一种半导体生产检测装置制造方法及图纸

技术编号:23232217 阅读:18 留言:0更新日期:2020-02-04 15:07
本发明专利技术公开了一种半导体生产检测装置,包括底板、固定架、托板、第一电动推杆、连接板、检测头、齿杆、传动齿轮、齿条、转板、固定板、第一弹簧、推板、导板、第一电机、齿板、滑块、第二电机、输出齿轮、第二电动推杆、横杆、夹板、第二弹簧、连接杆、限位块、下料板和连接轴。本发明专利技术结构简单,操作方便,通过托板的设计方便对半导体进行放置,有利于进行输送,并通过连接板底部设置的若干个检测头方便进行多个半导体进行连续检测;在检测出不合格产品后,通过滑块带动夹板的移动方便对产品进行定位,有利于不合格产品的取出;通过夹板的移动和转动方便将检测后的半导体进行取出,并通过下料板的设计方便对检测的不合格产品进行下料。

A testing device for semiconductor production

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产检测装置
本专利技术涉及一种检测装置,具体是一种半导体生产检测装置,属于半导体应用

技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连,常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种。目前的半导体是指在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,但是,对于半导体生产检测装置来说,由于在进行半导体生产时需要进行检测,造成操作的不便,也不利于对多个半导体进行同时检测;且在检测时不利于半导体的输送,进行检测后也不利于不合格品的取出,不利于进行分类;且在进行检测处产品为不合格时,不利于进行取出结构的定位,不利于进行操作,影响了操作效率。因此,针对上述问题提出一种半导体生产检测装置。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种半导体生产检测装置。本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的,一种半导体生产检测装置,包括安装在底板顶部的固定架、检测机构、移动机构和下料机构;所述检测机构包括第一电动推杆、连接板、检测头、齿杆和传动齿轮,所述固定架底部与第一电动推杆固定连接,所述第一电动推杆底端与连接板固定连接,且连接板底部与检测头固定连接,所述连接板底面与齿杆转动连接,所述齿杆与传动齿轮啮合连接,且传动齿轮与齿条啮合连接,所述齿条与托板底部固定连接,所述固定架侧壁与转板转动连接,且底板顶面与导板固定连接;所述移动机构包括第一电机齿板和滑块,所述固定架外壁与第一电机固定连接,所述第一电机输出端与齿板固定连接,且齿板与滑块内部贯穿连接,所述滑块顶面与第二电机固定连接,所述第二电机输出端与输出齿轮固定连接,且滑块底面与第二电动推杆固定连接;所述下料机构包括横杆和夹板,所述第二电动推杆底端与横杆固定连接,所述横杆端部与夹板转动连接,且夹板之间通过第二弹簧固定连接,所述夹板中部与连接杆滑动连接,且连接杆端部与限位块固定连接,所述固定架侧壁与下料板固定连接。优选的,所述固定架呈U形结构,所述固定架底端内部设有两个第一电动推杆,且第一电动推杆底端的连接板设有若干个检测头。优选的,所述底板顶面与固定板固定连接,所述固定板侧壁通过第一弹簧与推板固定连接,所述推板与底板顶面滑动连接,且推板接触有转板底部。优选的,所述导板的数量为两个,两个所述导板内部开设有底面为平行、顶面为弧形结构的滑槽,且导板开设的滑槽内部与齿杆中部固接的连接轴滑动连接。优选的,所述转板的数量为两个,每个转板都位于推板以及齿杆之间,所述转板呈倾斜机构,且转板接触有齿杆。优选的,所述托板顶面开设有若干个半导体放置的凹槽,每个凹槽两侧分别开设有两个倾斜结构开口,且每排凹槽都对应有检测头。优选的,所述滑块呈方形空心结构,所述滑块与齿板滑动连接,且齿板与输出齿轮啮合连接。优选的,所述横杆底端两侧分别与两个夹板转动连接,两个所述夹板底端接触有托板开设的开口侧壁,且两个夹板侧壁分别与两个限位块滑动连接。优选的,所述下料板呈F形结构,且所述下料板底端分别接触有连接杆的两端。优选的,所述齿板与固定架中部转动连接,所述齿板与滑块滑动连接,且滑块顶部开设有用于输出齿轮转动的通孔。本专利技术的有益效果是:1、本专利技术结构简单,操作方便,通过托板的设计方便对半导体进行放置,有利于进行输送,并通过连接板底部设置的若干个检测头方便进行多个半导体进行连续检测,提高了检测的效率;2、本专利技术在检测出不合格产品后,通过滑块带动夹板的移动方便对产品进行定位,有利于不合格产品的取出,方便进行有效分离,有利于半导体检测后的分类;3、本专利技术通过夹板的移动和转动方便将检测后的半导体进行取出,并通过下料板的设计方便对检测的不合格产品进行下料,提高了操作效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。图1为本专利技术整体立体结构示意图;图2为本专利技术正视结构示意图;图3为本专利技术侧视结构示意图;图4为本专利技术导板处侧视结构示意图。图中:1、底板,2、固定架,3、托板,4、第一电动推杆,5、连接板,6、检测头,7、齿杆,8、传动齿轮,9、齿条,10、转板,11、固定板,12、第一弹簧,13、推板,14、导板,15、第一电机,16、齿板,17、滑块,18、第二电机,19、输出齿轮,20、第二电动推杆,21、横杆,22、夹板,23、第二弹簧,24、连接杆,25、限位块,26、下料板,27、连接轴。