一种载具及烘干炉制造技术

技术编号:40232687 阅读:10 留言:0更新日期:2024-02-02 22:34
本技术属于载具技术领域,具体涉及一种载具及烘干炉,本载具包括:若干传输组件;其中各所述传输组件依次排列,且各所述传输组件的两侧与对应的链条连接;所述传输组件上开设有若干承载位,以用于承载工件;本技术通过设置各传输组件依次排列,通过链条连接进而构成可以传送工件的载具,传输组件用来支撑工件,载具设置在烘干炉内,传输装置带动载具运动,进而使工件穿过烘干炉的腔体内,烘干炉对工件进行烘干,成本低、安装方便、运行稳定,同时能够满足大产能的需求。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于载具,具体涉及一种载具及烘干炉


技术介绍

1、在现有的硅片烘干炉中,硅片通常是通过网链传输,由于网链是多个金属扣拼接而成,当需要增大产能,则网链的面积增大。

2、然而,在烘干炉内,需要多设置支撑结构以对网链的中间结构进行支撑,增加了生产成本和维护成本。

3、因此,亟需开发一种新的载具及烘干炉,以解决上述问题。


技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种载具及烘干炉。

2、为了解决上述技术问题,本技术提供了一种载具,其包括:若干传输组件;其中各所述传输组件依次排列,且各所述传输组件的两侧与对应的链条连接;所述传输组件上开设有若干承载位,以用于承载工件。

3、进一步,所述传输组件包括:底板和若干夹持板;所述底板的两端与对应的链条连接,各所述夹持板依次排列在底板上;所述夹持板的上部开设有凹口,以形成所述承载位。

4、进一步,所述凹口两侧分别设置有相应限位部,且两个所述限位部呈对称设置,以用于将工件限位在所述凹口内。

5、进一步,所述限位部由夹持板顶部向上凸起形成。

6、进一步,所述底板上设置有支撑板,所述支撑板纵向设置;各所述夹持板与支撑板固定,且所述支撑板的高度低于凹口的最低端。

7、进一步,所述夹持板上开设有至少两个安装孔,以用于固定所述夹持板与支撑板。

8、进一步,所述支撑板上开设有若干缝槽,以用于插入对应的所述夹持板。

9、进一步,所述底板分为第一板部和两第二板部;两所述第二板部分别固定于第一板部两侧;所述第一板部用于安装各夹持板;两所述第二板部与对应的链条连接。

10、进一步,两所述第二板部的高度低于第一板部的高度;两所述第二板部上分别设有连接孔,所述连接孔内穿入相应连接件与链条连接,且所述连接件与第二板部之间设置有间隙。

11、另一方面,本技术提供一种烘干炉,其包括:烘干炉本体和如上述的载具;所述载具适于承载工件送入烘干炉本体内。

12、本技术的有益效果是,本技术通过设置各传输组件依次排列,通过链条连接进而构成可以传送工件的载具,传输组件用来支撑工件,载具设置在烘干炉内,传输装置带动载具运动,进而使工件穿过烘干炉的腔体内,烘干炉对工件进行烘干,成本低、安装方便、运行稳定,同时能够满足大产能的需求。

13、本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本技术而了解。

14、为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种载具,其特征在于,包括:若干传输组件;其中各所述传输组件依次排列,且各所述传输组件的两侧与对应的链条连接;所述传输组件上开设有若干承载位,以用于承载工件;所述传输组件包括:底板和若干夹持板;所述底板的两端与对应的链条连接,各所述夹持板依次排列在底板上;所述夹持板的上部开设有凹口,以形成所述承载位。

2.如权利要求 1 所述的载具,其特征在于,所述凹口两侧分别设置有相应限位部,且两个所述限位部呈对称设置,以用于将工件限位在所述凹口内。

3.如权利要求 2 所述的载具,其特征在于,所述限位部由夹持板顶部向上凸起形成。

4.如权利要求 1 所述的载具,其特征在于,所述底板上设置有支撑板,所述支撑板纵向设置;各所述夹持板与支撑板固定,且所述支撑板的高度低于凹口的最低端。

5.如权利要求 4 所述的载具,其特征在于,所述夹持板上开设有至少两个安装孔,以用于固定所述夹持板与支撑板。

6.如权利要求 4 所述的载具,其特征在于,所述支撑板上开设有若干缝槽,以用于插入对应的所述夹持板。

7.如权利要求 1 所述的载具,其特征在于,所述底板分为第一板部和两第二板部;两所述第二板部分别固定于第一板部两侧;所述第一板部用于安装各夹持板;两所述第二板部与对应的链条连接。

8.如权利要求 7 所述的载具,其特征在于,两所述第二板部的高度低于第一板部的高度;两所述第二板部上分别设有连接孔,所述连接孔内穿入相应连接件与链条连接,且所述连接件与第二板部之间设置有间隙。

9.一种烘干炉,其特征在于,包括:烘干炉本体和如权利要求 1-8 任一项所述的载具;所述载具适于承载工件送入烘干炉本体内。

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【技术特征摘要】

1.一种载具,其特征在于,包括:若干传输组件;其中各所述传输组件依次排列,且各所述传输组件的两侧与对应的链条连接;所述传输组件上开设有若干承载位,以用于承载工件;所述传输组件包括:底板和若干夹持板;所述底板的两端与对应的链条连接,各所述夹持板依次排列在底板上;所述夹持板的上部开设有凹口,以形成所述承载位。

2.如权利要求 1 所述的载具,其特征在于,所述凹口两侧分别设置有相应限位部,且两个所述限位部呈对称设置,以用于将工件限位在所述凹口内。

3.如权利要求 2 所述的载具,其特征在于,所述限位部由夹持板顶部向上凸起形成。

4.如权利要求 1 所述的载具,其特征在于,所述底板上设置有支撑板,所述支撑板纵向设置;各所述夹持板与支撑板固定,且所述支撑板的高度低于凹口的最低端。

5.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:左国军田西林吴勇茂钟文魁
申请(专利权)人:常州捷佳创智能装备有限公司
类型:新型
国别省市:

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