中轴线设置，所述导流弧段的两端分别与所述直壁段和所述支撑底段连接。优选地，所述导流弧段的弧度为90°～120°。优选地，所述支撑底段远离所述导流弧段的一端开设有连接卡槽，所述内热屏的一端插接于所述连接卡槽中。优选地，所述直壁段远离所述导流弧段的一端设置有第一连接台，所述内热屏的上端设置有第二连接台，所述第一连接台与所述第二连接台固定连接。优选地，所述内热屏的侧壁与所述内热屏的中轴线的夹角为10°～45°。优选地，所述内热屏为的横截面为梯形，且所述内热屏的底端的厚度大于顶端的厚度。优选地，所述内热屏的外壁与所述内热屏的内壁的夹角为1°～3°。优选地，所述内热屏采用高纯石英材料制成。优选地，所述内热屏的内表面涂设有折射层。由上述技术方案可知，本技术提供了一种有利于增强保温效果的热屏，其有益效果是：将传统的具有一定倾斜角的外热屏，设计改良成具有垂直壁的外热屏，一方面有利于设计加工，另一方面，直壁的外热屏与内热屏中间，尤其是靠近热屏的底部，具有更大的保温空间，增加了热屏的保温性能，降低了热屏的热量损耗，有利于降低单晶晶棒的生产能耗。附图说明图1是有利于增强保温效果的热屏的结构示意图。图2是图1所示的A-A向剖面视图。图中：有利于增强保温效果的热屏10、内热屏100、第二连接台101、外热屏200、保温层300、直壁段210、第一连接台211、导流弧段220、支撑底段230、连接卡槽231。具体实施方式以下结合本技术的附图，对本技术的技术方案以及技术效果做进一步的详细阐述。请参看图1与图2，一具体实施方式中，一种有利于增强保温效果的热屏10，包括环壁状的内热屏100、环壁状的外热屏200及设置于所述内热屏100与所述外热屏200之间的保温层300，所述外热屏200的侧壁平行于所述内热屏100的中轴线，即所述外热屏200的侧壁与水平面垂直设置，从而在所述外热屏200与所述内热屏100所围绕形成的腔体内，增大了填充保温材料的空间，从而使得所述保温层300的厚度增加，提高了保温效果，降低热量损耗，降低生产单耗。进一步地，所述外热屏200包括直壁段210、导流弧段220及支撑底段230，所述直壁段210平行所述内热屏100的中轴线设置，所述支撑底段230垂直于所述内热屏100的中轴线设置，所述导流弧段220的两端分别与所述直壁段210和所述支撑底段230连接。所述直壁段210平行所述内热屏100的中轴线设置，使得从上而下，所述外热屏200和所述内热屏100围绕成的保温空间逐渐增加，形成温度梯度，有利于单晶晶棒的成型。所述导流弧段220作为所述直壁段210与所述支撑底段230的过渡连接，一方面有利于增加所述外热屏200和所述内热屏100围绕成的保温空间的底部的容纳量，以填充更多的保温材料，防止热量损失，另一方面，形成一个惰性气体的导流通道，有利于降低单晶晶棒的含氧量，提高单晶晶棒品质。作为优选，所述支撑底段230的长度远小于所述导流弧段220的弧长，以尽可能减少所述支撑底段230对惰性气体的阻挡作用，进一步降低单晶晶棒的氧含量。作为优选，所述导流弧段220的弧度为90°～120°，以使惰性气体流通顺畅。又一具体实施方式中，所述支撑底段230远离所述导流弧段220的一端开设有连接卡槽231，所述内热屏100的一端插接于所述连接卡槽231中，以使的所述内热屏100牢靠固定，防止内热屏脱落，同时，在需要更换所述内热屏100时，直接将所述内热屏100取出，方便省力。进一步地，为使的所述内热屏100与所述外热屏200更加牢靠的固定，所述直壁段210远离所述导流弧段220的一端设置有第一连接台211，所述内热屏100的上端设置有第二连接台101，所述第一连接台211与所述第二连接台101固定连接。具体的，所述第一连接台211与所述第二连接台101通过柱销或螺母固定连接，也可以通过设置卡扣固定连接。又一具体实施方式中，为进一步提高所述有利于增强保温效果的热屏10的保温效果，优化所述有利于增强保温效果的热屏10的温度梯度，所述内热屏100的侧壁与所述内热屏100的中轴线的夹角为10°～45°。作为优选，所述内热屏100为的横截面为梯形，且所述内热屏100的底端的厚度大于顶端的厚度。具体地，所述内热屏100的外壁与所述内热屏100的内壁的夹角为1°～3°。又一具体实施方式中，所述内热屏100采用高纯石英材料制成，防止原料剐蹭所述内热屏100，造成单晶晶棒碳含量超标，同时高纯石英材料表面光滑，增强了热量折射效果，有利于单晶晶棒的散热，且能够有效地降低生产成本。进一步地，所述内热屏100的内表面涂设有折射层，以进一步提高所述有利于增强保温效果的热屏10的热量折射效果，提高单晶晶棒的散热效果。以上所揭露的仅为本技术较佳实施例而已，当然不能以此来限定本技术之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本技术权利要求所作的等同变化，仍属于技术所涵盖的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有利于增强保温效果的热屏，包括内热屏、外热屏及设置于所述内热屏与所述外热屏之间的保温层，其特征在于：所述外热屏的侧壁平行于所述内热屏的中轴线。/n

【技术特征摘要】
1.一种有利于增强保温效果的热屏，包括内热屏、外热屏及设置于所述内热屏与所述外热屏之间的保温层，其特征在于：所述外热屏的侧壁平行于所述内热屏的中轴线。


2.如权利要求1所述的有利于增强保温效果的热屏，其特征在于：所述外热屏包括直壁段、导流弧段及支撑底段，所述直壁段平行所述内热屏的中轴线设置，所述支撑底段垂直于所述内热屏的中轴线设置，所述导流弧段的两端分别与所述直壁段和所述支撑底段连接。


3.如权利要求2所述的有利于增强保温效果的热屏，其特征在于：所述导流弧段的弧度为90°～120°。


4.如权利要求2所述的有利于增强保温效果的热屏，其特征在于：所述支撑底段远离所述导流弧段的一端开设有连接卡槽，所述内热屏的一端插接于所述连接卡槽中。


5.如权利要求4所述的有利于增强保温效果的热屏，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：王忠保，闫龙，徐慶晧，小暮康弘，王黎光，
申请(专利权)人：宁夏银和半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64