The utility model discloses a target turnover table, which includes a base, a support frame is respectively arranged in the middle of two sides of the base, one end of the two support frames is rotationally connected with one end of the turnover frame, the turnover frame includes an articulated plate, the end face of the articulated plate is fixed with an air pump, the articulated plate is slidably connected with a clamping plate, the clamping plate is a hollow plate body, and the extension plate is extended at the clamping plate end The extension plate is connected with a moving plate, and the moving plate and the extension plate cooperate to clamp the target. The side of the clamping plate is provided with a plurality of plug-in slots, in which a compression spring is connected and fixed, one end of the compression spring is connected and fixed with an air extraction nozzle, the air extraction nozzle is connected with the air extraction pump through the air extraction pipe, and the air extraction nozzle is connected with the side of the target. The utility model enables the device to stably clamp and fix the target through the cooperation of the clamping plate and the air extraction nozzle, and at the same time, the clamping plate can slide relative to the hinged plate, so that the device can clamp and move the target with different length.
【技术实现步骤摘要】
一种靶材翻转台
本技术涉及金属靶材运输设备领域,尤其是一种靶材翻转台。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。目前用于镀膜工艺的溅镀设备,其溅镀阴极本身具有相当的中昂两,当需要维修保养或更换溅镀靶材时,常常耗费人力进行搬动和翻转,使得工作效率慢;此外,翻转过程中还可能会因靶材重量较重造成不慎的摔落,影响靶材的后续使用。因此有必要设计一种靶材翻转台。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种靶材翻转台,通过卡接板与抽气嘴的配合使得装置能对靶材进行稳定的夹持和固定作用,同时卡接板能相对于铰接板发生相对的滑动,使得装置能对不同长度的靶材进行夹持移动,进一步的提高了工作效率。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种靶材翻转台,包括有底座,底座两侧分别设置有支撑架,两个所述支撑架一端与翻转架一端转动连接,所述翻转架包括有铰接板,所述铰接板端面固定有抽气泵,所述铰接板滑动连接有卡接板,所述卡接板为中空的板体,所述卡接板端延伸设置有延长板,所述延长板连接有移动板,所述移动板和延长板配合将靶材夹持,所述卡接板侧面设有多个插接槽,所述插接槽内连接固定有压缩弹簧,所述压缩弹簧的一端连接固定有抽气嘴,所述抽气嘴通过抽气管与抽气泵连接作业,所述抽气嘴与靶材的侧面贴合连接。通过采用上述技术方案,通过可移动的卡接板,对靶材进行夹持,并通过设有的插接槽内设有的抽气嘴与板材的抵接,并通过抽气泵进行抽真空处 ...
【技术保护点】
1.一种靶材翻转台,其特征在于:包括有底座(1),所述底座(1)两侧中间位置分别设置有支撑架(2),两个所述支撑架(2)一端与翻转架(3)一端转动连接,所述翻转架(3)包括有铰接板(31),所述铰接板(31)端面固定有抽气泵(4),所述铰接板(31)滑动连接有卡接板(32),所述卡接板(32)为中空的板体,所述卡接板(32)端延伸设置有延长板(33),所述延长板(33)连接有移动板(34),所述移动板(34)和延长板(33)配合将靶材夹持,所述卡接板(32)侧面设有多个插接槽(35),所述插接槽(35)内连接固定有压缩弹簧(5),所述压缩弹簧(5)的一端连接固定有抽气嘴(6),所述抽气嘴(6)通过抽气管与抽气泵(4)连接作业,所述抽气嘴(6)与靶材的侧面贴合连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种靶材翻转台,其特征在于:包括有底座(1),所述底座(1)两侧中间位置分别设置有支撑架(2),两个所述支撑架(2)一端与翻转架(3)一端转动连接,所述翻转架(3)包括有铰接板(31),所述铰接板(31)端面固定有抽气泵(4),所述铰接板(31)滑动连接有卡接板(32),所述卡接板(32)为中空的板体,所述卡接板(32)端延伸设置有延长板(33),所述延长板(33)连接有移动板(34),所述移动板(34)和延长板(33)配合将靶材夹持,所述卡接板(32)侧面设有多个插接槽(35),所述插接槽(35)内连接固定有压缩弹簧(5),所述压缩弹簧(5)的一端连接固定有抽气嘴(6),所述抽气嘴(6)通过抽气管与抽气泵(4)连接作业,所述抽气嘴(6)与靶材的侧面贴合连接。
2.根据权利要求1所述的一种靶材翻转台,其特征在于:所述铰接板(31)贴近卡接板(32)的侧面设置有沿长度方向将铰接板(31)横向贯穿的板凹槽(311),所述板凹槽(311)内设置有被电机带动的转动齿轮(37);所述卡接板(32)一端设置有与卡接板(32)垂直的啮合齿条(321),两条所述啮合齿条(321)与转动齿轮(37)啮合并发生相对的运动。
3.根据权利要求1所述的一种靶材翻转台,其特征在于:所述卡接板(32)一...
【专利技术属性】
技术研发人员:惠知,温艳玲,
申请(专利权)人:河北冠靶科技有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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