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本发明公开了一种半导体生产检测装置，包括底板、固定架、托板、第一电动推杆、连接板、检测头、齿杆、传动齿轮、齿条、转板、固定板、第一弹簧、推板、导板、第一电机、齿板、滑块、第二电机、输出齿轮、第二电动推杆、横杆、夹板、第二弹簧、连接杆、限位块...
该专利属于江苏佳晟精密设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏佳晟精密设备科技有限公司授权不得商用。

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