一种显示基板及其制备方法和显示面板技术

本发明专利技术涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示基板及其制备方法和显示面板。用于提高显示基板的平坦化效果。本发明专利技术实施例提供一种显示基板，包括：衬底、依次设置于所述衬底上的栅金属层、源漏金属层和平坦层；所述栅金属层包括栅极；所述源漏金属层包括源极和漏极；所述栅极、所述源极和所述漏极用于构成薄膜晶体管；所述显示基板还包括设置于所述源漏金属层远离所述衬底的表面，且距离所述衬底最高位置处的辅助图案，所述辅助图案与所述平坦层接触；所述辅助图案的材料包括疏油材料。本发明专利技术实施例用于提高显示基板的平坦化效果。

A display substrate and its preparation method and display panel

【技术实现步骤摘要】
一种显示基板及其制备方法和显示面板
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种显示基板及其制备方法和显示面板。
技术介绍
打印OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)技术相比蒸镀OLED技术具有更好的寿命以及更优的器件性能，是大尺寸OLED显示技术的量产发展方向。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于，提供一种显示基板及其制备方法和显示面板。用于提高显示基板的平坦化效果。为达到上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一方面，本专利技术实施例提供一种显示基板，包括：衬底、依次设置于所述衬底上的栅金属层、源漏金属层和平坦层；所述栅金属层包括栅极；所述源漏金属层包括源极和漏极；所述栅极、所述源极和所述漏极用于构成薄膜晶体管；所述显示基板还包括设置于所述源漏金属层远离所述衬底的表面，且距离所述衬底最高位置处的辅助图案，所述辅助图案与所述平坦层接触；所述辅助图案的材料包括疏油材料。可选的，所述辅助图案为单层结构，所述辅助图案的材料为有机光刻胶材料或者无机材料；或者，所述辅助图案为多层结构，包括沿远离衬底的方向依次层叠设置的第一子层、第二子层和第三子层，所述第一子层的材料为无机材料，所述第二子层的材料为双亲材料，所述第三子层的材料为有机光刻胶材料。可选的，所述平坦层包括沿远离衬底的方向依次设置的第一平坦子层和第二平坦子层，其中，所述第二平坦子层覆盖所述第一平坦子层和所述辅助图案。可选的，所述第一平坦子层和所述第二平坦子层的材料均为有机材料；所述平坦层还包括第一间隔层，所述第一间隔层设置于所述第一平坦子层和第二平坦子层之间，且所述第一间隔层的材料为无机材料。可选的，所述第一间隔层的厚度为500-1000埃。可选的，所述显示基板具有显示区，所述显示区包括多个亚像素区；所述显示基板还包括设置于所述平坦层远离所述衬底一侧，且位于显示区的多个发光器件，以及像素界定层；所述像素界定层呈网格状，所述发光器件一一对应的设置与一个网格内；所述发光器件包括第一电极和第二电极，所述第一电极设置于所述平坦层和第二电极之间；所述薄膜晶体管包括一一对应的设置于每个所述亚像素区的驱动晶体管，所述第一电极和所述驱动晶体管的漏极通过设置于所述平坦层中的第一过孔电连接。可选的，所述平坦层和所述发光器件之间还设置有一绝缘层，所述绝缘层中设置有多个第二过孔，所述第二过孔和所述第一过孔的位置一一对应，且沿所述衬底的厚度方向，相对应设置的第一过孔和第二过孔的正投影之间具有交叠，所述绝缘层的材料为无机材料。另一方面，本专利技术实施例提供一种显示面板，包括如上所述的显示基板。再一方面，本专利技术实施例提供一种显示基板的制备方法，包括：在衬底上依次形成栅金属层、源漏金属层和平坦层，所述栅金属层包括栅极；所述源漏金属层包括源极和漏极；所述栅极、所述源极和所述漏极用于构成薄膜晶体管；所述制备方法还包括：在所述源漏金属层远离衬底的表面，且距离所述衬底最高位置处形成辅助图案，使所述辅助图案与所述平坦层接触，所述辅助图案的材料包括疏油材料。可选的，在所述辅助图案的材料为有机光刻胶材料的情况下，在所述源漏金属层远离衬底的表面，且距离所述衬底最高位置处形成辅助图案；包括：在所述源漏金属层远离衬底的表面形成光刻胶材料层，直接通过曝光、显影、刻蚀工艺形成所述辅助图案；在所述辅助图案的材料包括无机材料的情况下，在所述源漏金属层远离衬底的表面，且距离所述衬底最高位置处形成辅助图案；包括：在所述源漏金属层远离衬底的表面形成无机材料层，并依次在所述无机材料层上形成双亲材料层和光刻胶层，通过曝光、显影、刻蚀工艺形成所述辅助图案。可选的，在所述平坦层包括第一平坦子层和第二平坦子层，且所述第一平坦子层和所述第二平坦子层的材料均为有机材料的情况下；形成所述平坦层，包括：在形成辅助图案的衬底上形成第一平坦子层，并通过非水平接触方式在所述第一平坦子层和所述辅助图案上形成第二平坦子层；或者，在形成辅助图案的衬底上形成第一平坦子层，在所述第一平坦子层和所述辅助图案上形成第一间隔层，在所述第一间隔层上形成所述第二平坦子层，所述第一间隔层的材料为无机材料。可选的，在所述显示基板还包括多个发光器件，该发光器件包括第一电极和第二电极，且所述薄膜晶体管包括一一对应的设置与每个亚像素区的驱动晶体管的情况下；所述制备方法还包括：通过曝光、刻蚀工艺在所述平坦层中形成用于电连接所述第一电极和驱动晶体管的漏极的第一过孔。可选的，通过曝光、刻蚀工艺在所述平坦层中形成用于电连接所述第一电极和驱动晶体管的漏极的第一过孔，包括：通过非水平接触方式在所述平坦层上形成光刻胶，直接通过曝光、刻蚀工艺在所述平坦层中形成所述第一过孔；或者，在所述平坦层上形成第二间隔层，通过曝光、刻蚀工艺在所述第二间隔层上形成多个第二过孔，并在形成有第二过孔的所述第二间隔层的掩膜下，在所述平坦层中形成所述第一过孔，所述第二间隔层的材料为无机材料。可选的，所述第二间隔层的材料为绝缘材料或金属材料。本专利技术实施例提供一种显示基板及其制备方法和显示面板。通过在源漏金属层远离衬底的表面，且距离所述衬底最高位置处设置辅助图案，由于该辅助图案的材料包括疏油材料，因此，在设置有该辅助图案的衬底上制作平坦层时，为了提高平坦化程度，利用平坦化材料为有机材料，在进行平坦化时，由于疏油材料的存在，能够使平坦化材料填充在较低位置，在最高位置处不会进行留存，与直接在衬底上制作平坦层，原先较高部分仍然具有平坦化材料留存，以及原先较低部分的平坦化材料有毛细现象，使得平坦化材料具有形貌跟随，即原先较高部分相对于原先较低部分更高相比，能够使平坦化材料优先填充在较低位置，从而能够提高平坦化效果。尤其适用于大尺寸面板中为了降低压降，将栅金属层和源漏金属层的布线加厚，使得高低起伏增大的情况。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种显示面板的俯视结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的一种基于图1中A-A’方向的剖视结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的另一种基于图1中A-A’方向的剖视结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的另一种基于图1中A-A’方向的剖视结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的另一种基于图1中A-A’方向的剖视结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的另一种基于图1中A-A’方向的剖视结构示意图；图7为本专利技术实施例提供的另一种基于图1中A-A’方向的剖视结构示意图；图8为本专利技术实施例提供的一种显示基板的制备方法的流程示意图；图9为本专利技术实施例提供的一种在衬底上依次形成栅金属层和源漏金属层后的结构示意图；图10为本专利技术实施例提供的一种基于图9形成辅助图案的结构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示基板，其特征在于，包括：衬底、依次设置于所述衬底上的栅金属层、源漏金属层和平坦层；所述栅金属层包括栅极；所述源漏金属层包括源极和漏极；所述栅极、所述源极和所述漏极用于构成薄膜晶体管；/n所述显示基板还包括设置于所述源漏金属层远离所述衬底的表面，且距离所述衬底最高位置处的辅助图案，所述辅助图案与所述平坦层接触；所述辅助图案的材料为疏油材料。/n

