有机EL显示面板的制造方法技术

有机EL显示面板的制造方法，通过实现发光层(123)膜厚均匀化改善亮度不均，包括：在基板(100x)上在行方向并列设置多个在列方向延伸的列围堰(522Y)；在列围堰间间隙(522z)连续涂布含有机发光材料的油墨；使覆盖涂布区域的整流板(400)成为从基板上面离开第一距离(Y1)的状态，在该状态下将包含基板的气氛的压力减压至第一压力(P1)；在气氛的压力达到第一压力后，使整流板成为从基板的上面离开比第一距离大的第二距离(Y2)的状态，在该状态下将气氛的压力减压至比第一压力低的第二压力(P2)以下的压力；通过加热基板形成发光层(123)；在除去整流板的状态下在有机功能层上方形成对置电极(125)。

Manufacturing method of organic EL display panel

【技术实现步骤摘要】
有机EL显示面板的制造方法
本公开涉及使用了利用有机材料的电致发光现象的有机EL(ElectroLuminescence：电致发光)元件的有机EL显示面板的制造方法，以及该方法所使用的油墨干燥装置。
技术介绍
近年来，作为用于数字电视等显示装置的显示面板，在基板上以矩阵状排列了多个有机EL元件的有机EL显示面板被实用化。该有机EL显示面板由于各有机EL元件进行自发光，所以视觉辨认性高。近年来，随着设备的大型化，作为高效的功能膜的成膜方法，提出了一种基于喷墨法等涂布含有功能性材料的油墨的湿法工艺。湿法工艺在涂敷功能膜时的位置精度不依赖于基板尺寸，具有对设备的大型化的技术障碍比较低的优点。在代表性的喷墨法的湿法工艺中，在涂布装置的作业台上载置涂布对象基板。使墨头相对于基板表面向一个方向扫描，从喷墨头的多个喷嘴向基板表面的规定区域滴下油墨。然后使油墨的溶剂蒸发干燥而形成功能膜。但是，在利用在这样的基板上填充油墨并进行干燥的方法形成功能层的湿法工艺中，在使油墨的溶剂蒸发干燥的工艺中，在成膜区域的中央部分和周缘部分，由于周缘部分比中央部分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机EL显示面板的制造方法，其特征在于，/n是一种有机EL显示面板的制造方法，其包括：/n准备基板的工序；/n在所述基板上以行列状形成多个像素电极的工序；/n在所述基板上的至少行方向上的所述像素电极与所述像素电极之间，在行方向上并列设置多个在列方向上延伸的列围堰的工序；/n在行方向上相邻的所述列围堰间的间隙中，分别在列方向上连续地涂布含有有机发光材料的油墨的工序；/n在俯视中，至少使覆盖所述基板的涂布了所述油墨的区域的整流板成为从所述基板的上表面离开了第一距离的状态，在所述状态下将包含所述基板的气氛的压力减压至第一压力的工序；/n在所述气氛的压力达到所述第一压力后，使所述整流板成为从所...

【技术特征摘要】
20180727 JP 2018-1411611.一种有机EL显示面板的制造方法，其特征在于，
是一种有机EL显示面板的制造方法，其包括：
准备基板的工序；
在所述基板上以行列状形成多个像素电极的工序；
在所述基板上的至少行方向上的所述像素电极与所述像素电极之间，在行方向上并列设置多个在列方向上延伸的列围堰的工序；
在行方向上相邻的所述列围堰间的间隙中，分别在列方向上连续地涂布含有有机发光材料的油墨的工序；
在俯视中，至少使覆盖所述基板的涂布了所述油墨的区域的整流板成为从所述基板的上表面离开了第一距离的状态，在所述状态下将包含所述基板的气氛的压力减压至第一压力的工序；
在所述气氛的压力达到所述第一压力后，使所述整流板成为从所述基板的上表面离开了比所述第一距离大的第二距离的状态，在所述状态下将所述气氛的压力减压至比所述第一压力低的第二压力以下的压力的工序；
通过加热所述基板而形成有机功能层的工序；
在除去所述整流板的状态下在所述有机功能层上方形成对置电极的工序。


2.根据权利要求1所述的有机EL显示面板的制造方法，其中，
所述第一压力为1×104Pa以上且5×104Pa以下，
所述第一距离为2mm以上且10mm以下...

【专利技术属性】
技术研发人员：福田敏生，
申请(专利权)人：株式会社日本有机雷特显示器，
类型：发明
国别省市：日本;JP