活水作业夹具及其使用方法技术

本发明专利技术提供了活水作业夹具及其使用方法，用于活水管路的维修作业，该活水作业夹具包括上半片夹具，下半片夹具，通过装配螺孔和螺栓相连接，活水作业夹具的上半片夹具有一个出气口，下半片夹具有一个进气口，且上、下半片夹具的两端分别安装有前挡板和后挡板，该活水作业夹具使用方法是通过进气口向活水作业夹具内部通入－１８６摄氏度的氮气，局部冰冻需要维修的活水管路，以不产生活水流动的方式来排查故障，维修时可以不关闭活水总阀门，并且该活水作业夹具是移动式的，哪里需要维修活水管路，就可以方便移动取用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及维修作业工夹具及其使用方法，具体的说，是一种活水作业夹 具及其适用方法。
技术介绍
集成电路晶圆制造厂的环境控制系统中包括^艮多液体管路，管路中流动的 水就是活水，通过水的循环流动来控制厂区内的温度。然而这里所说的活水是 指没有循环泵作用的水，其流量和压力很小，因此流动速度很慢，甚至趋于静 止。图l是温度控制系统的总体结构示意图，总阀门IO控制整个厂区活水管路 的开闭，总阀门10分别和总出水管路11和总进水管路12相连接，总出水管路 11和若干条出水支路21的一端连接，总进水管路12和若干条进水支路22的一 端接连，单一出水支路和进水支路的另一端连接至远程控制单元(RCU) 20 以形成回路，通过远程控制单元20来调节管路中活水的温度，再通过管路中循 环流动的活水来控制厂区内的温度。通常在一个厂区内设置14个远程控制单元， 以全面覆盖每一个区域。当某条总管11/12或支路21/22出现漏水或阀门故障需 要检修时，需要关闭整个厂区的总阀门10,这样将会导致整个厂区环境的升温， 导致生产线的停顿，大大影响晶圆的产量。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，改变目前4全修温度控制管路要关闭总阀门， 影响厂区环境温度的不利因素，提供一种，当温度 控制管路出现故障需要检修时，可以不必关闭总阀门，只会暂时影响故障区域， 不需影响整个厂区环境温度。为了解决上述技术问题，本专利技术采用了如下技术手段 一种活水作业夹具，包括上半片夹具，下半片夹具，通过装配螺孔及螺4全相连接，用于夹持活水管路，其实质性特点在于所述的上半片夹具有一个出气口，下半片夹具有一个 进气口，且所述的活水作业夹具的上、下半片夹具的两端分别安装有前挡板和 后挡板。在上述的活水作业夹具中，所述的活水是没有循环泵作用的水。 在上述的活水作业夹具中，其上、下半片夹具的外表面覆有保温材料。 在上述的活水作业夹具中，所述上、下半片夹具的内径大于所述活水管路 的外径。在上述的活水作业夹具中，当所述的上、下半片夹具及前、后挡板安装完 毕后，所述的活水作业夹具内部形成密闭空间。本专利技术的另一解决方案是提供一种采用上述活水作业夹具局部水冻活水管 路的方法，包括下列步骤通过螺栓将上半片夹具和下半片夹具相互固定以夹 持需要局部冰冻的活水管路；在两片夹具的两端分别设置挡板，使活水作业夹 具内部形成密闭空间；从进气口向活水作业夹具内部通入摄氏零度以下的制冷 气体，所述制冷气体从出气口排出，以带走活水管路中的热量。在上述的方法中，所述的制冷气体是-186摄氏度的氮气。在上述的方法中，所述的活水管路包括处于同一回路中的一条进水管路和 一条出水管路，采用两套所述的活水作业夹具分别对其进行局部水冻。采用本专利技术的活水作业夹具可以实现活水管路的局部冰冻，当活水管路出 现故障需要检修时，可以不必关闭总阀门，只需影响某一远程控制单元的小回 路，且局部冰冻时，产生类似阀门关闭的效果，还可利用同一厂区内邻近的其 他远程控制单元来补偿，对温度的影响较小，不会导致整个厂区的环境升温。附图说明本专利技术的由以下的实施例及附图给出。 图1为温度控制系统的总体结构示意图。图2a和图2b分别为本专利技术的活水作业夹具的上半片结构的俯视图和侧视图。图3a和图3b分别为本专利技术的活水作业夹具的下半片结构的俯视图和侧视 图。图4为本专利技术的活水作业夹具的安装结构剖视图。 