【技术特征摘要】
1.一种显示基板，其特征在于，包括：衬底、依次设置于所述衬底上的栅金属层、源漏金属层和平坦层；所述栅金属层包括栅极；所述源漏金属层包括源极和漏极；所述栅极、所述源极和所述漏极用于构成薄膜晶体管；
所述显示基板还包括设置于所述源漏金属层远离所述衬底的表面，且距离所述衬底最高位置处的辅助图案，所述辅助图案与所述平坦层接触；所述辅助图案的材料为疏油材料。


2.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，
所述辅助图案为单层结构，所述辅助图案的材料为有机光刻胶材料或者无机材料；或者
所述辅助图案为多层结构，包括沿远离衬底的方向依次层叠设置的第一子层、第二子层和第三子层，所述第一子层的材料为无机材料，所述第二子层的材料为双亲材料，所述第三子层的材料为有机光刻胶材料。


3.根据权利要求1或2所述的显示基板，其特征在于，
所述平坦层包括沿远离衬底的方向依次设置的第一平坦子层和第二平坦子层，其中，所述第二平坦子层覆盖所述第一平坦子层和所述辅助图案。


4.根据权利要求3所述的显示基板，其特征在于，
所述第一平坦子层和所述第二平坦子层的材料均为有机材料；
所述平坦层还包括第一间隔层，所述第一间隔层设置于所述第一平坦子层和第二平坦子层之间，且所述第一间隔层的材料为无机材料。


5.根据权利要求4所述的显示基板，其特征在于，
所述第一间隔层的厚度为500-1000埃。


6.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述显示基板具有显示区，所述显示区包括多个亚像素区；
所述显示基板还包括设置于所述平坦层远离所述衬底一侧，且位于显示区的多个发光器件，以及像素界定层；所述像素界定层呈网格状，所述发光器件一一对应的设置与一个网格内；
所述发光器件包括第一电极和第二电极，所述第一电极设置于所述平坦层和第二电极之间；
所述薄膜晶体管包括一一对应的设置于每个所述亚像素区的驱动晶体管，所述第一电极和所述驱动晶体管的漏极，通过设置于所述平坦层和所述辅助图案中的第一过孔电连接。


7.根据权利要求6所述的显示基板，其特征在于，
所述平坦层和所述发光器件之间还设置有一绝缘层，所述绝缘层中设置有多个第二过孔，所述第二过孔和所述第一过孔的位置一一对应，且沿所述衬底的厚度方向，相对应设置的第一过孔和第二过孔的正投影之间具有交叠，所述绝缘层的材料为无机材料。


8.一种显示面板，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的显示基板。


9.一种显示基板的制备方法，其特征在于，包括：
在衬底上依次形成栅金属层、源漏金属层和平坦层，所述栅金...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建业，宋晓欣，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11