本实用新型专利技术提供一种气体供气控制装置，其主要技术特征在于包括连通第一管道和第二管道的第三管道以及第三管道之上的手动气阀。在电磁阀或可编程逻辑控制器模块失效的紧急情况下，通过手动选择手动气阀的开关，从而选择控制气阀的导通与关闭，等效实现电磁阀控制的功能。因此本实用新型专利技术所提供的供气控制装置能在特殊紧急故障情况下能保证快速强制正常供气，并且供气控制装置结构相对简单。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及供气装置，尤其涉及一种供气控制装置。
技术介绍
在晶圓制造厂中，各种设备需要使用各种不同的特种气体，因此传输特 殊气体的管道也很多。特殊气体一般通过管道上的气阀控制管道是否导通。 如图1所示，通过两个气阀同时控制特殊气体的流通，气阀的开关通过一定 气压的气源输入气阀控制，气源输入气阀一和气阀二，气阀一和气阀二同时 打开，则特殊气体通过管道从左向右传输。现有技术的供气控制装置结构如图2所示，包括可编程逻辑控制器 (Programmable Logic Controller)模块10、电磁阀20、连通气源90和电磁 阀30的导管30、气阀50以及连通气阀和电磁阀的导管40，电磁阀20具有 一个以上出气口 ， 20a和20b为其中的两个，电磁阀20和若干个气阀50连通， 其中40a为电磁阀的出气口 20a与气阀50a连通的导管，40b为电磁阀的出气 口 20b与气阀50b连通的导管。电磁阀20通过可编程逻辑控制器模块10控 制电磁阀20的出气口是否与气源导通。如图2所示，气瓶拒需向某工艺设备 供特殊气体时，需要气阀50a和50b导通。通过可编程逻辑控制器模块10控 制电;兹阀20, 4吏分别与气阀50a和50b连通的出气口 20a和20b连通于气源 90, /人而气阀50a和50b置于"开"状态，实现供气控制。然而，可编程逻辑控制器模块或者电^f兹阀失灵时，也或者突发停电导致可编程逻辑控制器模块和电磁阀断电时，图2所示的供气控制装置将失效，不能对气阀20控制。图2所示的供气控制装置在失效时， 一般是通过手动控 制电》兹阀的20a和20b与气源连通。但是这种方法，不能完全保证电磁阀的 20a和20b与气源连通，并且很难在短时间内完成。因此这种供气装置，不能 在特殊紧急故障情况下保证快速强制供气，这将直接影响特殊气体的稳定供 应，并进一步影响工艺设备生产制造的稳定性。
技术实现思路
本技术解决的技术问题是在特殊紧急故障情况下，供气控制装置 能保证特殊气体快速恢复持续供气。本技术公开的供气控制装置包括电磁阀、控制电磁阀的可编程逻辑 控制器模块、连接气源和电磁阀的第一管道、气阀以及连接气阀和电磁阀的 第二管道，其特征在于还包括连通所述第一管道和所述第二管道的第三管道 以及第三管道之上的手动气阀。其中，所述第三管道包括连接第一管道的总路部分和连接第二管道的支 路部分，所述第三管道的支路部分的数量与第二管道的数量相同。所述手动 气阀置于所述第三管道的支路部分上。总路部分和支路部分通过T形快速连 接器连接。另一技术方案中，所述第三管道的数量与第二管道数量相同，并且每条 第三管道相互独立，每条第三管道连接各自对应的第二管道和公共的第一管 道。其中，所述第一管道和第三管道之间通过T形快速连接器连接，所述第 二管道和第三管道之间通过T形快速连接器连接。所述电磁阀通过第一管道连接气源，并通过第二管道连接一个或者若干个气阀，电》兹阀具有一个或者若干个iH气口 ，一个出气O对应连接一个气阀。 所述可编程逻辑控制器模块控制电磁阀，从而控制气阀的导通。本技术的有益效果是电磁阀以及可编程逻辑控制器模块正常工作情况下，手动气阀关闭，供气控制装置通过电磁阀控制气阀的导通与关闭， 从而实现特殊气体输送管道的控制。在电磁阀或可编程逻辑控制器模块失效 的紧急情况下，通过手动选择手动气阀的开关，从而选择控制气阀的导通与 关闭，等效实现电磁阀控制的功能。因此本技术所提供的供气控制装置 能在特殊紧急故障情况下能保证快速强制正常供气，并且供气控制装置结构 相对简单。