一种玻璃减薄液制造技术

本发明专利技术属于化学制剂技术领域，涉及一种玻璃减薄液，配方包括10～20wt％氢氟酸，5～15wt％硝酸，5～10wt％硫酸，0.1～1wt％氢氟酸稳定剂，0.01～0.1wt％表面活性剂和余量的去离子水，所述表面活性剂为三硅氧烷类表面活性剂。本玻璃减薄液通过耐酸性更好的表面活性剂来提升玻璃蚀刻速率，在4小时后还能保持比较高的蚀刻速率，能够保证蚀刻精度。

A glass thinner

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃减薄液
本专利技术涉及化学制剂
，特别涉及一种玻璃减薄液。
技术介绍
玻璃是显示屏屏幕的主要材料，随着目前市场对显示屏轻薄化的需要提高，玻璃的减薄要求也越来越高。玻璃薄化分为化学蚀刻薄化技术和物理研磨薄化技术。化学蚀刻薄化技术是利用氢氟酸化学溶液与玻璃面板表面的二氧化硅(SiO2)进行化学反应而使其溶解的原理，对基板进行咬蚀而将玻璃厚度变薄。其化学反应方程式为：6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O。之前TFT-LCD面板行业的玻璃减薄液多为氟化铵加强酸体系，此方法为性能较为稳定，但是蚀刻速率较慢。相对而言，氢氟酸加强酸体系蚀刻速率过快，而蚀刻液本身较不稳定。中国申请CN103922602A“TFT玻璃基板减薄液及其制备方法、TFT玻璃基板减薄工艺”中公开的玻璃减薄液配方包括氢氟酸、氟化氢铵、硝酸和硫酸，相当于通过两种体系的混合来平衡稳定性和蚀刻速度，但是效果不够理想。若在以上体系中使用普通表面活性剂来提升蚀刻速率，在有强酸的条件下表面活性剂容易失活，反应3小时过后蚀刻速率就会下降到5μm/min以下。因本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃减薄液，其特征在于：配方包括10～20wt％氢氟酸，5～15wt％硝酸，5～10wt％硫酸，0.1～1wt％氢氟酸稳定剂，0.01～0.1表面活性剂和余量的去离子水，所述表面活性剂为三硅氧烷类表面活性剂。/n

【技术特征摘要】
1.一种玻璃减薄液，其特征在于：配方包括10～20wt％氢氟酸，5～15wt％硝酸，5～10wt％硫酸，0.1～1wt％氢氟酸稳定剂，0.01～0.1表面活性剂和余量的去离子水，所述表面活性剂为三硅氧烷类表面活性剂。


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【专利技术属性】
技术研发人员：王润杰，卢洪庆，陈浩，
申请(专利权)人：苏州博洋化学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32