一种晶体表面平整度检测设备及其使用方法技术

本发明专利技术涉及晶体检测领域，具体涉及一种晶体表面平整度检测设备及其使用方法，包括检测平台及设于检测平台上的检测箱；与检测箱相对应的放置框、设于放置框内的抵持部；设于检测箱内的检测系统，检测箱的底部设有开口；设于放置框两侧的延伸杆、与延伸杆相对应的侧块，侧块的侧面设有转孔，延伸杆与转孔转动连接；平板、设于检测平台上的驱动部，驱动部用于驱动平板沿着检测平台运动；设于平板上的调整部，调整部用于驱动对应的放置框远离开口，并在放置框远离开口后，驱动放置框转动180度。通过本发明专利技术，可在检测系统对晶体的一个面检测完成后，快速的将晶体的另一个面切换至正对于检测系统的位置进行检测，提高了检测效率。提高了检测效率。提高了检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶体表面平整度检测设备及其使用方法


[0001]本专利技术涉及晶体检测领域，尤其涉及一种晶体表面平整度检测设备及其使用方法。

技术介绍

[0002]晶体能实现电、磁、光、声和力等的交互作用和转换，它是近代科学技术发展中不可缺少的重要材料，加工后的晶体，一般需要对其平整度进行测量，但是本申请人发现，在通过检测系统对晶体的一个面检测完成后，还需要取出晶体，然后将晶体转到另一个面，使得另一个面正对检测系统后，再放置到检测系统中进行测量，检测效率低下。
[0003]在申请号为CN 202120863519.8，专利名称为一种用于测量贴合在陶瓷盘上晶片平整度的工装的专利中，该工装包括承载板，所述承载板上分布有至少三列螺孔，各列螺孔以承载板的中心旋转对称，所述螺孔用于固定支撑脚；所述承载板上还设置有插孔，所述插孔用于固定平整度测试仪；该工装的稳定性好，且不用更换工装即可测量贴合在陶瓷盘上不同尺寸的晶圆表面平整度，但未解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术的目的在于提出一种晶体表面平整度检测设备及其使用方法，以解决在通过检测系统对晶体的一个面检测完成后，还需要取出晶体，然后将晶体转到另一个面，使得另一个面正对检测系统后，再放置到检测系统中进行测量，检测效率低下的问题。
[0005]基于上述目的，本专利技术提供了一种晶体表面平整度检测设备，包括检测平台及设于所述检测平台上的至少一个检测箱，所述晶体表面平整度检测设备还包括：与所述检测箱相对应的放置框、设于所述放置框内的抵持部，所述抵持部用于将晶体固定在放置框内；设于检测箱内的检测系统，所述检测箱的底部设有开口，在晶体位于所述开口处时，所述检测系统对晶体表面平整度进行检测；设于放置框两侧的延伸杆、与所述延伸杆相对应的侧块，所述侧块朝向放置框的侧面设有转孔，所述延伸杆的前端与所述转孔转动连接；平板、设于检测平台上的驱动部，所述驱动部用于驱动所述平板沿着检测平台运动；设于所述平板上的调整部，所述调整部与放置框相对应，调整部用于驱动对应的放置框远离开口，并在放置框远离开口后，驱动放置框转动180度。
[0006]进一步的，所述检测系统包括设于检测箱内的CCD摄像机、点光源、透镜、玻璃镜片以及标准样板，所述标准样板位于开口处，且标准样板呈倾斜设置，所述CCD摄像机正对于开口，所述玻璃镜片位于CCD摄像机和标准样板之间，且玻璃镜片呈倾斜设置，所述透镜位于玻璃镜片的一侧，所述点光源正对于透镜，在点光源发出的光线经过透镜后，光线呈平行
状态，并在经过玻璃镜片反射后，竖直射向晶体表面。
[0007]进一步的，所述抵持部包括：设于放置框内的稳定板，所述放置框的相对的两个侧壁设有稳定槽，所述稳定板的端部与所述稳定槽滑动连接；一端与稳定板的侧表面固定连接的第一弹簧，所述第一弹簧的另一端固定于放置框的内侧壁。
[0008]进一步的，所述驱动部包括：设于平板一侧的至少两个第一电机、设于平板另一侧的固定座，所述第一电机和固定座均固定于检测平台，且所述固定座与第一电机相对应；一端与第一电机的输出轴固定连接的第一螺杆，所述平板设有螺孔，所述第一螺杆与螺孔转动连接，且第一螺杆的另一端与固定座转动连接。
