【技术实现步骤摘要】
本技术属于铜蚀刻液加工，特别涉及一种铜蚀刻液生产用反应装置。
技术介绍
1、反应釜的广义理解即有物理或化学反应的容器，通过对容器的结构设计与参数配置，实现工艺要求的加热、蒸发、冷却及低高速的混配功能，反应釜广泛应用于石油、化工、橡胶、农药、染料、医药、食品，用来完成硫化、硝化、氢化、烃化、聚合、缩合等工艺过程的压力容器。
2、高精细芯片和显示集成电路主要采用铜制程，其光刻工艺中形成铜膜层结构所需用的铜刻蚀液中最主要的为过氧化氢系铜刻蚀液。过氧化氢系铜蚀刻液较其他铜刻蚀液体系(如三氯化铁体系，过硫酸铵体系)具有不引入其他金属离子在铜层表面或线路体系中，产物亲和、友好、环境污染少，刻蚀效率高且使用寿命较长的特点。
3、铜蚀刻液生产过程中需要用到反应釜，现有反应釜在实际使用过程中，发现搅拌机构对物料的搅拌效率一般，导致反应釜混合效率还有进一步提高的空间。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术为了解决目前铜蚀刻液生产过程中用到的反应釜在实际使用过程中，搅拌机构对物料的搅拌效率...
【技术保护点】
1.一种铜蚀刻液生产用反应装置，其特征在于，包括反应釜、固体预溶罐、隔膜泵和过滤器，所述反应釜内设置有液体分布器，所述固体预溶罐设置在反应釜上方且与反应釜内的液体分布器采用软接连方式进行连接，所述固体预溶罐上方设置有投料斗，所述隔膜泵设置在反应釜下方出口，隔膜泵出口与过滤器进口连接，过滤器出口与反应釜内的液体分布器连接。
2.如权利要求1所述的铜蚀刻液生产用反应装置，其特征在于，所述固体预溶罐与反应釜的软接连方式为金属软管，所述固体预溶罐与反应釜采用金属软管进行连接，且金属软管上设置有调节阀。
3.如权利要求1所述的铜蚀刻液生产用反应装置，其特...
【技术特征摘要】
1.一种铜蚀刻液生产用反应装置，其特征在于，包括反应釜、固体预溶罐、隔膜泵和过滤器，所述反应釜内设置有液体分布器，所述固体预溶罐设置在反应釜上方且与反应釜内的液体分布器采用软接连方式进行连接，所述固体预溶罐上方设置有投料斗，所述隔膜泵设置在反应釜下方出口，隔膜泵出口与过滤器进口连接，过滤器出口与反应釜内的液体分布器连接。
2.如权利要求1所述的铜蚀刻液生产用反应装置，其特征在于，所述固体预溶罐与反应釜的软接连方式为金属软管，所述固体预溶罐与反应釜采用金属软管进行连接，且金属软管上设置有调节阀。
3.如权利要求1所述的铜蚀刻液生产用反应装置，其特征在于，所述投料斗呈...
【专利技术属性】
技术研发人员：王润杰，陈峰，李瑞峰，
申请(专利权)人：苏州博洋化学股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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