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本发明公开了一种基于定向凝固法铸造多晶硅的工艺，其包括以下步骤，步骤一：装料，把多晶硅原料装进石英坩埚中；步骤二：抽真空，关闭炉腔，启动真空泵系统；步骤三：加热，控制温度上升至接近1175℃，然后继续加热升温至硅熔点以上；步骤四：熔化，温度...
该专利属于新余学院所有，仅供学习研究参考，未经过新余学院授权不得商用。

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