[0009]进一步的，所述晶体表面平整度检测设备还包括：设于平板侧面的第二电机、安装于所述第二电机的输出轴的主锥齿轮；位于所述主锥齿轮两侧的转轴、安装于所述转轴的副锥齿轮、固定于平板侧面的固定块，所述转轴穿过设于所述固定块的轴孔，所述副锥齿轮与主锥齿轮啮合；所述调整部包括：一端与转轴的其中一端固定连接的第二螺杆，所述侧块设有贯穿其侧表面的穿孔，所述第二螺杆穿过所述穿孔；设于穿孔侧壁的侧孔、与所述侧孔滑动连接的弧形板，所述弧形板朝向穿孔的侧面为弧形面，且所述弧形面设有第一螺纹，所述第二螺杆的侧表面设有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹相匹配；一端固定于平板侧面的顶杆，所述侧块设有贯穿其侧表面的穿槽，所述穿槽与侧孔连通，所述弧形板设有贯穿其上下表面的顶槽，所述顶槽与穿槽连通，所述顶杆穿过穿槽和顶槽；设于顶杆侧表面的滑槽、与所述滑槽滑动连接的滑块、一端与所述滑块的侧面固定连接的固定杆，所述滑槽朝向第二螺杆，所述固定杆与设于顶槽侧壁的内壁孔滑动连接；套接于固定杆的第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定于滑块的侧表面，第二弹簧的另一端固定于顶槽的侧壁；安装于延伸杆的驱动锥齿轮；设有通孔的联动锥齿轮，所述通孔贯穿所述联动锥齿轮的上下端面，所述通孔的中轴线与联动锥齿轮的中轴线重合，所述转轴的直径与通孔的直径相等，且转轴穿过通孔；设于通孔内壁的联动块，所述联动块与设于转轴侧表面的侧槽滑动连接；设于平板外侧面的气缸、一端与气缸的输出轴固定连接的连接杆、一端与所述连接杆的侧表面固定连接的第二连杆、顶端与设于联动锥齿轮底端面的转槽转动连接的转杆，所述转杆的底端与所述第二连杆的侧表面固定连接；一端与连接杆的侧表面固定连接的第一连杆、底端与所述第一连杆的侧表面固定连接的推杆，所述推杆的侧表面与顶杆的侧表面接触，且顶杆位于推杆和第二推杆之间，所述推杆的前端面为倾斜斜面，所述倾斜斜面从侧块到联动锥齿轮逐渐向外倾斜，倾斜斜面用于在进入顶槽的过程中，推动弧形板向远离第二螺杆的方向运动。
[0010]进一步的，所述晶体表面平整度检测设备还包括：嵌入连接杆中的嵌块，所述嵌块朝向顶杆的端面设有内孔；与所述内孔滑动连接的插杆，所述插杆的前端延伸至内孔的外部；一端与内孔的底部固定连接的第三弹簧，所述第三弹簧的另一端固定于插杆的后端；固定于内孔底部的第二电磁铁；所述弧形板背向第二螺杆的侧面设有插孔，所述侧孔贯穿侧块背向放置框的侧面，所述插杆与所述插孔相对应。
[0011]进一步的，所述晶体表面平整度检测设备还包括：连接板、一端与弧形板朝向平板的表面固定连接的侧杆，所述侧杆的另一端与所述连接板的侧表面固定连接；设于连接板一端的限位杆，所述限位杆竖直设置，所述延伸杆的侧表面设有表面环槽，所述表面环槽靠近放置框的侧壁设有两个限位槽，两个所述限位槽对称设置，所述转孔侧壁设有底槽，所述限位杆穿过底槽，且在所述限位杆的一端位于表面环槽内时，所述延伸杆在转孔内自由转动；在所述限位杆的一端位于限位槽内，所述延伸杆固定在转孔内。
[0012]为防止放置框在检测过程中以及放置框运力检测箱过程中发生转动，当推杆深入顶槽之前，限位杆的前端位于限位槽内，这样延伸杆将会被固定在转孔内，放置框将会保持稳定，当推杆深入顶槽之后，将会通过弧形板带动限位杆运动到表面环槽内，这样即可通过第二电机带动放置框转动，当放置框转动180度后，气缸就会带动推杆脱离顶槽，这样限位杆的前端将会进入到另一个限位槽内。
[0013]进一步的，所述晶体表面平整度检测设备还包括第一电磁铁和第四弹簧，所述连接板设有贯穿其上下表面的板槽，所述限位杆穿过板槽，且限位杆与板槽滑动连接，所述第一电磁铁固定于板槽朝向放置框的侧壁内，所述第四弹簧的一端固定于板槽朝向放置框的侧壁，第四弹簧的另一端固定于限位杆的侧表面。
