【技术实现步骤摘要】
一种安全的单晶炉炉底板
本技术涉及单晶炉
，具体涉及一种安全的单晶炉炉底板。
技术介绍
单晶炉炉底板安装在单晶炉底座支架上，其上安装主炉室，是单晶炉真空室的基础部件，在炉底部件上根据热场的种类和规格开有安装加热电极和抽空管道以及供坩埚杆通过所需要的开孔，以及真空检测所用的检测孔。传统的单晶炉炉底板焊缝在真空室内部，在拉制单晶的过程中，真空室处于负压高温的环境下，若炉底板的焊缝出现泄漏，会出现冷却水急速泄漏进真空室并迅速气化膨胀，发生事故，对人员和设备都会造成严重威胁。
技术实现思路
本技术是为了解决现有技术存在的问题，提供了一种安全的单晶炉炉底板。本技术的技术方案是：一种安全的单晶炉炉底板，包括炉底本体、供坩埚杆通过的坩埚杆孔、抽气孔、电极孔，坩埚杆孔、抽气孔和电极孔位于单晶炉炉底板上，还包括炉内热场安装面、水封板、炉底水冷槽环路、进水口和出水口，炉内热场安装面与炉底本体上部连接，炉内热场安装面为整板无焊缝加工而成，位于单晶炉炉腔真空室内部，水封板和炉底本体下部焊接，位于单晶炉炉腔真空室外部，炉底水冷槽环路位于炉底本体和水封板之间，进水口位于坩埚杆孔侧壁，出水口位于单晶炉炉底板边缘处。进一步地，坩埚杆孔、抽气孔、电极孔的内壁均采用双面焊接结构。本技术具有如下有益效果：1、采用焊缝在真空室外部的设计，防止漏水对人员和设备产生不安全隐患；2、坩埚杆孔、电极孔和抽气孔的内壁均采用双面焊接结构，加强了真空室内部焊缝的安全性。附图说明图1是安全炉底的...
【技术保护点】
1.一种安全的单晶炉炉底板，包括炉底本体(3)、供坩埚杆通过的坩埚杆孔(1)、抽气孔(6)、电极孔(7)，所述坩埚杆孔(1)、所述抽气孔(6)和所述电极孔(7)位于单晶炉炉底板上，其特征在于，还包括炉内热场安装面(4)、水封板(5)、炉底水冷槽环路(2)、进水口(8)和出水口(9)，所述炉内热场安装面(4)与所述炉底本体(3)上部连接，所述炉内热场安装面(4)为整板无焊缝加工而成，位于单晶炉炉腔真空室内部，所述水封板(5)和所述炉底本体(3)下部焊接，位于单晶炉炉腔真空室外部，所述炉底水冷槽环路位于炉底本体(3)和水封板(5)之间，所述进水口(8)位于所述坩埚杆孔(1)侧壁，所述出水口(9)位于单晶炉炉底板边缘处。/n
【技术特征摘要】
1.一种安全的单晶炉炉底板，包括炉底本体(3)、供坩埚杆通过的坩埚杆孔(1)、抽气孔(6)、电极孔(7)，所述坩埚杆孔(1)、所述抽气孔(6)和所述电极孔(7)位于单晶炉炉底板上，其特征在于，还包括炉内热场安装面(4)、水封板(5)、炉底水冷槽环路(2)、进水口(8)和出水口(9)，所述炉内热场安装面(4)与所述炉底本体(3)上部连接，所述炉内热场安装面(4)为整板无焊缝加工而成，位于...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。