单晶炉冷却导流筒及气冷系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统，包括底座和导流筒，所述底座上表面中部设有制冷设备，制冷设备的上表面设有储气瓶，制冷设备通过设置在其上表面的避震器固定连接有托板，托板的上表面设有气泵和矩形箱体，矩形箱体的内部设有过滤网，所述导流筒的内侧面上下两端分别设有环形收集管和环形出气管，本单晶炉冷却导流筒及气冷系统，结构紧凑，安装方便，操作简单，可以快速将冷媒送入到单晶炉内，提高了单晶炉的换热效率，锁止万向轮的设置方便了储气瓶的位置移动，通过过滤网可以对热交换过程中带出的粉尘进行收集，避震器的设置方便了气泵的减震。

Cooling guide tube and air cooling system of single crystal furnace

【技术实现步骤摘要】
单晶炉冷却导流筒及气冷系统
本技术涉及单晶硅生产设备
，具体为一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统。
技术介绍
当前，单晶硅技术经过多年的发展，成本己经有了大幅的下降，随着投料量的不断加大，如果想进一步降低生产成本就必须提高单炉效率。在拉晶过程中，等径工序是拉晶过程中最为重要的一个工序，也是最为耗时的一个工序，如果要提高等径工序的效率就必须提高等径拉速。现有的单晶炉分为主室和副室两部分，融化的硅料位于主室加热器中上部，拉出的单晶位于主室上半部分和副室中，如果能够减少加热器对单晶的热辐射，并且拉出的单晶能够及时放出潜热，就会加快硅液的结晶速度，也就会提高等径拉速，提高整炉效率。但是现有的冷却装置大都是一个空腔连接冷却液进管和冷却液出管，冷却液在空腔内的存在时间较短，换热效率较低。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统，可以将快速高效对单晶炉进行散热，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统，包括底座和导流筒，所述底座上表面中部设有制冷设备，制冷设备的上表面设有储气瓶，制冷设备通过设置在其上表面的避震器固定连接有托板，托板的上表面设有气泵和矩形箱体，矩形箱体的内部设有过滤网，所述导流筒的内侧面上下两端分别设有环形收集管和环形出气管，环形收集管的外侧面通过导管与矩形箱体的左侧面相连，环形出气管的外侧面通过连接管与储气瓶的外侧面相连，连接管上设有第一安全阀。作为本技术的一种优选技术方案，所述底座的下表面四周均布有四个锁止万向轮，底座的上表面右端前后两侧设有两个前后对称设置的推杆，推杆的上端面设有把手。作为本技术的一种优选技术方案，所述制冷设备采用水冷装置，且水冷装置采用现有技术中常用的方法。作为本技术的一种优选技术方案，所述储气瓶的左侧面设有气压表和泄压管，泄压管上设有第二安全阀。作为本技术的一种优选技术方案，所述避震器的数量为四个，四个避震器均匀分布在托板的下表面四周。作为本技术的一种优选技术方案，所述气泵的外侧面前后两端均通过定位支架与托板的上表面相连。作为本技术的一种优选技术方案，所述气泵的出气口通过导流管与储气瓶的外侧面相连，且导流管位于制冷设备的内部，气泵的进气口与矩形箱体的右侧面相连。作为本技术的一种优选技术方案，所述矩形箱体的上表面设有密封盖板，密封盖板的上表面中部设有把手。作为本技术的一种优选技术方案，所述环形收集管和环形出气管的外侧面均设有透气孔。作为本技术的一种优选技术方案，所述制冷设备的前侧面设有控制开关，控制开关的输入端与外部电源的输出端电连接，控制开关的输出端分别与制冷设备和气泵的输入端电连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本单晶炉冷却导流筒及气冷系统，结构紧凑，安装方便，操作简单，可以快速将冷媒送入到单晶炉内，提高了单晶炉的换热效率，锁止万向轮的设置方便了储气瓶的位置移动，通过过滤网可以对热交换过程中带出的粉尘进行收集，避震器的设置方便了气泵的减震。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术剖视图。图中：1底座、2锁止万向轮、3储气瓶、4控制开关、5制冷设备、6避震器、7推杆、8第一把手、9定位支架、10气泵、11密封盖板、12第二把手、13矩形箱体、14导流筒、15环形出气管、16连接管、17气压表、18第一安全阀、19过滤网、20第二安全阀、21泄压管、22环形收集管、23托板、24导流管。具体实施方式下面将附图对本技术作进一步说明。