[0014]进一步的，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体表面平整度检测设备，包括检测平台及设于所述检测平台上的至少一个检测箱(1)，其特征在于，所述晶体表面平整度检测设备还包括：与所述检测箱(1)相对应的放置框(20)、设于所述放置框(20)内的抵持部，所述抵持部用于将晶体固定在放置框(20)内；设于检测箱(1)内的检测系统，所述检测箱(1)的底部设有开口，在晶体位于所述开口处时，所述检测系统对晶体表面平整度进行检测；设于放置框(20)两侧的延伸杆(33)、与所述延伸杆(33)相对应的侧块(21)，所述侧块(21)朝向放置框(20)的侧面设有转孔(35)，所述延伸杆(33)的前端与所述转孔(35)转动连接；平板(7)、设于检测平台上的驱动部，所述驱动部用于驱动所述平板(7)沿着检测平台运动；设于所述平板(7)上的调整部，所述调整部与放置框(20)相对应，调整部用于驱动对应的放置框(20)远离开口，并在放置框(20)远离开口后，驱动放置框(20)转动180度。2.根据权利要求1所述的一种晶体表面平整度检测设备，其特征在于，所述检测系统包括设于检测箱(1)内的CCD摄像机(2)、点光源(3)、透镜(4)、玻璃镜片(5)以及标准样板(6)，所述标准样板(6)位于开口处，且标准样板(6)呈倾斜设置，所述CCD摄像机(2)正对于开口，所述玻璃镜片(5)位于CCD摄像机(2)和标准样板(6)之间，且玻璃镜片(5)呈倾斜设置，所述透镜(4)位于玻璃镜片(5)的一侧，所述点光源(3)正对于透镜(4)，在点光源(3)发出的光线经过透镜(4)后，光线呈平行状态，并在经过玻璃镜片(5)反射后，竖直射向晶体表面。3.根据权利要求2所述的一种晶体表面平整度检测设备，其特征在于，所述抵持部包括：设于放置框(20)内的稳定板(60)，所述放置框(20)的相对的两个侧壁设有稳定槽(61)，所述稳定板(60)的端部与所述稳定槽(61)滑动连接；一端与稳定板(60)的侧表面固定连接的第一弹簧(59)，所述第一弹簧(59)的另一端固定于放置框(20)的内侧壁。4.根据权利要求3所述的一种晶体表面平整度检测设备，其特征在于，所述驱动部包括：设于平板(7)一侧的至少两个第一电机(14)、设于平板(7)另一侧的固定座(16)，所述第一电机(14)和固定座(16)均固定于检测平台，且所述固定座(16)与第一电机(14)相对应；一端与第一电机(14)的输出轴固定连接的第一螺杆(8)，所述平板(7)设有螺孔，所述第一螺杆(8)与螺孔转动连接，且第一螺杆(8)的另一端与固定座(16)转动连接。5.根据权利要求4所述的一种晶体表面平整度检测设备，其特征在于，所述晶体表面平整度检测设备还包括：设于平板(7)侧面的第二电机(15)、安装于所述第二电机(15)的输出轴的主锥齿轮(13)；位于所述主锥齿轮(13)两侧的转轴(9)、安装于所述转轴(9)的副锥齿轮(10)、固定于平板(7)侧面的固定块(11)，所述转轴(9)穿过设于所述固定块(11)的轴孔，所述副锥齿轮(10)与主锥齿轮(13)啮合；
所述调整部包括：一端与转轴(9)的其中一端固定连接的第二螺杆(12)，所述侧块(21)设有贯穿其侧表面的穿孔(34)，所述第二螺杆(12)穿过所述穿孔(34)；设于穿孔(34)侧壁的侧孔(36)、与所述侧孔(36)滑动连接的弧形板(38)，所述弧形板(38)朝向穿孔(34)的侧面为弧形面，且所述弧形面设有第一螺纹，所述第二螺杆(12)的侧表面设有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹相匹配；一端固定于平板(7)侧面的顶杆(22)，所述侧块(21)设有贯穿其侧表面的穿槽(37)，所述穿槽(37)与侧孔(36)连通，所述弧形板(38)设有贯穿其上下表面的顶槽(46)，所述顶槽(46)与穿槽(37)连通，所述顶杆(22)穿过穿槽(37)和顶槽(46)；设于顶杆(22)侧表面的滑槽(39)、与所述滑槽(39)滑动连接的滑块(40)、一端与所述滑块(40)的侧面固定连接的固定杆(42)，所述滑槽(39)朝向第二螺杆(12)，所述固定杆(42)与设于顶槽(46)侧壁的内壁孔(41)滑动连接；套接于固定杆(42)的第二弹簧(43)，所述第二弹簧(43)的一端固定于滑块(40)的侧表面，第二弹簧(43)的另一端固定于顶槽(46)的侧壁；安装于延伸杆(33)的驱动锥齿轮(...

【专利技术属性】
技术研发人员：周小杰，李融，邱宇俊，
申请(专利权)人：江苏佳晟精密设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：