炉体设备制造技术

本发明专利技术提供了一种炉体设备，包括：加热装置，包括炉体、加热件和抽风装置，炉体内设有相连通的第一内室和第二内室，第一内室适于与工艺腔相连通，加热件设置在第二内室内，抽风装置设置在炉体上，用于将第二内室中的气体抽入第一内室；传送装置，至少部分设置在工艺腔内，传送装置包括传动件和载具，载具设置在传动件上，传动件用于带动载具相对于工艺腔运动。本发明专利技术提供的炉体设备，由于气体在第二内室中进行了预加热，从而气体温度均匀恒定，这样气体进入工艺腔后，使得工艺腔内温度均匀恒定，提高对硅片的烘干固化效果及成品率，避免炉腔内出现温度不均的现象。

Furnace body equipment

【技术实现步骤摘要】
炉体设备
本专利技术涉及光伏电池片
，更具体而言，涉及一种炉体设备。
技术介绍
HIT(HeterojunctionwithintrinsicThinlayer)太阳能光伏电池制备时，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干、固化。传统的加热装置是将红外加热器安装在炉腔(工艺腔)内，然后鼓吹冷空气进入炉腔。在烘干及固化过程中，冷空气直接吹入炉腔，导致炉腔内温度忽冷忽热、温度不均。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的目的在于提供一种炉体设备。为实现上述目的，本专利技术的技术方案提供了一种炉体设备，包括：加热装置，包括炉体、加热件和抽风装置，所述炉体内设有相连通的第一内室和第二内室，所述第一内室适于与工艺腔相连通，所述加热件设置在所述第二内室内，所述抽风装置设置在所述炉体上，用于将所述第二内室中的气体抽入所述第一内室；传送装置，至少部分设置在所述工艺腔内，所述传送装置包括传动件和载具，所述载具用于承载硅片并设置在所述传动件上，所述传动件用于带动所述载具相对于所述工艺腔运动。本专利技术上述技术方案提供的炉体设备，加热件位于第二内室内，气体在第二内室中进行预加热。抽风装置将第二内室中预加热的气体抽送至第一内室，热空气在第一内室进一步混合均匀，第一内室与工艺腔相连通，从而预加热的气体进入工艺腔，对经过工艺腔的硅片进行加热。由于气体在第二内室中进行了预加热，从而气体温度均匀恒定，这样气体进入工艺腔后，使得工艺腔内温度均匀恒定，提高对硅片的烘干固化效果及成品率，避免炉腔内出现温度不均的现象。硅片位于载具上，载具连接在传动件上，从而实现硅片随传动件移动，实现对硅片的传动。在传动件的带动下，载具和硅片进入工艺腔，并相对于工艺腔运动，以实现对硅片的烘干固化。另外，本专利技术上述技术方案提供的炉体设备还具有如下附加技术特征：上述技术方案中，所述炉体的数量为两个，分别为相对设置的第一炉体和第二炉体，所述第一炉体和所述第二炉体围设出所述工艺腔，所述第一炉体的所述第二内室上设有冷空气进风口，所述第二炉体的所述第二内室上设有压缩空气进风口。冷空气进风口处连接有冷空气进风管，压缩空气进风口上连接有压缩空气进风管，冷空气由冷空气进风管进入第一炉体的第二内室，经第二内室中的加热件预加热成热空气。压缩空气由压缩空气进风管进入第二炉体的第二内室，经第二内室中的加热件加热成热空气。设置冷空气进风口和压缩空气进风口，通过压缩空气进风口进入的压缩空气，可以实现工艺腔内新鲜空气的补充，保证加热工艺腔体内气体的洁净，保证第一内室吹出的风的品质，满足硅片生产，提升烘干固化效果及效率。进一步地，第一炉体和第二炉体上下设置，例如第一炉体位于第二炉体的上方。进一步地，加热装置包括多个加热区，多个加热区依次拼接，每一加热区包括一个第一炉体和第二炉体，每一加热区的第二炉体的第二内室上设有压缩空气进风口，每一第二内室的压缩空气单独调节。上述任一技术方案中，所述炉体上设有升降装置，以带动所述第一炉体相对于所述第二炉体上下运动，其中，所述升降装置包括电动杆或液压缸或气缸或电磁推杆。通过升降装置带动第一炉体相对于第二炉体上下运动，在升降装置带动第一炉体相对于第二炉体向下运动时，可以实现第一炉体和第二炉体的装配，形成工艺腔；在第一炉体相对于第二炉体向上运动时，第一炉体和第二炉体相分离，第一炉体升高，方便对设备进行维护。通过电动杆、液压缸、气缸或电磁推杆可以带动第一炉体相对于第二炉体的上下运动，且此时升降装置的结构简单、成本低。进一步地，升降装置的数量为多个，例如，升降装置为电动杆，电动杆的数量为四个。上述任一技术方案中，所述第一炉体上设有导向部，所述第二炉体上设有导向配合部，所述导向部与所述导向配合部相配合，以引导所述第一炉体相对于所述第二炉体上下运动。导向部和导向配合部相配合，以导向第一炉体相对于第二炉体的升降动作(上下运动)，实现第一炉体相对于第二炉体的上下往复运动，防止第一炉体相对于第二炉体运动过程中出现偏移。上述任一技术方案中，所述导向部包括所述第一炉体上设置的导向杆，所述导向配合部包括所述第二炉体上设置的导向槽，所述导向杆位于所述导向槽内并相对于所述导向槽上下运动；或者，所述导向部包括所述第一炉体上设置的导向槽，所述导向配合部包括所述第二炉体上设置的导向杆，所述导向杆位于所述导向槽内并相对于所述导向槽上下运动。在第一炉体相对于第二炉体上下运动时，导向杆位于导向槽内，并向对于导向槽上下运动，以导向第一炉体相对于第二炉体的升降动作。进一步地，导向槽和导向杆设置在炉体的外表面上，导向槽数量为多个，导向杆的数量与导向槽的数量相等并一一对应，例如导向杆和导向槽设置在炉体的两侧面上，导向杆为沿上下方向设置的导杆，导向槽包括第一凸起和第二凸起，第一凸起和第二凸起相对设置，并限定出导向槽。上述任一技术方案中，炉体设备包括：匀流板，构成所述第一内室的至少部分侧壁，所述匀流板上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述第一内室相对应，且所述第一内室通过所述第一通孔与所述工艺腔相连通，所述第二通孔与所述第二内室相对应，所述第二内室通过所述第二通孔与所述工艺腔相连通；其中，所述第一通孔的数量为多个，沿气体从所述第一内室流向所述工艺腔的方向，所述第一通孔的截面积减小，且单个所述第一通孔的开孔面积小于单个所述第二通孔的开孔面积。第一内室中的气体在抽风装置的作用下，通过第一通孔流入工艺腔，从而实现第一内室与工艺腔的连通。进一步地，第一通孔的数量为多个，且多个第一通孔在匀流板上均匀分布，以使第一内室中的气流能够进入工艺腔各处，进一步提高工艺腔中温度的均匀性。进一步地，沿气体从所述第一内室流向所述工艺腔的方向，所述第一通孔的截面积减小。第一通孔上靠近第一内室处孔径大，第一通孔靠近工艺腔处孔径小，经加热件加热的热空气从大孔径一侧流向小孔径一侧，具有均匀分散热空气，减小热空气的流动阻力的作用。进一步地，沿气体从第一内室流向工艺腔的方向，第一通孔的截面积逐渐减小。例如，第一通孔为圆孔，第一通孔呈Y形，第一通孔朝向第一内室的一面孔径大，孔径随深度逐渐缩小，缩小到设定值后成不再改变直至完全贯穿匀流板。可以理解，第一通孔可以呈除圆形外的任意形状，例如长方形、椭圆形等。工艺腔中的气体(主要为热空气)通过第二通孔流回第二内室，实现热空气的循环，从而实现热风循环加热使用，减小热量损失，保证炉体内温度恒定。进一步地，所述第二内室位于所述第一内室的外围，且所述第二内室由所述第一内室的围壁与所述炉体的内侧壁围成，且所述第二通孔位于所述第一通孔的外围。进一步地，第二通孔的数量为多个，且多个第二通孔设置在匀流板的边缘，并均匀设置，例如匀流板呈长方形，多个第二通孔沿匀流板的长度方向或宽度方向均匀分布。进一步地，单个第二通孔的开孔面积大于单个第一通孔的开孔面积，从而可以减小第二通孔的数量，降低本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种炉体设备，其特征在于，包括：/n加热装置，包括炉体、加热件和抽风装置，所述炉体内设有相连通的第一内室和第二内室，所述第一内室适于与工艺腔相连通，所述加热件设置在所述第二内室内，所述抽风装置设置在所述炉体上，用于将所述第二内室中的气体抽入所述第一内室；/n传送装置，至少部分设置在所述工艺腔内，所述传送装置包括传动件和载具，所述载具用于承载硅片并设置在所述传动件上，所述传动件用于带动所述载具相对于所述工艺腔运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种炉体设备，其特征在于，包括：
加热装置，包括炉体、加热件和抽风装置，所述炉体内设有相连通的第一内室和第二内室，所述第一内室适于与工艺腔相连通，所述加热件设置在所述第二内室内，所述抽风装置设置在所述炉体上，用于将所述第二内室中的气体抽入所述第一内室；
传送装置，至少部分设置在所述工艺腔内，所述传送装置包括传动件和载具，所述载具用于承载硅片并设置在所述传动件上，所述传动件用于带动所述载具相对于所述工艺腔运动。


