一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，所述机构包括驱动齿轮、至少一个传动轴以及至少一个膜厚辅正板，所述驱动齿轮外接动力，所述传动轴与所述驱动齿轮之间构成传动配合，所述传动轴在所述驱动齿轮的驱动下可带动圆筒形镀膜基板转动，所述膜厚辅正板布置在所述传动轴的另一侧且其布置位置满足于其可伸入于所述圆筒形基底的内孔的要求，所述膜厚辅正板的弧度面型与所述圆筒形基底的弧度相一致。本实用新型专利技术的优点是：结构简单，集成性高；解决镀膜区域内因圆筒形镀膜基板的放置位置的不同而产生的内壁膜厚分布不一致的问题；具有量产可行性；尤其适用于物理气相沉积领域，如蒸发镀或溅射镀。

A mechanism for coating on the inner wall of cylindrical substrate

【技术实现步骤摘要】
一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构
本技术涉及真空镀膜
，尤其是物理气相沉积领域，具体涉及一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构。
技术介绍
随着通讯技术飞速发展，在机器人、识别技术、车载等越来越多的领域，出现圆桶、环状的基板的应用，要求在外壁及内壁镀膜，增强的信号的传输或过滤某些干扰波段的信号。通常使用高低折射率材料交替镀要求较高的干涉膜层，这要求镀膜时，筒壁内的膜厚均匀性必须控制得非常好。对于桶形基板的外壁，通过行星旋转等方式，常规物理气相沉积方式已有不错的解决方案，但对于内壁尚无很好的量产镀膜方案，主要问题为内壁膜厚均匀性无法控制到很高的精度，达到±1%左右的膜厚均匀性要求，当前没有可实现的方案。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，随着圆筒形镀膜基板旋转，并结合伸入圆筒形镀膜基板内壁且弧度面型与圆筒形基底的弧度相一致的膜厚辅正板，对圆筒形镀膜基板的内壁均匀镀膜，解决镀膜区域内因圆筒形镀膜基板的放置位置的不同而产生的内壁膜厚分布不一致的问题。本技术目的实现由以下技术方案完成：一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述机构包括驱动齿轮、至少一个传动轴以及至少一个膜厚辅正板，所述驱动齿轮外接动力，所述传动轴与所述驱动齿轮之间构成传动配合，所述传动轴在所述驱动齿轮的驱动下可带动圆筒形镀膜基板转动，所述膜厚辅正板布置在所述传动轴的另一侧且其布置位置满足于其可伸入于所述圆筒形基底的内孔的要求，所述膜厚辅正板的弧度面型与所述圆筒形基底的弧度相一致。所述机构包括至少两个传动轴，所述传动轴分别连接有传动齿轮，相邻的传动齿轮通过一过渡齿轮构成传动配合，相邻传动轴之间通过所述传动齿轮及所述过渡齿轮的啮合构成传动配合。所述传动轴贯穿一固定底座设置且所述传动轴的两端伸出所述固定底座外，所述传动齿轮及所述过渡齿轮位于所述固定底座的顶面。所述固定底座上连接有一固定支架，所述固定支架通过一辅正板支架与膜厚辅正板相连接，所述辅正板支架与所述固定支架之间可拆卸式连接。所述辅正板支架的两端通过定位块可移动式设置在所述固定支架上。在所述传动轴的底端设置有装夹过渡块，所述圆筒形镀膜基板可通过连接所述装夹过渡块与所述传动轴构成传动配合。所述传动轴与所述膜厚辅正板的数量构成对应。本技术的优点是：在蒸发、溅射等物理气相沉积的镀膜设备上实现对圆筒形基板内侧均匀镀膜的目的；每个圆筒形基板配备一个膜厚辅正版，实现对每一个位置的圆筒形基板进行膜厚分布微调的目的，解决镀膜区域内因圆筒形基板的放置的位置不同而产生的内壁膜厚分布的不一致的问题；膜厚辅正版的拆卸方式为整体拆卸，安装位置的固定块具有可调性，可根据圆筒形基板的尺寸进行调整，定型定位后锁死，可以保证膜厚辅正版的安装位置具有重复性，膜厚辅正版的安装简单，具有量产可行性。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中辅正板支架与固定支架的连接结构图。具体实施方式以下结合附图通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：如图1-2所示，图中标记1-12分别表示为：驱动齿轮1、传动轴2、传动齿轮3、过渡齿轮4、固定底座5、装夹过渡块6、圆筒形镀膜基板7、膜厚辅正板8、固定支架9、辅正板支架10、定位块11、蝶形固定螺丝12。实施例：本实施例为一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，随着圆筒形镀膜基板7旋转，并结合伸入圆筒形镀膜基板7内壁且弧度面型与圆筒形基底7的弧度相一致的膜厚辅正板8，对圆筒形镀膜基板7的内壁均匀镀膜，解决镀膜区域内因圆筒形镀膜基板7的放置位置的不同而产生的内壁膜厚分布不一致的问题，尤其适用于物理气相沉积领域，如蒸发镀或溅射镀。