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本实用新型提供了一种单晶硅棒滚磨机轴承间隙测量装置，属于单晶硅生产技术领域。包括轴承间隙承接轴及检测组件，检测组件传动连接轴承间隙承接轴。轴承间隙承接轴的一端用于固定连接于单晶硅棒滚磨机的主动旋转辊上。检测组件包括传动轴及测量齿轮，传动轴的...
该专利属于宁夏银和半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏银和半导体科技有限公司授权不得商用。

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