【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于蚀刻液，涉及一种可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液及其制备方法，尤其涉及一种应用于集成电路、高世代显示面板和柔性面板的可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液及其制备方法。
技术介绍
1、随着科技的发展细线宽、高穿透力的钼铝蚀刻技术正逐步取代传统技术成为主流，在新能源汽车的不断普及和推广下，车载面板显示迎来春天产能不断释放，钼铝蚀刻液在6代线中使用量广泛，将迎来大规模放量机会。铝钼蚀刻液为无色透明液体，有酸性气味，主要用作半导体或fpd(flat panel display，平板显示器)面板制程中铝层和钼层的蚀刻，目前铝钼蚀刻液主要由磷酸、硝酸和醋酸组成。
2、由于钼和铝的蚀刻液速率比较难控制，目前市场上的钼铝蚀刻液都是针对单一规格的膜层，客户在切换规格时比不得不更换药液，前期还需要清洗，增加了人工成本和药液成本。因此为了解决市场上钼铝蚀刻液存在的不足，需要研发一种新型的钼铝蚀刻液，实现金属制板多规格膜厚可兼容，同时也适用三层钼铝钼结构，进而为客户节约了成本，同时具有蚀刻速度快、蚀刻后角度稳定、cdloss小、无毛边等优点。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术为了解决目前市场上的钼铝蚀刻液都是针对单一规格的膜层，兼容性不好，且蚀刻速度慢、蚀刻后角度不稳定、cdloss大、有毛边的问题，提供一种可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液及其制备方法。
2、为达到上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液，蚀刻液的
4、进一步，添加剂为磷酸三胺、氨基磺酸和氯化钠中的一种或多种组合。
5、进一步，蚀刻液ph值为1.5～2。
6、上述一种可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液的制备方法，包括如下步骤：
7、s1、将无机酸磷酸、硝酸、醋酸、硝酸钾、醋酸钠、添加剂和表面活性剂按配比称重；
8、s2、在净化空间内加入一半量的无机酸磷酸，开启搅拌，再依次加入纯水、硝酸、醋酸，搅拌30分钟，再依次加入硝酸钾、醋酸钠、添加剂、表面活性剂及剩余一半量的无机酸磷酸，搅拌2小时；
9、s3、将步骤s2制备的混合物经过3级过滤器循环过滤2小时，分装，制得钼铝蚀刻液。
10、进一步，步骤s2混合搅拌后的原料进行超声振荡使其分散均匀。
11、进一步，步骤s3中过滤器为滤膜孔径为0.01～0.1μm的真空过滤器。
12、本专利技术的有益效果在于：
13、1、本专利技术所公开的可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液，以磷酸、硝酸、醋酸为主体，通过控制硝酸的含量能够控制钼铝的蚀刻速率，通过添加硝酸钾能够进一步解决蚀刻速率过快导致cdloss偏大的问题，满足不同的工艺需求。
14、2、本专利技术所公开的可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液，创新性地采用磷酸三胺、氨基磺酸和氯化钠组合作为钼铝蚀刻液添加剂，可有效地控制了钼和铝的蚀刻选择比，最终实现等比蚀刻，做到不同规格样品的兼容性。
15、3、本专利技术所公开的可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液，冰醋酸和醋酸钠构成有效的缓冲系统，增加蚀刻液的流动性，解决蚀刻过程中的毛边问题。
16、4、本专利技术所公开的可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液中，表面活性剂能够改善溶液的表面张力，由此提高对基板的润湿性，提高蚀刻液对基板结构中高位部的浸渗性，有效的控制蚀刻速率。
17、本专利技术的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本专利技术的实践中得到教导。本专利技术的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。
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1.一种可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液，其特征在于，蚀刻液的原料按重量百分比计算，包括无机酸磷酸65～69％、硝酸2～4％、醋酸8～10％、硝酸钾4～5％、醋酸钠0.5～3％、添加剂0.5～3％、表面活性剂0.05％-0.2％，其中表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、硬脂酸、甘胆酸钠、二辛基琥珀酸磺酸钠中的一种或多种组合；各组分重量百分数之和为100％。
2.如权利要求1所述可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液，其特征在于，添加剂为磷酸三胺、氨基磺酸和氯化钠中的一种或多种组合。
3.如权利要求2所述可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液，其特征在于，蚀刻液pH值为1.5～2。
4.如权利要求1～3任意一项所述可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
5.如权利要求4所述可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液的制备方法，其特征在于，步骤S2混合搅拌后的原料进行超声振荡使其分散均匀。
6.如权利要求5所述可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液的制备方法，其特征在于，步骤S3中过滤器为滤膜孔径为0.01～0.1μm的真空过
...【技术特征摘要】
1.一种可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液，其特征在于，蚀刻液的原料按重量百分比计算，包括无机酸磷酸65～69％、硝酸2～4％、醋酸8～10％、硝酸钾4～5％、醋酸钠0.5～3％、添加剂0.5～3％、表面活性剂0.05％-0.2％，其中表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、硬脂酸、甘胆酸钠、二辛基琥珀酸磺酸钠中的一种或多种组合；各组分重量百分数之和为100％。
2.如权利要求1所述可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液，其特征在于，添加剂为磷酸三胺、氨基磺酸和氯化钠中的一种或多种组合。
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【专利技术属性】
技术研发人员：王国洪，王润杰，许朱男，颜喜历，
申请(专利权)人：苏州博洋化学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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