如图1所示，本实施例中的机构应用于四个圆筒形镀膜基板7同时镀膜的工况，其具体包括四根自左向右间隔布置的传动轴2、四块膜厚辅正板8及一个驱动齿轮1。其中，每根传动轴2均贯穿固定底座5设置且传动轴2的两端伸出固定底座5外，传动轴2的底端用来连接圆筒形镀膜基板7。最左侧传动轴2的顶端设有驱动齿轮1，后期驱动齿轮1外接动力，驱动最左侧传动轴2旋转，从而带动圆筒形镀膜基板7旋转。传动轴2上设有传动齿轮3，传动齿轮3随着传动轴2的旋转而旋转。传动齿轮3位于固定底座5上方。相邻的传动齿轮3之间设有过渡齿轮4，过渡齿轮4与两侧的传动齿轮3均构成啮合，当驱动左侧的传动轴2旋转时，固定在该传动轴2上的传动齿轮3将随之旋转，从而带动过渡齿轮4旋转，过渡齿轮4则将带动右侧的传动齿轮3旋转，进而带动与该传动齿轮3相连的传动轴2旋转，以此重复往右侧同步传动，使得全部传动轴2均旋转，从而带动全部圆筒形镀膜基板7旋转。如图1所示，位于传动轴2底部一侧布置有膜厚辅正板8，且膜厚辅正板8的布置位置满足于其可伸入于圆筒形基底7的内壁中，后期镀膜时，可对溅射材料进行遮挡，控制圆筒形基底7内壁的膜厚。膜厚辅正板8的弧度面型与圆筒形基底7的弧度一致，镀膜时随着圆筒形镀膜基板7的旋转，使得圆筒形镀膜基板7内壁的膜厚均匀，解决镀膜区域内因圆筒形镀膜基板7的放置位置的不同而产生的内壁膜厚分布不一致的问题。结合图1及图2所示，四个膜厚辅正板8均安装在辅正板支架10上，辅正板支架10用来支撑膜厚辅正板8。辅正板支架10连接在固定支架9上，固定支架9连接在固定底座5上，固定支架9用来支撑辅正板支架10，固定支架5用来支撑固定支架9，提高机构的集成性。如图2所示，辅正板支架10的两端通过定位块11安装在固定支架9上，通过调节定位块11改变辅正板支架10的位置，从而改变膜厚辅正板8的位置，使膜厚辅正板8伸入圆筒形镀膜基板7内并与其内壁保持合适的间距，提高后期膜厚均匀性。如图1所示，装夹过渡块6设置在传动轴2的底端，传动轴2带动装夹过渡块6旋转。后期将圆筒形基底7固定在装夹过渡块6的底端，装夹过渡块6带动圆筒形镀膜基板7旋转。因装夹过渡块6的截面面积小于圆筒形镀膜基板7的截面面积，能减少与固定底座5的接触面积，从而减小旋转过程中所受的阻力。本实施例在具体实施时：膜厚辅正板8的具体形状由镀膜工艺人员根据镀膜均匀性的分布情况进行调整后确定。圆筒形镀膜基板7通过固定螺丝安装在装夹过渡块6上；膜厚辅正板8通过固定螺丝安装在辅正板支架10上；辅正板支架10通过蝶形固定螺丝12安装在固定支架9上，提高两者的连接强度，且连接结构简单。镀膜工艺人员可依据量产需求，自动调整传动轴2及膜厚辅正板8的数量，但始终得保证两者的数量相一致。若无量产需求传动轴2的数量可为一根，随着量产需求的不断增大，传动轴2的数量也不断增加。虽然以上实施例已经参照附图对本技术目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本技术作出各种本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述机构包括驱动齿轮、至少一个传动轴以及至少一个膜厚辅正板，所述驱动齿轮外接动力，所述传动轴与所述驱动齿轮之间构成传动配合，所述传动轴在所述驱动齿轮的驱动下可带动圆筒形镀膜基板转动，所述膜厚辅正板布置在所述传动轴的另一侧且其布置位置满足于其可伸入于所述圆筒形基底的内孔的要求，所述膜厚辅正板的弧度面型与所述圆筒形基底的弧度相一致。/n

【技术特征摘要】
1.一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述机构包括驱动齿轮、至少一个传动轴以及至少一个膜厚辅正板，所述驱动齿轮外接动力，所述传动轴与所述驱动齿轮之间构成传动配合，所述传动轴在所述驱动齿轮的驱动下可带动圆筒形镀膜基板转动，所述膜厚辅正板布置在所述传动轴的另一侧且其布置位置满足于其可伸入于所述圆筒形基底的内孔的要求，所述膜厚辅正板的弧度面型与所述圆筒形基底的弧度相一致。


2.根据权利要求1所述的一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述机构包括至少两个传动轴，所述传动轴分别连接有传动齿轮，相邻的传动齿轮通过一过渡齿轮构成传动配合，相邻传动轴之间通过所述传动齿轮及所述过渡齿轮的啮合构成传动配合。


3.根据权利要求2所述的一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述传动轴贯穿一固定底座设置且所述传动轴的两端伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：干黎明，马国水，邵鑫，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31