2.根据权利要求1所述的炉体设备，其特征在于，
所述炉体的数量为两个，分别为相对设置的第一炉体和第二炉体，所述第一炉体和所述第二炉体围设出所述工艺腔，所述第一炉体的所述第二内室上设有冷空气进风口，所述第二炉体的所述第二内室上设有压缩空气进风口。


3.根据权利要求2所述的炉体设备，其特征在于，
所述炉体上设有升降装置，以带动所述第一炉体相对于所述第二炉体上下运动，其中，所述升降装置包括电动杆或液压缸或气缸或电磁推杆。


4.根据权利要求2所述的炉体设备，其特征在于，
所述第一炉体上设有导向部，所述第二炉体上设有导向配合部，所述导向部与所述导向配合部相配合，以引导所述第一炉体相对于所述第二炉体上下运动。


5.根据权利要求4所述的炉体设备，其特征在于，
所述导向部包括所述第一炉体上设置的导向杆，所述导向配合部包括所述第二炉体上设置的导向槽，所述导向杆位于所述导向槽内并相对于所述导向槽上下运动；或者
所述导向部包括所述第一炉体上设置的导向槽，所述导向配合部包括所述第二炉体上设置的导向杆，所述导向杆位于所述导向槽内并相对于所述导向槽上下运动。


6.根据权利要求1所述的炉体设备，其特征在于，包括：
匀流板，构成所述第一内室的至少部分侧壁，并用于分隔所述第一内室与所述工艺腔，所述匀流板上设有第...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗搏飞，吴勇茂，冼志军，
申请(专利权)人：常州捷佳创智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32