【技术实现步骤摘要】
一种基于定向凝固法铸造多晶硅的工艺
本专利技术涉及一种基于定向凝固法铸造多晶硅的工艺,属于多晶硅
技术介绍
自晶硅太阳能电池发展以来,多晶硅太阳能电池与单晶硅太阳能电池相比就有着独特的优势。在单晶硅太阳能电池的生产中,使用的是高纯单晶硅棒,并且工艺复杂,需要消耗大量电能。另外,将单晶硅棒拉入圆柱体,利用切片制作太阳能电池,太阳能组件利用率低。而多晶硅太阳能电池生产具有工艺简单,成本低廉,能够大规模生产;且多晶硅铸锭炉单台产能大,成品利于切片,材料使用率高,对硅原料的要求也稍低。因此,自80年代起,多晶硅电池成了开发商投资研究的重点。硅料熔融及晶体生长是靠热流传输来实现的,是一种从无序熔体到有序晶体的过程。决定着固液界面的形状,控制生长的速度,进而影响整个晶体质量。合适的晶体生长条件主要是要保持一个合适的相变驱动力场,这里的相变驱动力场就是温度场。铸锭炉内的热场主要是热传导、热对流和热辐射三个部分。热传导描述的是固体内部的热量传导,热对流描述的是流体中的热量传导,热辐射则描述的是加热器向四周的热量传导。 >多晶硅的定向凝固就本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于定向凝固法铸造多晶硅的工艺,其特征在于:其包括以下步骤,步骤一:装料;步骤二:抽真空;步骤三:加热;步骤四:熔化;步骤五:降温拉晶;步骤六:长晶,步骤七:退火,步骤八:冷却。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于定向凝固法铸造多晶硅的工艺,其特征在于:其包括以下步骤,步骤一:装料;步骤二:抽真空;步骤三:加热;步骤四:熔化;步骤五:降温拉晶;步骤六:长晶,步骤七:退火,步骤八:冷却。
2.根据权利要求1所述的一种基于定向凝固法铸造多晶硅的工艺,其特征在于:其包括以下步骤,
步骤一:装料,把多晶硅原料装进石英坩埚中;
步骤二:抽真空,关闭炉腔,启动真空泵系统,抽出坩埚和硅料所携带的水分;
步骤三:加热,控制温度上升至接近1175℃,然后继续加热升温至硅熔点以上;
步骤四:熔化,温度上升到最后的熔化温度1500℃;
步骤五:降温拉晶,在融化过程结束后,将温度由1500℃降到1425℃;
步骤六:长晶,将温度下降到1385℃-1405℃,进入长晶过程;
步骤七:退火,控制退火温度为1300℃,关闭隔热屏使炉内温度分布均匀,进入冷却阶段;
步骤八:当温度降到300℃时,将隔热屏完全打开,排出气体,使炉子完全冷却,完成整个长晶循环。
3.根据权利要求1所述的一种基于定向凝固法铸造多晶硅的工艺,其特征在于:其包括以下步骤,
步骤一:装料,把多晶硅原料装进石英坩埚中;
步骤二:抽真空,关闭炉腔,启动真空泵系统,抽出坩埚和硅料所携带的水分;
步骤三:加热,控制温度上升至接近1175℃,在1175℃时,保持这个温度不变持续一段时间,然后继续加热升温至硅熔点以上,进入融化阶段。
步骤四:熔化,温度上升到最后的熔化温度1500℃,并且保持这个温度持续45min,使硅料完全熔化;
步骤五:降温拉晶,在融化过程结束后,将温度由1500℃降到1425℃,保持1425℃持续15min,准备进入长晶过程;
步骤六:长晶,将温度下降到1385℃-...
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