The invention discloses an accurate microelectrode manufacturing method of two-dimensional thin-layer materials which are not heat-resistant. The peeled two-dimensional thin-layer materials are transferred to the prepared electrodes without any heating steps in the process, which can be carried out at room temperature; the materials can be avoided to be damaged due to heating, so as to study the intrinsic properties of the materials; the invention observes the target thin-layer to be transferred in real time through a microscope The relative position of the electrode on the substrate of the material and the silicon wafer, and the accurate movement of the transfer table through the software, so as to ensure that the target thin layer material falls on the electrode accurately.
【技术实现步骤摘要】
一种不耐热二维薄层材料的微电极精确制作方法
本专利技术属于微纳加工
,具体涉及一种不耐热二维薄层材料的微电极精确制作方法。
技术介绍
用机械剥离的方法能够从二维材料块材上方便地获得保持着材料固有特性的质量优良的二维材料薄层或者单层。当二维材料的尺寸变薄到原子级,由于量子限制和缩小尺寸的表面效应,通常表现出非凡的电、光、热、磁等特性。对二维薄层材料的电、光、热、磁学等性质的研究,都需要制作微电极。因此能够准确、快速的制作微电极是深入研究新奇物理性质的基础。传统的制作微电极的方法:旋涂电子束光刻胶至二维薄层材料表面,并在150℃以上温区烤胶数分钟,然后电子束曝光,沉积金属。对于不耐加热的二维薄层材料,烘烤过程中材料已发生变化,无法研究材料本征性质了。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术提供一种不耐热二维薄层材料的微电极精确制作方法,可以实现不耐热二维薄层材料的微电极制作,并且保证精度。一种二维薄层材料的微电极精确制作方法,包括如下步骤:步骤一、在硅片基底上加工金属微电极;步骤二、剥离二维薄层材料至PDMS片上,具体为:取一块蓝胶带,对二维材料块材的二维材料进行剥离;再取一块蓝胶带对粘有二维材料的蓝胶带进行对粘,再取第三块蓝胶带对第二块蓝胶带上的二维薄层材料进行剥离,如此,通过蓝胶带多次剥离,将剩余在最后一块蓝胶带上的二维薄层材料作为二维材料样品(1)粘在透明的PDMS片上,获得PDMS样品片(3);步骤三、将样品和硅片基底分别固定在上、下转移台:< ...
【技术保护点】
1.一种二维薄层材料的微电极精确制作方法,其特征在于,包括如下步骤:/n步骤一、在硅片基底上加工金属微电极;/n步骤二、剥离二维薄层材料至PDMS片上,具体为:/n取一块蓝胶带,对二维材料块材的二维材料进行剥离;再取一块蓝胶带对粘有二维材料的蓝胶带进行对粘,再取第三块蓝胶带对第二块蓝胶带上的二维薄层材料进行剥离,如此,通过蓝胶带多次剥离,将剩余在最后一块蓝胶带上的二维薄层材料作为二维材料样品(1)粘在透明的PDMS片上,获得PDMS样品片(3);/n步骤三、将样品和硅片基底分别固定在上、下转移台:/n上转移台具有三个自由度移动,采用带有通孔(4)的金属板(2),将金属板(2)固定在上转移台上;再将PDMS样品片(3)粘有二维材料样品(1)朝下粘在金属板(2)的通孔(4)处;通过移动上转移台,从而控制PDMS样品片(3)的位置;/n下转移台采用一个带小孔的金属托,小孔的下端抽真空,将步骤一制作的带有金属微电极的硅片放置在小孔上端;利用显微镜观察下转移台上固定的硅片,移动下转移台,使硅片移动至显微镜视野中央的位置,金属微电极对准小孔,显微镜对焦到金属微电极上;/n步骤四、水平移动上转移台, ...
【技术特征摘要】
1.一种二维薄层材料的微电极精确制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤一、在硅片基底上加工金属微电极;
步骤二、剥离二维薄层材料至PDMS片上,具体为:
取一块蓝胶带,对二维材料块材的二维材料进行剥离;再取一块蓝胶带对粘有二维材料的蓝胶带进行对粘,再取第三块蓝胶带对第二块蓝胶带上的二维薄层材料进行剥离,如此,通过蓝胶带多次剥离,将剩余在最后一块蓝胶带上的二维薄层材料作为二维材料样品(1)粘在透明的PDMS片上,获得PDMS样品片(3);
步骤三、将样品和硅片基底分别固定在上、下转移台:
上转移台具有三个自由度移动,采用带有通孔(4)的金属板(2),将金属板(2)固定在上转移台上;再将PDMS样品片(3)粘有二维材料样品(1)朝下粘在金属板(2)的通孔(4)处;通过移动上转移台,从而控制PDMS样品片(3)的位置;
下转移台采用一个带小孔...
【专利技术属性】
技术研发人员:熊小路,段俊熙,韩俊峰,姚裕贵,
申请(专利权)人:北京理工大学,
类型:发明
国别省市:北京;11
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