【技术实现步骤摘要】
机械手臂测试平台
本技术涉及的是机械手臂测试平台。
技术介绍
机械手臂是机械人
中得到最广泛实际应用的自动化机械装置，在工业制造、医学治疗、娱乐服务、军事、半导体制造以及太空探索等领域都能见到。尽管形态各有不同，但都有一个共同的特点，就是能够接受指令精确地定位到三维(或二维)空间上的某一点进行作业。机械手臂也是晶圆研磨设备上用于传送晶圆的重要结构，在生产过程中时常需要对其进行维修来保证生产的稳定进行。现有技术中，机械手臂在维修后仅进行简单传片测试，无法测试出是否存在潜在故障，导致后续生产的稳定性无法得到保证。
技术实现思路
本技术提出的是机械手臂测试平台，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，实现全面有效测试维修后的机械手臂是否存在潜在故障，保证生产稳定进行。本技术的技术解决方案：机械手臂测试平台，其结构包括机架、被测机械手臂、第一传感器组、第二传感器组和第三传感器组，其中机架为长方体形，机架其中三个垂直于水平面的内侧面中部分别设第一传感器组、第二传感器组和第三传感器组，...
【技术保护点】
1.机械手臂测试平台，其特征包括机架(6)、被测机械手臂(5)、第一传感器组(1)、第二传感器组(2)和第三传感器组(3)，其中机架(6)为长方体形，机架(6)其中三个垂直于水平面的内侧面中部分别设第一传感器组(1)、第二传感器组(2)和第三传感器组(3)，机架(6)内中心设被测机械手臂(5)。/n
【技术特征摘要】
1.机械手臂测试平台，其特征包括机架(6)、被测机械手臂(5)、第一传感器组(1)、第二传感器组(2)和第三传感器组(3)，其中机架(6)为长方体形，机架(6)其中三个垂直于水平面的内侧面中部分别设第一传感器组(1)、第二传感器组(2)和第三传感器组(3)，机架(6)内中心设被测机械手臂(5)。
2.如权利要求1所述的机械手臂测试平台，其特征是所述的第一传感器组(1)、第二传感器组(2)和第三传感器组(3)分别由三组每组三个激光距离传感器(4)组成，每组三个激光距离传感器(4)构成XYZ三坐标测试机构，每组激光距离传感器(4)汇总与曲线收集模块信号连接，曲线收集模块与主控模块信号连接，主控模块与手臂控制单元通过网络信号连接，手臂控制单元与被测机械手臂(5)信号连接；
所述的激光距离传感器(4)用于收集被测机械手臂(5)的距离信息并传输给曲线收集模块；
所述的曲线收集模块用于接收激光距离传感器(4)传输来的距离信息并传输给主控模块；
所述的主...
【专利技术属性】
技术研发人员：张兆伟，夏俊东，何蓬勃，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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