一种太阳能电池片激光刻蚀装置及其加工系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种太阳能电池片激光刻蚀装置及其加工系统，属于太阳能电池片加工技术领域。本实用新型专利技术包括用于承载太阳能电池片的工作台、用于控制激光光路从而对太阳能电池片进行刻蚀的激光组件，以及除尘机构；所述除尘机构包括除尘匣、吸尘嘴，所述除尘匣罩在工作台的上表面，该除尘匣的一侧壁与吸尘嘴连通，除尘匣上相对的另一侧壁上设有吹气管。本实用新型专利技术通过进气管吹气，吸尘嘴吸气，两者共同配合将激光刻蚀过程中产生的粉尘除去，同时除尘匣的设计防止了粉尘的扩散，避免加工过程产生的粉尘四散飞扬的现象发生。

A laser etching device for solar cell and its processing system

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池片激光刻蚀装置及其加工系统
本技术涉及太阳能电池片加工
，更具体地说，涉及一种太阳能电池片激光刻蚀装置及其加工系统。
技术介绍
在能源紧张的今天，太阳能电池作为一种清洁能源，其应用范围越来越广。众所周知，太阳能电池，又叫光生伏打电池，是能够将光转换成电特性的一种半导体器件，它可以把照射在其表面的太阳能辐射能转换成直流电，太阳能电池片是光伏发电系统中的最基本的组件，也是太阳能光伏发电系统中的核心部分。目前，太阳能电池片加工行业不断成熟，对太阳能电池片的加工生产也越来越严格，随着光伏太阳能电池片生产效率的要求越来越高的同时，行业内对如何提高太阳能电池片的转换效率也投入了大量研究，传统的太阳能电池片激光加工设备采用化学刻蚀工艺，其自动化程度低、污染环境、后期使用成本高，加工过程中投入的人力物力较大，生产效率较低，无法满足现代市场的需求；随着科技的发展，高效的激光加工工艺不仅可以提高太阳能电池片转换效率，而且能够降低了设备整体成本、减少了对环境的污染。现有技术中采用激光对太阳能电池片进行加工已经成为行业发展的主流，但是在激光加工过程中，仍然存在激光加工环境粉尘较多的问题，进而影响激光加工。经检索，中国专利申请号：201110190744.0，授权公告日为2013年1月9日，专利技术创造名称为：可提升单晶硅太阳能电池效率的绿光激光脉冲形成硅晶片表面粗糙结构化的方法，该申请案包括单晶硅晶片、硅晶片载具、绿光脉冲型激光器、脉冲型激光器定位平台、粉尘排气孔、排气管路与帮浦，其方法系将硅晶片移动至硅晶片载具，绿光脉冲型激光器开启并在硅晶片上蚀刻出粗糙结构化的凹槽，接着绿光脉冲型激光器将硅晶片整面蚀刻完成，该过程中持续以帮浦系统将硅晶片粉尘去除。该申请案在激光切割过程中，加工过程产生的硅晶片粉尘由帮浦将粉尘从排气孔、排气管路中吸出，但该申请案只是通过帮浦系统对加工过程中产生的粉尘进行去除，其去除效果较差，需进一步改进。又如，中国专利申请号：201510095122.8，申请公布日为2016年2月10日，专利技术创造名称为：一种背钝化太阳能电池的背面激光开膜方法及其系统，该申请案包括包括激光开槽装置和加工系统，所述加工系统为带压力气体吹扫风刀，带压力气体吹扫风刀设置于激光开槽的起点位置，并在激光开槽的终点位置设有抽尘装置。该申请案虽然通过加工系统进行吹扫以及抽尘装置进行抽尘，但由于加工系统采用的是带压力的气体进行吹扫，刻蚀后部分粉尘会被吹散到四周，造成环境污染，有待进一步改进。
技术实现思路
1.技术要解决的技术问题本技术的目的在于克服现有技术中太阳能电池片刻蚀时粉尘飞扬的问题，提供了一种太阳能电池片激光刻蚀装置及其加工系统；本技术在工作台的上方设有一除尘匣，并在除尘匣的两侧分别设有吹气管和吸尘嘴，通过进气管吹气，吸尘嘴吸气，两者共同配合将激光刻蚀过程中产生的粉尘除去，同时除尘匣的设计防止了粉尘的扩散。2.技术方案为达到上述目的，本技术提供的技术方案为：本技术的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，包括用于承载太阳能电池片的工作台、用于控制激光光路从而对太阳能电池片进行刻蚀的激光组件，以及除尘机构；所述除尘机构包括除尘匣、吸尘嘴，所述除尘匣罩在工作台的上表面，该除尘匣的一侧壁与吸尘嘴连通，除尘匣上相对的另一侧壁上设有吹气管。更进一步地，所述除尘匣顶部开设有光路孔，用于通过激光组件产生的激光。更进一步地，所述的除尘匣上设置有进风口，该进风口位于吹气管所在侧，并与吹气管相互配合。更进一步地，所述的吹气管上间隔设置多个吹气孔，且吹气孔的吹气方向倾斜向下。更进一步地，所述的吹气管的两端分别设有一挂耳，通过该挂耳调节吹气管的高度。更进一步地，所述工作台为旋转工作台，该旋转工作台包括承载台、旋转轴和旋转底盘，所述旋转轴下端设置于旋转底盘上，该旋转轴上端设置所述承载台，该承载台用于承载太阳能电池片。更进一步地，所述旋转轴上端沿其周向至少等间隔设置有2个承载台。更进一步地，所述的激光组件包括绿光激光器、第一反射镜、第二反射镜、绿光扩束镜、整形镜、绿光振镜、绿光场镜，其激光光路传输路径为：由绿光激光器发射激光，依次经第一反射镜、第二反射镜、绿光扩束镜、整形镜、绿光振镜和绿光场镜，最终送至除尘匣中对太阳能电池片进行加工。本技术的一种太阳能电池片激光刻蚀装置的加工系统，包括上料机构、搬运机构、下料机构和上述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置；其中，上料机构上的太阳能电池片通过搬运机构运至旋转工作台，并在刻蚀工位处通过激光组件进行加工；加工后的太阳能电池片由搬运机构运至下料机构。更进一步地，所述的搬运机构包括转动轴、摆臂和吸盘；其中，转动轴安装于底板上，所述的摆臂一端与转动轴相连，另一端与吸盘相连，吸盘用于吸附太阳能电池片。更进一步地，所述承载台设置有4个，且4个承载台等间隔设置。更进一步地，所述旋转工作台的四周设有上下料工位、对位识别工位、刻蚀工位和光学检测工位；其中上下料工位用于放置待加工的太阳能电池片或加工后的太阳能电池片，便于摆臂上的吸盘吸附；刻蚀工位位于除尘匣540的下方，用于对太阳能电池片300进行刻蚀加工；对位识别工位处设有检测装置，用于检测太阳能电池片的位置；光学检测工位上设有光学检测装置，用于检测激光刻蚀后的太阳能电池片。更进一步地，所述检测装置设置在对位识别工位的正上方，该检测装置包括微距抗震镜头和表面缺陷检测镜头；其中，微距抗震镜头的镜头下方设有环形光源，用于Mark点识别，表面缺陷检测镜头位于对位识别工位中间的正上方，用于对太阳能电池片的表面缺陷进行检测。更进一步地，所述摆臂设有两根，两根摆臂之间通过支杆相连；转动轴转动时，两根摆臂同步转动。3.有益效果采用本技术提供的技术方案，与已有的公知技术相比，具有如下有益效果：(1)、本技术的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其刻蚀工位处设有一除尘匣，并在除尘匣的一侧壁上设有吸尘嘴，另一侧壁上设有吹气管，两者相对设置，当吹气管向除尘匣内吹气时，处于除尘匣内部的气体在吹气管吹出的气体扰动作用下，气体运动，同时，相对侧的吸尘嘴吸气，在负压的作用下，除尘匣内部的气体将太阳能电池片激光刻蚀时产生的粉尘全部带入到吸尘嘴中，将粉尘除去，避免了粉尘四散飞扬的问题，整个过程中，由于除尘匣的限制，也避免了粉尘扩散至工作台外而导致的环境污染。(2)、本技术的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，在除尘匣侧壁底端上设有一进风口，该进风口与吹气管相互配合，吹气管安装在进风口位置，便于进气，另一侧通过吸尘嘴向外排气，与外界相通的空间较小，能够有效避免粉尘四散飞扬的现象发生，有利于整个装置的工作。(3)、本技术的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，为了适应加工不同型号的太阳能电池片，在吹气管的两端分别设有一挂耳，通过调节挂耳的高度，使得吹气管整体的高度发生改变，有利于加工不同型号的太阳能电池片。(4)、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能电池片激光刻蚀装置，包括用于承载太阳能电池片(300)的工作台、用于控制激光光路从而对太阳能电池片(300)进行刻蚀的激光组件(600)，以及除尘机构(500)；其特征在于：所述除尘机构(500)包括除尘匣(540)、吸尘嘴(521)，所述除尘匣(540)罩在工作台的上表面，该除尘匣(540)的一侧壁与吸尘嘴(521)连通，除尘匣(540)上相对的另一侧壁上设有吹气管(532)。/n

