单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置，属于单晶硅生产技术领域。包括轴承间隙承接轴及检测组件，检测组件传动连接轴承间隙承接轴。轴承间隙承接轴的一端用于固定连接于单晶硅棒滚磨机的主动旋转辊上。检测组件包括传动轴及测量齿轮，传动轴的一端传动连接轴承间隙承接轴，且另一端固定连接于测量齿轮的中心，测量齿轮上设置有指示标志，且测量齿轮外圆周围设置有刻度。轴承间隙承接轴与单晶硅棒滚磨机的主动旋转辊同步旋转，带动传动轴旋转，从而带动测量齿轮转动，进而通过读取测量齿轮的旋转角度，直接判断单晶硅棒滚磨机的主动旋转辊的旋转角度。结构简单，操作方便，能够实时在线检测单晶硅棒滚磨机轴承间隙。

Measuring device for bearing clearance of single crystal silicon rod rolling mill

The utility model provides a bearing clearance measuring device of a single crystal silicon rod rolling mill, which belongs to the technical field of single crystal silicon production. Including bearing clearance bearing shaft and detection components, detection components drive connecting bearing clearance bearing shaft. One end of the bearing clearance receiving shaft is used for fixing and connecting to the active rotating roller of the single crystal silicon rod rolling mill. The detection component includes a transmission shaft and a measuring gear. One end of the transmission shaft is connected with a bearing clearance receiving shaft, and the other end is fixedly connected with the center of the measuring gear. The measuring gear is provided with an indication sign, and a scale is set around the outer circle of the measuring gear. The bearing clearance undertakes the synchronous rotation of the shaft and the active rotating roller of the single crystal silicon rod roller mill, drives the rotation of the transmission shaft, thus driving the rotation of the measuring gear, and then directly judges the rotation angle of the active rotating roller of the single crystal silicon rod roller mill by reading the rotation angle of the measuring gear. The structure is simple and the operation is convenient. It can detect the bearing clearance of single crystal silicon rod rolling mill in real time.

【技术实现步骤摘要】
单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置
本技术属于单晶硅生产
，具体涉及一种单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置。
技术介绍
滚磨机是生产加工单晶硅晶棒过程所需要的主要设备，滚磨机主动辊与从动辊之间的间隙会影响参考面的偏离程度，进而影响晶棒的成品率，需要定期地进行检测和维护保养。现有的轴承间隙测量方法多使用塞尺，然而，塞尺只适合于滚磨机停机时，进行静态的测量，且存在较大的测量误差。在滚磨机运行过程中，没有一种能够实时监控测量滚磨机轴承间隙数据的工具，导致检修维护不能数据化理论化的进行，导致生产过程不可控，对人员及生产成本都有较高的要求。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种能够实时监控滚磨机轴承间隙数据、操作简单的单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置，包括轴承间隙承接轴及检测组件，所述检测组件传动连接所述轴承间隙承接轴；所述轴承间隙承接轴的一端用于固定连接于单晶硅棒滚磨机的主动旋转辊上，另一端传动连接所述检测组件；r>所述检测组件包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置，其特征在于，包括轴承间隙承接轴及检测组件，所述检测组件传动连接所述轴承间隙承接轴；/n所述轴承间隙承接轴的一端用于固定连接于单晶硅棒滚磨机的主动旋转辊上，另一端传动连接所述检测组件；/n所述检测组件包括传动轴及测量齿轮，所述传动轴的一端传动连接所述轴承间隙承接轴，且另一端固定连接于所述测量齿轮的中心，所述测量齿轮上设置有指示标志，且所述测量齿轮外圆周围设置有刻度。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置，其特征在于，包括轴承间隙承接轴及检测组件，所述检测组件传动连接所述轴承间隙承接轴；
所述轴承间隙承接轴的一端用于固定连接于单晶硅棒滚磨机的主动旋转辊上，另一端传动连接所述检测组件；
所述检测组件包括传动轴及测量齿轮，所述传动轴的一端传动连接所述轴承间隙承接轴，且另一端固定连接于所述测量齿轮的中心，所述测量齿轮上设置有指示标志，且所述测量齿轮外圆周围设置有刻度。


2.如权利要求1所述的单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置，其特征在于，所述测量齿轮包括一级测量齿轮及二级测量齿轮，所述一级测量齿轮连接于所述传动轴，所述一级测量齿轮上设置有一级指示标志，且外圆周围设置有一级刻度；所述二级测量齿轮啮合于所述一级测量齿轮的外圆周，所述二级测量齿轮上设置有二级指示标志，且外圆周围设置有二级刻度。


3.如权利要求2所述的单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置，其特征在于，所述二级测量齿轮包括第一放大齿轮及第一刻度盘，所述第一刻度盘固定连接所述第一放大齿轮，所述第一放大齿轮啮合连接于所述一级测量齿轮的外圆周；所述二级指示标志设置于所述第一刻度盘上，且所述二级刻度设置于所述第一刻度盘外圆周围。


4.如权利要求3所述的单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵延祥，
申请(专利权)人：宁夏银和半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64