附图说明图l为现有技术气阀控制示意图2为现有技术供气控制装置示意图3为本技术所提供的供气控制装置的一实施例示意图4为本技术所提供的供气控制装置的又一实施例示意图5为本技术所提供的供气控制装置的又一 实施例示意图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，以下结合附图对本 技术作进一步的详细描述。图3所示为本技术所提供的供气控制装置的一实施例示意图。如图3 所示，供气控制装置包括电磁阀20、可编程逻辑控制器模块10、第一管道30、 气阀50、第二管道40、第三管道60以及手动气阀70a和70b。其中第一管道 30连接电磁阀20和气源90，第二管道40连接气阀50和电磁阀20的出口 ，气源90中为具有一定气压的气体，气源气体侬次通过第一管道30、电磁阀 20、第二管道40流到气阀50，气阀50在气源90的气体压力下使气阀50导 通。电磁阀20上具有若干个出气口，本实施例中示意有六个出气口，其中电 石兹阀的出气口 20a通过第二导管40a与气阀50a连接，出气口 20b通过第二 导管40b与气阀50b连接，可编程逻辑控制器模块10与电磁阀20通过信号 线连接，实现选择控制电磁阀的开关，从而可以快速控制每个出气口是否与 气源90连通。其中，第三管道60连接第一管道30与第二管道40，第三管道 60包括一条与第一管道连接的总路部分60a以及两条分别与第二管道连接的 支3各部分60b,第三管道的支路部分60a和60b上分别置有手动气阀70a和 70b， 70a控制支路部分60a管道的导通与否，70b控制支路部分60b管道的 导通与否。第三管道的总路部分60a与第一管道30通过T形快速连接器(图 中未示出)连通，第三管道的支路部分60b与第二管道40通过T形快速连接 器(图中未示出)连通，第三管道的总路部分60a与第三管道的支路部分60b 通过T形快速连接器(图中未示出)连接。当手动气阀70手动置于"开"状 态时，气源可以从第一管道30、第三管道的60a和60b、第二管道40流入气 阀50, /人而可以^吏气阀50导通。当可编程逻辑控制器模块10以及电磁阀20正常工作时，选择手动气阀 70全部关闭，通过可编程逻辑控制器模块10以及电磁阀20选择控制不同的 气阀50的导通与关闭。当可编程逻辑控制器模块10以及电磁阀20因突发原 因不能正常工作时，打开气阀70，气源90不再依次通过第一导管30、电磁 阀20、第二导管40回路来控制气阀50的导通与关闭，而是通过第一导管30、 第三导管60、第二导管40回路来控制气阀50的导通与关闭，通过不同手动 气阀70的开关动作，4吏相应的不同的气阀50导通，例如，如图3所示，选 择70a关闭、70b导通，则气阀50a关闭、50a导通。图4所示为本技术所提供的供气控制装置的又一实施例示意图。与 图3所示供气控制装置实施例的具体区别在于所述手动气阀70置于一条第三 管道的总路部分60a上，第三管道的支路部分60b上没有手动气阀70，第三 管道60的导通与否通过唯一的手动气阀70控制，手动气阀70处于"开"状 态时，气源可以通过第一导管30、第三导管60、第二导管40回路同时使气 阀50a和50b导通。图5所示为本技术所^是供的供气控制装置的又一实施例示意图。与 图3所示供气控制装置实施例的具体区别在于第三管道60不分为总路部分和 支路部分，如图5所示，第三管道60是两条独立的管道，每条第三管道60 连接第一管道30和第二管道40，第三管道60数量与第二管道40的数量相当， 每条第三管道60本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种供气控制装置，包括电磁阀、控制电磁阀的可编程逻辑控制器模块、连接气源和电磁阀的第一管道、气阀以及连接气阀和电磁阀的第二管道，其特征在于还包括： 连通所述第一管道和所述第二管道的第三管道； 以及，第三管道之上的手动气阀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴卫卫，张旭，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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