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池片激光刻蚀装置，包括用于承载太阳能电池片(300)的工作台、用于控制激光光路从而对太阳能电池片(300)进行刻蚀的激光组件(600)，以及除尘机构(500)；其特征在于：所述除尘机构(500)包括除尘匣(540)、吸尘嘴(521)，所述除尘匣(540)罩在工作台的上表面，该除尘匣(540)的一侧壁与吸尘嘴(521)连通，除尘匣(540)上相对的另一侧壁上设有吹气管(532)。


2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述除尘匣(540)顶部开设有光路孔，用于通过激光组件(600)产生的激光。


3.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述的除尘匣(540)上设置有进风口(541)，该进风口(541)位于吹气管(532)所在侧，并与吹气管(532)相互配合。


4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述的吹气管(532)上间隔设置多个吹气孔，且吹气孔的吹气方向倾斜向下。


5.根据权利要求3所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述的吹气管(532)的两端分别设有一挂耳(533)，通过该挂耳(533)调节吹气管(532)的高度。


6.根据权利要求1或4或5所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述工作台为旋转工作台(200)，该旋转工作台(200)包括承载台(201)、旋转轴(202)和旋转底盘(203)，所述旋转轴(202)下端设置于旋转底盘(203)上，该旋转轴(202)上端设置所述承载台(201)，该承载台(201)用于承载太阳能电池片(300)。


7.根据权利要求6所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述旋转轴(202)上端沿其周向至少等间隔设置有2个承载台(201)。


8.根据权利要求1或4或5所述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其特征在于：所述的激光组件(600)包括绿光激光器(601)、第一反射镜(602)、第二反射镜(603)、绿光扩束镜(604)、整形镜(605)、绿光振镜(606)、绿光场镜(607)，其激光光路传输路径为：由绿光激光器(601)发射激光，依次经第一反射镜(602)、第二反射镜(603)、绿光扩束镜(604)、整形镜(605)、绿光振镜(606)和绿光场镜(607)，最终送至除尘匣(54...

【专利技术属性】
技术研发人员：查俊，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32