具体实施方式为使得本专利技术的专利技术目的、特征、优点能够更加的明显和易懂,下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,下面所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而非全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本专利技术保护的范围。下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。在本专利技术的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。请参阅图1-4所示,一种半导体生产检测装置,包括安装在底板1顶部的固定架2、检测机构、移动机构和下料机构;所述检测机构包括第一电动推杆4、连接板5、检测头6、齿杆7和传动齿轮8,所述固定架2底部与第一电动推杆4固定连接,所述第一电动推杆4底端与连接板5固定连接,用于带动检测头6移动,且连接板5底部与检测头6固定连接,所述连接板5底面与齿杆7转动连接,所述齿杆7与传动齿轮8啮合连接,且传动齿轮8与齿条9啮合连接,所述齿条9与托板3底部固定连接,所述固定架2侧壁与转板10转动连接,且底板1顶面与导板14固定连接;所述移动机构包括第一电机15齿板16和滑块17,所述固定架2外壁与第一电机15固定连接,所述第一电机15输出端与齿板16固定连接,且齿板16与滑块17内部贯穿连接,所述滑块17顶面与第二电机18固定连接,所述第二电机18输出端与输出齿轮19固定连接,且滑块17底面与第二电动推杆20固定连接,用于夹板22的移动;所述下料机构包括横杆21和夹板22,所述第二电动推杆20底端与横杆21固定连接,所述横杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体生产检测装置,其特征在于:包括安装在底板(1)顶部的固定架(2)、检测机构、移动机构和下料机构;/n所述检测机构包括第一电动推杆(4)、连接板(5)、检测头(6)、齿杆(7)和传动齿轮(8),所述固定架(2)底部与第一电动推杆(4)固定连接,所述第一电动推杆(4)底端与连接板(5)固定连接,且连接板(5)底部与检测头(6)固定连接,所述连接板(5)底面与齿杆(7)转动连接,所述齿杆(7)与传动齿轮(8)啮合连接,且传动齿轮(8)与齿条(9)啮合连接,所述齿条(9)与托板(3)底部固定连接,所述固定架(2)侧壁与转板(10)转动连接,且底板(1)顶面与导板(14)固定连接;/n所述移动机构包括第一电机(15)齿板(16)和滑块(17),所述固定架(2)外壁与第一电机(15)固定连接,所述第一电机(15)输出端与齿板(16)固定连接,且齿板(16)与滑块(17)内部贯穿连接,所述滑块(17)顶面与第二电机(18)固定连接,所述第二电机(18)输出端与输出齿轮(19)固定连接,且滑块(17)底面与第二电动推杆(20)固定连接;/n所述下料机构包括横杆(21)和夹板(22),所述第二电动推杆(20)底端与横杆(21)固定连接,所述横杆(21)端部与夹板(22)转动连接,且夹板(22)之间通过第二弹簧(23)固定连接,所述夹板(22)中部与连接杆(24)滑动连接,且连接杆(24)端部与限位块(25)固定连接,所述固定架(2)侧壁与下料板(26)固定连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产检测装置,其特征在于:包括安装在底板(1)顶部的固定架(2)、检测机构、移动机构和下料机构;
所述检测机构包括第一电动推杆(4)、连接板(5)、检测头(6)、齿杆(7)和传动齿轮(8),所述固定架(2)底部与第一电动推杆(4)固定连接,所述第一电动推杆(4)底端与连接板(5)固定连接,且连接板(5)底部与检测头(6)固定连接,所述连接板(5)底面与齿杆(7)转动连接,所述齿杆(7)与传动齿轮(8)啮合连接,且传动齿轮(8)与齿条(9)啮合连接,所述齿条(9)与托板(3)底部固定连接,所述固定架(2)侧壁与转板(10)转动连接,且底板(1)顶面与导板(14)固定连接;
所述移动机构包括第一电机(15)齿板(16)和滑块(17),所述固定架(2)外壁与第一电机(15)固定连接,所述第一电机(15)输出端与齿板(16)固定连接,且齿板(16)与滑块(17)内部贯穿连接,所述滑块(17)顶面与第二电机(18)固定连接,所述第二电机(18)输出端与输出齿轮(19)固定连接,且滑块(17)底面与第二电动推杆(20)固定连接;
所述下料机构包括横杆(21)和夹板(22),所述第二电动推杆(20)底端与横杆(21)固定连接,所述横杆(21)端部与夹板(22)转动连接,且夹板(22)之间通过第二弹簧(23)固定连接,所述夹板(22)中部与连接杆(24)滑动连接,且连接杆(24)端部与限位块(25)固定连接,所述固定架(2)侧壁与下料板(26)固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种半导体生产检测装置,其特征在于:所述固定架(2)呈U形结构,所述固定架(2)底端内部设有两个第一电动推杆(4),且第一电动推杆(4)底端的连接板(5)设有若干个检测头(6)。


3.根据权利要求1所述的一种半导体生产检测装置,其特征在于:所述底板(1)顶面与固定板(11)固定连接,所述固定板(11...

【专利技术属性】
技术研发人员:周林
申请(专利权)人:江苏佳晟精密设备科技有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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