具体实施例方式以下将结合附图对本专利技术的作进一步的详细描 述，具体为以下实施方式本专利技术的活水作业夹具如图2a、 2b、 3a、 3b所示，包括上半片夹具30, 下半片夹具40，两者在对应位置上开设有装配螺孔32、 42,并通过螺栓(未图 示)相连接，用于夹持活水管路。活水作业夹具的上半片夹具30上有一出气口 31,下半片夹具40上有一进气口 41，上、下半片夹具30、 40的外表面分别覆 有保温材料33、 43,用于保温，且上、下半片夹具30、 40的两端分别安装有前 挡板51和后挡板52，从而当该活水作业夹具安装完毕后，能够在其内部形成一 密闭空间，供气体循环流动。如图4所示，当某条活水管路如出水支路21出现漏水故障需要检修时，使 用两套上述的活水作业夹具分别安装在该出水支路21及相应的进水支路22上， 从进气口 41向活水作业夹具内部通入-186摄氏度的氮气，氮气在活水作业夹具 所形成的密闭空间中流动，再从出气口31排出，带走该出水/进水支路21/22中 的热量，以达到局部冰冻的目的。需要说明的是，这里所说的活水是没有循环 泵作用的水，其流量和压力很小，因此流动速度很慢，能够实现冰冻。通过局 部水冻需要维修的支路21/22中的活水，产生类似阀门关闭的效果，使与之相连 的远程控制单元20内不产生活水流动的方式来排查故障，只会影响某一远程控 制单元20的小回路，且局部冰冻时，还可利用同一厂区内邻近的其他远程控制 单元20来补偿，不会对厂区环境温度造成大的影响。本专利技术的的另 一具体实施例是可以通过使用活 水作业夹具维修或更换远程控制单元20,如图1、图4所示，当远程控制单元 20出现故障需要维修或更换时，也可通过局部水冻与^f目连的出7jC/进水支路， 使该远程控制单元20内不产生活水流动，以便维修或更换。综上所述，采用本专利技术的活水作业夹具可实现对活水管路的局部水冻，当 活水管路出现故障需要检修时，可以不必关闭总阀门，从而不会影响整个厂区的环境温度，此外，该活水作业夹具是移动式的，哪里需要维修活水管路，就 可以方便移动取用。权利要求1.一种活水作业夹具，包括上半片夹具，下半片夹具，通过装配螺孔及螺栓相连接，用于夹持活水管路，其特征在于:所述的上半片夹具有一个出气口，下半片夹具有一个进气口，且所述的活水作业夹具的上、下半片夹具的两端分别安装有前挡板和后挡板。2. 根据权利要求1所述的活水作业夹具，其特征在于，所述的活水是没 有循环泵作用的水。3. 根据权利要求1所述的活水作业夹具，其特征在于，所述的活水作业 夹具的上、下半片夹具的外表面覆有保温材料。4. 根据权利要求1所述的活水作业夹具，其特征在于，所述上、下半片 夹具的内径大于所述活水管^^的外径。5. 根据权利要求1所述的活水作业夹具，其特征在于，当所述的上、下 半片夹具及前、后挡板安装完毕后，所述的活水作业夹具内部形成密闭空间。6. —种釆用如权利要求1所述的活水作业夹具局部冰冻活水管路的方 法，其特征在于，包括下列步骤通过螺栓将上半片夹具和下半片夹具相互固定以夹持需要局部冰冻的活 水管路；在两片夹具的两端分别设置挡板，使活水作业夹具内部形成密闭空间； 从进气口向活水作业夹具内部通入摄氏零度以下的制冷气体，所述制冷 气体从出气口排出，以带走活水管路中的热量。7. 根据权利要求6所述的活水作业夹具局部冰冻活水管路的方法，其特 征在于，所述的制冷气体是-186摄氏度的氮气。8. 冲艮据权利要求6所述的活水作业夹具局部水冻活水管路的方法，其特 征在于，所述的活水管路包括处于同 一回路中的一条进水管路和一条出水管 路，采用两套所述的活水作业夹具分别对其进行局部冰冻。全文摘要本专利技术提供了，用于活水管路的维修作业，该活水作业夹具包括上半片夹具，下半片夹具，通过装配螺孔和螺栓相连接，活水作业夹具的上半本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种活水作业夹具，包括上半片夹具，下半片夹具，通过装配螺孔及螺栓相连接，用于夹持活水管路，其特征在于：所述的上半片夹具有一个出气口，下半片夹具有一个进气口，且所述的活水作业夹具的上、下半片夹具的两端分别安装有前挡板和后挡板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：龚文卫，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]