如图1至图2所示，本技术提供一种技术方案：一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统，包括底座1和导流筒14，底座1上表面中部设有制冷设备5，制冷设备5的上表面设有储气瓶3，制冷设备5通过设置在其上表面的避震器6固定连接有托板23，托板23的上表面设有气泵10和矩形箱体13，矩形箱体13的内部设有过滤网19，通过过滤网19可以对热交换过程中带出的粉尘进行收集，导流筒14的内侧面上下两端分别设有环形收集管22和环形出气管15，环形收集管22的外侧面通过导管与矩形箱体13的左侧面相连，环形出气管15的外侧面通过连接管16与储气瓶3的外侧面相连，连接管16上设有第一安全阀18，底座1的下表面四周均布有四个锁止万向轮2，锁止万向轮2的设置方便了储气瓶3的位置移动，底座1的上表面右端前后两侧设有两个前后对称设置的推杆7，推杆7的上端面设有第一把手8，制冷设备5采用水冷装置，且水冷装置采用现有技术中常用的方法，储气瓶3的左侧面设有气压表17和泄压管21，泄压管21上设有第二安全阀20，避震器6的数量为四个，四个避震器6均匀分布在托板23的下表面四周，避震器6的设置方便了气泵10的减震，气泵10的外侧面前后两端均通过定位支架9与托板23的上表面相连，气泵10的出气口通过导流管24与储气瓶3的外侧面相连，且导流管24位于制冷设备5的内部，气泵10的进气口与矩形箱体13的右侧面相连，矩形箱体13的上表面设有密封盖板11，密封盖板11的上表面中部设有第二把手12，环形收集管22和环形出气管15的外侧面均设有透气孔，制冷设备5的前侧面设有控制开关4，控制开关4的输入端与外部电源的输出端电连接，控制开关4的输出端分别与制冷设备5和气泵10的输入端电连接，本单晶炉冷却导流筒及气冷系统，结构紧凑，安装方便，操作简单，可以快速将冷媒送入到单晶炉内，提高了单晶炉的换热效率。在使用时：将导流筒14设置在单晶炉的内部，接通外部电源，当单晶炉内需要进行降温时，打开第一安全阀18，储气瓶3内的低温惰性气体经由环形出气管15进入到单晶炉的内部，同时由气泵10将单晶炉内高温惰性气体抽出，使得单晶炉可以快速降温，同时由制冷设备5对高温惰性气体进行降温处理，降温后的惰性气体从新被送入到储气瓶3的内部。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统，包括底座(1)和导流筒(14)，其特征在于,所述底座(1)上表面中部设有制冷设备(5)，制冷设备(5)的上表面设有储气瓶(3)，制冷设备(5)通过设置在其上表面的避震器(6)固定连接有托板(23)，托板(23)的上表面设有气泵(10)和矩形箱体(13)，矩形箱体(13)的内部设有过滤网(19)，所述导流筒(14)的内侧面上下两端分别设有环形收集管(22)和环形出气管(15)，环形收集管(22)的外侧面通过导管与矩形箱体(13)的左侧面相连，环形出气管(15)的外侧面通过连接管(16)与储气瓶(3)的外侧面相连，连接管(16)上设有第一安全阀(18)。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统，包括底座(1)和导流筒(14)，其特征在于,所述底座(1)上表面中部设有制冷设备(5)，制冷设备(5)的上表面设有储气瓶(3)，制冷设备(5)通过设置在其上表面的避震器(6)固定连接有托板(23)，托板(23)的上表面设有气泵(10)和矩形箱体(13)，矩形箱体(13)的内部设有过滤网(19)，所述导流筒(14)的内侧面上下两端分别设有环形收集管(22)和环形出气管(15)，环形收集管(22)的外侧面通过导管与矩形箱体(13)的左侧面相连，环形出气管(15)的外侧面通过连接管(16)与储气瓶(3)的外侧面相连，连接管(16)上设有第一安全阀(18)。


2.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统，其特征在于：所述底座(1)的下表面四周均布有四个锁止万向轮(2)，底座(1)的上表面右端前后两侧设有两个前后对称设置的推杆(7)，推杆(7)的上端面设有第一把手(8)。


3.根据权利要求1所述的一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统，其特征在于,所述制冷设备(5)采用水冷装置，且水冷装置采用现有技术中常用的方法。


4.根据权利要求3所述的一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统，其特征在于：所述储气瓶(3)的左侧面设有气压表(17)和泄压管(21)，泄压管(21)上设有第二安全阀(20)。
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【专利技术属性】
技术研发人员：魏海宁，孔祥传，
申请(专利权)人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32